技術特征：

1.一種諧振器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的諧振器，其特征在于，相鄰兩個所述第二電極之間具有間隔；

3.根據(jù)權利要求2所述的諧振器，其特征在于，所述壓電換能層的厚度尺寸h，所述溝槽的深度尺寸h，30％h≤h≤h。

4.根據(jù)權利要求2或3所述的諧振器，其特征在于，所述第一壓電層相比所述第二壓電層更加靠近所述襯底設置；

5.根據(jù)權利要求1-4中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述第二電極的厚度尺寸s1，所述壓電換能層的厚度尺寸h，s1/h≤0.35。

6.根據(jù)權利要求1-5中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述第一電極的厚度尺寸s2，所述壓電換能層的厚度尺寸h，s2/h≤0.35。

7.根據(jù)權利要求1-6中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述諧振器還包括：第一匯流條和第二匯流條；

8.根據(jù)權利要求1-7中任一項所述的諧振器，其特征在于，

9.根據(jù)權利要求1-8中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述諧振器的機電耦合系數(shù)kt2≥23％。

10.根據(jù)權利要求1-9中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述壓電換能層的材料包括氮、鈧和鋁的組合，所述鈧的質(zhì)量分數(shù)大于或等于10％；或者，

11.根據(jù)權利要求1-10中任一項所述的諧振器，其特征在于，所述第一電極背對背的第一面和第二面，所述第二面相比所述第一面更加靠近所述襯底，所述第一電極的所述第二面完全設置在所述襯底上。

12.一種濾波器，其特征在于，包括：

13.一種電子設備，其特征在于，包括：

技術總結
本申請?zhí)峁┮环N諧振器、濾波器和電子設備。涉及諧振器技術領域。該諧振器可以提升機電耦合系數(shù)。該諧振器可以包括襯底、第一電極、壓電換能層和多個第二電極；第一電極、壓電換能層和多個第二電極設置在襯底上，壓電換能層具有第一側和第二側，多個第二電極位于第一側，且在第一方向上并排布設，第一電極位于第二側，第一側背離襯底，第二側朝向襯底；壓電換能層包括層疊設置的第一壓電層和第二壓電層；第一壓電層具有第一壓電張量分量e<subgt;33</subgt;，第二壓電層具有第二壓電張量分量e<subgt;33</subgt;，第一壓電張量分量e<subgt;33</subgt;和第二壓電張量分量e<subgt;33</subgt;相反。利用壓電張量分量e<subgt;33</subgt;相反的相鄰壓電層，可以使得該諧振器具有較大的振動，以提升機電耦合系數(shù)。

技術研發(fā)人員：張乃卿,維克托·普萊斯基
受保護的技術使用者：華為技術有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/5/15