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包括半導(dǎo)體發(fā)光器件的顯示裝置的制作方法

文檔序號:41984302發(fā)布日期:2025-05-23 16:39閱讀:3來源:國知局
包括半導(dǎo)體發(fā)光器件的顯示裝置的制作方法

實施例涉及一種包括半導(dǎo)體發(fā)光器件的顯示裝置。


背景技術(shù):

1、大面積顯示器包括液晶顯示器(lcd)、oled顯示器以及微led顯示器(micro-leddisplay)等。

2、微led顯示器是將作為具有100μm以下的直徑或截面積的半導(dǎo)體發(fā)光器件的微led用作顯示器件的顯示器。

3、微led顯示器將作為半導(dǎo)體發(fā)光器件的微led用作顯示器件,因此在明暗比、響應(yīng)速度、顏色再現(xiàn)率、視野角、明度、分辨率、壽命、發(fā)光效率或亮度等很多特性上具有優(yōu)異的性能。

4、尤其,微led顯示器可以以模塊方式分離、結(jié)合畫面,從而具有尺寸或分辨率調(diào)節(jié)自由的優(yōu)點以及能夠?qū)崿F(xiàn)柔性顯示器的優(yōu)點。

5、但是,大型微led顯示器需要幾百萬個以上的微led,因此存在難以將微led快速且準確地轉(zhuǎn)印到顯示面板的技術(shù)問題。

6、最近開發(fā)的轉(zhuǎn)印技術(shù)有拾放工藝(pick?and?place?process)、激光剝離法(laserlift-off?method)或自組裝方式(self-assembly?method)等。

7、其中,自組裝方式作為半導(dǎo)體發(fā)光器件在流體內(nèi)自行尋找組裝位置的方式,是有利于實現(xiàn)大屏幕的顯示裝置的方式。

8、最近,在美國授權(quán)專利第9,825,202號中提出了適用于自組裝的微led結(jié)構(gòu),但目前對通過微led的自組裝來制造顯示器的技術(shù)的研究還不完善。

9、尤其是在現(xiàn)有技術(shù)中,在將幾百萬個以上的半導(dǎo)體發(fā)光器件快速地轉(zhuǎn)印到大型顯示器的情況下,雖然能夠提高轉(zhuǎn)印速度(transfer?speed),但是轉(zhuǎn)印不良率(transfererror?rate)可能提高,從而存在轉(zhuǎn)印產(chǎn)量(transfer?yield)降低的技術(shù)問題。

10、另一方面,在相關(guān)技術(shù)中,雖然嘗試了利用介電泳(dielectrophoresis,dep)的自組裝方式的轉(zhuǎn)印工藝,但是由于介電泳力的不均勻性等,存在自組裝率低的問題。

11、另一方面,內(nèi)部技術(shù)的利用介電泳力的自組裝方式包括:利用磁鐵的磁力使led芯片向組裝孔區(qū)域第一次移動的步驟;向組裝配線施加交流,利用介電泳力來將led芯片組裝到組裝孔的步驟。

12、另一方面,在內(nèi)部技術(shù)中,利用由相對應(yīng)的一對第一組裝電極和第二組裝電極產(chǎn)生的介電泳力來組裝led芯片,但在內(nèi)部研究中發(fā)現(xiàn):因組裝孔中的介電泳力不強而導(dǎo)致led芯片的組裝率低,并且組裝于組裝電極上的led芯片在介電泳力較弱的情況下因磁鐵的磁力而脫離。

13、尤其,根據(jù)內(nèi)部技術(shù),在利用介電泳力進行組裝之后執(zhí)行排出水槽的流體的工序。此時,在組裝電極斷電而沒有介電泳力的情況下,由于半導(dǎo)體發(fā)光器件和組裝電極上的介電體層之間的固定力較弱,因此流體排出工序需要進行數(shù)十分鐘以上,并且發(fā)生已組裝于組裝孔的半導(dǎo)體發(fā)光器件脫離的問題。

14、另外,內(nèi)部技術(shù)存在如下問題:在利用介電泳力進行組裝之后進行面板端的電極工序時,在組裝電極斷電而沒有介電泳力的情況下,由于半導(dǎo)體發(fā)光器件和組裝電極上的介電體層之間的固定力較弱,因此已組裝于組裝孔的半導(dǎo)體發(fā)光器件脫離。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的問題

2、實施例的技術(shù)課題之一在于,解決在利用介電泳(dielectrophoresis,dep)的自組裝方式中,因介電泳力的不均勻性等而引起的自組裝率低的問題。

3、另外,實施例的技術(shù)課題之一在于,解決在利用介電泳力進行組裝后,組裝電極斷電而介電泳力消失的情況下,由于半導(dǎo)體發(fā)光器件和組裝電極上的介電體層之間的固定力較弱,導(dǎo)致已組裝于組裝孔的半導(dǎo)體發(fā)光器件脫離的問題。

4、另外,實施例的技術(shù)課題之一在于,解決因組裝孔中的介電泳力不強而導(dǎo)致led芯片的組裝率低的問題。

5、另外,實施例的技術(shù)課題之一在于,解決在因組裝孔中的介電泳力不強而導(dǎo)致組裝于組裝電極上的led芯片在介電泳力較弱的情況下因磁鐵的磁力而脫離的問題。

