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半導體器件、制備方法、功率模塊、轉換電路和車輛與流程

文檔序號:41953438發(fā)布日期:2025-05-16 14:17閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種半導體器件,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權利要求1所述的半導體器件,其特征在于,還包括:

3.根據(jù)權利要求2所述的半導體器件,其特征在于,還包括:

4.根據(jù)權利要求1所述的半導體器件,其特征在于,所述第一表面還包括第三區(qū)表面;

5.根據(jù)權利要求1所述的半導體器件,其特征在于,所述第一區(qū)表面還包括jeft區(qū),所述jeft區(qū)位于所述溝道區(qū)遠離所述第一電極接觸區(qū)的一側,且與所述體區(qū)側面接觸;所述第一接觸區(qū)與所述jeft區(qū)的導電類型不同。

6.一種半導體器件的制備方法,其特征在于,包括:

7.根據(jù)權利要求6所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述半導體本體的第二區(qū)表面形成接觸金屬層的同時,還包括:

8.根據(jù)權利要求6所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述半導體本體的第一區(qū)表面形成第一接觸區(qū),并在所述第一接觸區(qū)靠近所述第二表面的一側形成體區(qū),以及在第一接觸區(qū)遠離所述第二表面的一側形成平面柵結構,包括:

9.根據(jù)權利要求8所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,還包括:

10.根據(jù)權利要求9所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述半導體本體的第一區(qū)表面形成第二接觸區(qū),包括:

11.根據(jù)權利要求10所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,

12.根據(jù)權利要求10所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,還包括:

13.根據(jù)權利要求10或12所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,所述第一表面還包括第三區(qū)表面,形成所述初始體區(qū)的同時,還包括:

14.根據(jù)權利要求6所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,形成所述平面柵結構,包括:

15.根據(jù)權利要求7所述的半導體器件的制備方法,其特征在于,在所述半導體本體第一區(qū)表面形成與所述平面柵結構接觸的柵極電極和與所述第一接觸區(qū)接觸的第一電極之前,還包括:

16.一種功率模塊,其特征在于,包括基板與至少一個如權利要求1~5任一所述的半導體器件,所述基板用于承載所述半導體器件。

17.一種功率轉換電路,其特征在于,所述功率轉換電路用于電流轉換、電壓轉換、功率因數(shù)校正中的一個或多個;

18.一種車輛,其特征在于,包括負載以及如權利要求17所述的功率轉換電路,所述功率轉換電路用于將交流電轉換為直流電、將交流電轉換為交流電、將直流電轉換為直流電或者將直流電轉換為交流電后,輸入到所述負載。


技術總結
本發(fā)明公開了一種半導體器件、制備方法、功率模塊、轉換電路和車輛,半導體器件的制備方法包括:形成半導體本體;半導體本體包括相對的第一表面和第二表面,第一表面包括第一區(qū)表面和第二區(qū)表面;在半導體本體的第一區(qū)表面形成第一接觸區(qū),并在第一接觸區(qū)靠近第二表面的一側形成體區(qū),在第一接觸區(qū)遠離第二表面的一側形成平面柵結構;第一接觸區(qū)包括相連的第一電極接觸區(qū)和溝道區(qū),平面柵結構覆蓋溝道區(qū);在半導體本體的第二區(qū)表面形成接觸金屬層;接觸金屬層與半導體本體的第二區(qū)表面形成肖特基接觸。本發(fā)明提供的技術方案,簡化了半導體器件的制備方法,降低了器件在反向續(xù)流狀態(tài)下的能量損耗。

技術研發(fā)人員:鄧輝
受保護的技術使用者:長飛先進半導體(武漢)有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/5/15
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