本申請涉及半導體測試，特別是涉及一種高抑制度的抗混疊濾波器及測試機。

背景技術(shù)：

1、半導體自動化測試，指的是利用自動測試設(shè)備(automatic?test?equipment，ate)對被測器件(device?under?test，dut)的各項參數(shù)指標進行檢測，剔除殘次品以控制半導體器件的出廠品質(zhì)。在測試機中往往會使用濾波器進行信號抑制，而常規(guī)的濾波器都是標準的50歐姆輸入輸出阻抗設(shè)計，抑制度較低，很難滿足實際的需求，無法同時支持交流和直流兩種模式。如何實現(xiàn)濾波器更高的抑制度，是一個亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對上述問題，提供一種高抑制度的抗混疊濾波器及測試機。

2、本申請的第一方面提出一種高抑制度的抗混疊濾波器，包括：

3、第一級運放模塊，接入第一模擬信號，對所述第一模擬信號進行放大后輸出；

4、阻抗變換濾波模塊，連接所述第一級運放模塊，對所述第一級運放模塊輸出的信號進行阻抗變換和濾波后輸出；

5、第二級運放模塊，包括多個并聯(lián)的運放單元，各所述運放單元接入第二模擬信號，并與所述阻抗變換濾波模塊連接；各所述運放單元接收所述阻抗變換濾波模塊輸出的信號和所述第二模擬信號進行信號處理，并輸出處理后的模擬信號。

6、在其中一個實施例中，所述第一級運放模塊包括放大器u1、電阻r1和電阻r2，所述放大器u1的同相輸入端接入第一模擬信號，所述放大器u1的反相輸入端連接所述電阻r1的第一端和所述電阻r2的第一端，所述電阻r1的第二端接地，所述電阻r2的第二端連接所述放大器u1的輸出端，所述放大器u1的輸出端連接所述阻抗變換濾波模塊。

7、在其中一個實施例中，所述阻抗變換濾波模塊包括阻抗變換單元和多級濾波組件，所述阻抗變換單元連接所述第一級運放模塊和所述多級濾波組件，所述多級濾波組件連接各所述運放單元。

8、在其中一個實施例中，所述阻抗變換單元包括電阻r3、電阻r4和電容c1，所述電阻r3的第一端連接所述第一級運放模塊和所述電容c1的第一端，所述電阻r3的第二端連接所述多級濾波組件，所述電容c1的第二端連接所述電阻r4的第一端，所述電阻r4的第二端連接所述電阻r3的第二端。

9、在其中一個實施例中，所述多級濾波組件包括電感l(wèi)1、電感l(wèi)2、電感l(wèi)3、電感l(wèi)4、電容c2、電容c3、電容c4和電容c5；

10、所述電感l(wèi)1的第一端連接所述阻抗變換單元，所述電感l(wèi)1的第二端連接所述電感l(wèi)2的第一端，所述電感l(wèi)2的第二端連接所述電感l(wèi)3的第一端，所述電感l(wèi)3的第二端連接所述電感l(wèi)4的第一端，所述電感l(wèi)4的第二端連接各所述運放單元；所述電容c2的第一端連接所述電感l(wèi)1的第二端，所述電容c2的第二端接地，所述電容c3的第一端連接所述電感l(wèi)1的第二端，所述電容c3的第二端接地；所述電容c4的第一端連接所述電感l(wèi)3的第二端，所述電容c4的第二端接地，所述電容c5的第一端連接所述電感l(wèi)3的第二端，所述電容c5的第二端接地。

11、在其中一個實施例中，所述阻抗變換濾波模塊還包括電阻r5，所述電阻r5的第一端連接所述電感l(wèi)4的第二端，所述電阻r5的第二端接地。

12、在其中一個實施例中，所述運放單元包括第一運放單元和第二運放單元；所述第一運放單元連接所述多級濾波組件，以及接入所述第二模擬信號；所述第二運放單元連接所述多級濾波組件，以及接入所述第二模擬信號。

13、在其中一個實施例中，所述第一運放單元包括放大器u2、電阻r6、電阻r7、電阻r8、電阻r9、電阻r15和電阻r17，所述放大器u2的同相輸入端連接所述電阻r7的第一端，所述放大器u2的反相輸入端連接所述電阻r6的第一端，所述電阻r7的第二端連接所述多級濾波組件，所述電阻r6的第二端接入所述第二模擬信號，所述電阻r17的第一端連接所述電阻r6的第一端，所述電阻r17的第二端連接所述電阻r6的第二端；所述電阻r8與所述電阻r9并聯(lián)后一端連接所述放大器u2的反相輸入端，另一端連接所述放大器u2的輸出端；所述電阻r15的第一端連接所述放大器u2的輸出端，所述電阻r15的第二端連接所述第二運放單元。

14、在其中一個實施例中，所述第二運放單元包括放大器u3、電阻r10、電阻r11、電阻r12、電阻r13、電阻r14和電阻r16，所述放大器u3的同相輸入端連接所述電阻r12的第一端，所述放大器u2的反相輸入端連接所述電阻r11的第一端，所述電阻r12的第二端連接所述多級濾波組件，所述電阻r11的第二端接入所述第二模擬信號，所述電阻r10的第一端連接所述電阻r11的第一端，所述電阻r10的第二端連接所述電阻r11的第二端；所述電阻r13與所述電阻r14并聯(lián)后一端連接所述放大器u3的反相輸入端，另一端連接所述放大器u3的輸出端；所述電阻r16的第一端連接所述放大器u3的輸出端，所述電阻r16的第二端連接所述第一運放單元。