6、實施例的技術(shù)課題不限于本
技術(shù)實現(xiàn)要素:
中記載的技術(shù)課題,還包括通過整個說明書可以掌握的技術(shù)課題。

7、解決問題的技術(shù)方案

8、實施例的包括半導(dǎo)體發(fā)光器件的顯示裝置可以包括:基板;第一組裝電極和第二組裝電極,彼此隔開配置在所述基板上;第一極性的ζ電位絕緣層,配置在所述第一組裝電極和所述第二組裝電極上;組裝分隔壁,包括配置在所述第一組裝電極和所述第二組裝電極上的組裝孔;以及半導(dǎo)體發(fā)光器件,配置在所述組裝孔內(nèi);所述半導(dǎo)體發(fā)光器件可以包括第二極性的ζ電位金屬層。

9、所述第一極性的ζ電位絕緣層可以包含氫化碳化硅

10、所述第一極性的ζ電位絕緣層307可以具有正(+)的ζ電位。

11、所述第二極性的ζ電位金屬層132可以具有負(-)的ζ電位。

12、所述第一極性的ζ電位絕緣層307的相對介電常數(shù)可以是8至14。

13、另外,實施例的包括半導(dǎo)體的發(fā)光器件的顯示裝置可以包括:基板;第一組裝電極和第二組裝電極,彼此隔開配置在所述基板上;第一極性的ζ電位絕緣層,配置在所述第一組裝電極和所述第二組裝電極上;組裝分隔壁,包括配置在所述第一組裝電極和所述第二組裝電極上的組裝孔;以及半導(dǎo)體發(fā)光器件,配置在所述組裝孔內(nèi);所述半導(dǎo)體發(fā)光器件可以包括第二極性的ζ電位第二絕緣層。

14、所述第二極性的ζ電位第二絕緣層可以包括氮化膜或氧化膜。

15、實施例的所述半導(dǎo)體發(fā)光器件還可以包括第二極性的ζ電位金屬層。

16、所述第二極性的ζ電位第二絕緣層可以配置在所述第二極性的ζ電位金屬層和所述第一極性的ζ電位絕緣層之間。

17、所述第一極性的ζ電位絕緣層可以包含氫化碳化硅。

18、發(fā)明效果

19、根據(jù)實施例的包括半導(dǎo)體發(fā)光器件的顯示裝置,能夠解決在利用介電泳力進行組裝后,組裝電極斷電而介電泳力消失的情況下,由于半導(dǎo)體發(fā)光器件和組裝電極上的介電體層之間的固定力較弱,導(dǎo)致已組裝于組裝孔的半導(dǎo)體發(fā)光器件脫離的問題。

20、例如,根據(jù)實施例,通過在第一組裝電極310和第二組裝電極320與半導(dǎo)體發(fā)光器件150n之間配置第一極性的ζ電位絕緣層307,并且在半導(dǎo)體發(fā)光器件150n中包括第二極性的ζ電位金屬層132,能夠顯著提高所述半導(dǎo)體發(fā)光器件150n在第一極性的ζ電位絕緣層307上的固定力。

21、例如,通過控制成使所述第一極性的ζ電位絕緣層307具有正(+)的ζ電位,并且使所述金屬層具有負(-)的ζ電位,可以控制成使整體ζ電位的值接近0。由此,半導(dǎo)體發(fā)光器件150n聚集在第一極性的ζ電位絕緣層307上,從而能夠顯著提高彼此之間的固定力。

22、另外,根據(jù)實施例,具有如下復(fù)合技術(shù)效果:通過將配置在第一組裝電極310和第二組裝電極320上的第一極性的ζ電位絕緣層307的介電常數(shù)設(shè)定為現(xiàn)有的絕緣膜的2倍以上來顯著提高介電泳力,能夠顯著提高正確組裝率,并且,通過控制成使所述第一極性的ζ電位絕緣層307具有正(+)的ζ電位,使所述金屬層具有負(-)的ζ電位,來使半導(dǎo)體發(fā)光器件150n聚集在第一極性的ζ電位絕緣層307上,能夠顯著提高彼此之間的固定力。

23、另外,在實施例中,配置在第一組裝電極310和第二組裝電極320上的第一極性的ζ電位絕緣層307的介電常數(shù)與現(xiàn)有sio2等絕緣膜相比,介電常數(shù)可以是2倍以上。例如,實施例中的第一極性的ζ電位絕緣層307的相對介電常數(shù)可以是約8至14,與現(xiàn)有sio2等絕緣膜的相對介電常數(shù)3.9至4.2相比,可以是2倍以上。由此,即便在高電壓或高頻率(highfrequency)情況下,也具有優(yōu)異的耐電壓特性,從而具有能夠無破壞或無損壞地提高介電泳力來提高組裝率的技術(shù)效果。

24、另外,第二實施例具有第二半導(dǎo)體發(fā)光器件150n2可以通過ζ電位固定在第一極性的ζ電位絕緣層307上,同時,所述第一極性的ζ電位絕緣層307和所述第二半導(dǎo)體發(fā)光器件150n2的第二極性的ζ電位第二絕緣層122之間通過化學(xué)結(jié)合(cob)產(chǎn)生結(jié)合力的復(fù)合技術(shù)效果。

25、另外,根據(jù)實施例,可以解決因組裝孔中介電泳力不強而導(dǎo)致led芯片的組裝率低的問題。

26、實施例的技術(shù)效果不限于本發(fā)明內(nèi)容中記載的技術(shù)效果,還包括通過整個說明書可以掌握的技術(shù)效果。

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