15、本申請的第二方面提出一種測試機，包括上述的高抑制度的抗混疊濾波器。

16、上述高抑制度的抗混疊濾波器及測試機，第一級運放模塊對第一模擬信號進行放大后輸出，阻抗變換濾波模塊對第一級運放模塊輸出的信號進行阻抗變換和濾波后輸出。第二級運放模塊包括多個并聯(lián)的運放單元，各運放單元接收阻抗變換濾波模塊輸出的信號和第二模擬信號進行信號處理，并輸出處理后的模擬信號。通過采用阻抗變換濾波和多并聯(lián)運放單元的架構(gòu)，能夠在實現(xiàn)高抑制度的情況下，提升驅(qū)動能力，并且能夠同時支持交流和直流兩種模式，對交流信號抑制度高。

技術(shù)特征：

1.一種高抑制度的抗混疊濾波器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述第一級運放模塊包括放大器u1、電阻r1和電阻r2，所述放大器u1的同相輸入端接入第一模擬信號，所述放大器u1的反相輸入端連接所述電阻r1的第一端和所述電阻r2的第一端，所述電阻r1的第二端接地，所述電阻r2的第二端連接所述放大器u1的輸出端，所述放大器u1的輸出端連接所述阻抗變換濾波模塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述阻抗變換濾波模塊包括阻抗變換單元和多級濾波組件，所述阻抗變換單元連接所述第一級運放模塊和所述多級濾波組件，所述多級濾波組件連接各所述運放單元。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述阻抗變換單元包括電阻r3、電阻r4和電容c1，所述電阻r3的第一端連接所述第一級運放模塊和所述電容c1的第一端，所述電阻r3的第二端連接所述多級濾波組件，所述電容c1的第二端連接所述電阻r4的第一端，所述電阻r4的第二端連接所述電阻r3的第二端。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述多級濾波組件包括電感l(wèi)1、電感l(wèi)2、電感l(wèi)3、電感l(wèi)4、電容c2、電容c3、電容c4和電容c5；

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述阻抗變換濾波模塊還包括電阻r5，所述電阻r5的第一端連接所述電感l(wèi)4的第二端，所述電阻r5的第二端接地。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述運放單元包括第一運放單元和第二運放單元；所述第一運放單元連接所述多級濾波組件，以及接入所述第二模擬信號；所述第二運放單元連接所述多級濾波組件，以及接入所述第二模擬信號。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述第一運放單元包括放大器u2、電阻r6、電阻r7、電阻r8、電阻r9、電阻r15和電阻r17，所述放大器u2的同相輸入端連接所述電阻r7的第一端，所述放大器u2的反相輸入端連接所述電阻r6的第一端，所述電阻r7的第二端連接所述多級濾波組件，所述電阻r6的第二端接入所述第二模擬信號，所述電阻r17的第一端連接所述電阻r6的第一端，所述電阻r17的第二端連接所述電阻r6的第二端；所述電阻r8與所述電阻r9并聯(lián)后一端連接所述放大器u2的反相輸入端，另一端連接所述放大器u2的輸出端；所述電阻r15的第一端連接所述放大器u2的輸出端，所述電阻r15的第二端連接所述第二運放單元。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗混疊濾波器，其特征在于，所述第二運放單元包括放大器u3、電阻r10、電阻r11、電阻r12、電阻r13、電阻r14和電阻r16，所述放大器u3的同相輸入端連接所述電阻r12的第一端，所述放大器u2的反相輸入端連接所述電阻r11的第一端，所述電阻r12的第二端連接所述多級濾波組件，所述電阻r11的第二端接入所述第二模擬信號，所述電阻r10的第一端連接所述電阻r11的第一端，所述電阻r10的第二端連接所述電阻r11的第二端；所述電阻r13與所述電阻r14并聯(lián)后一端連接所述放大器u3的反相輸入端，另一端連接所述放大器u3的輸出端；所述電阻r16的第一端連接所述放大器u3的輸出端，所述電阻r16的第二端連接所述第一運放單元。

10.一種測試機，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任意一項所述的高抑制度的抗混疊濾波器。

技術(shù)總結(jié)
本申請涉及一種高抑制度的抗混疊濾波器及測試機，濾波器包括：第一級運放模塊，接入第一模擬信號，對第一模擬信號進行放大后輸出；阻抗變換濾波模塊，連接第一級運放模塊，對第一級運放模塊輸出的信號進行阻抗變換和濾波后輸出；第二級運放模塊，包括多個并聯(lián)的運放單元，各運放單元接入第二模擬信號，并與阻抗變換濾波模塊連接；各運放單元接收阻抗變換濾波模塊輸出的信號和第二模擬信號進行信號處理，并輸出處理后的模擬信號。通過采用阻抗變換濾波和多并聯(lián)運放單元的架構(gòu)，能夠在實現(xiàn)高抑制度的情況下，提升驅(qū)動能力。

技術(shù)研發(fā)人員：連心想,黃輝藍,任勇
受保護的技術(shù)使用者：杭州長川科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240410
技術(shù)公布日：2025/4/10