技術(shù)特征：

1.一種用于對通過在由曝光設(shè)備(59)執(zhí)行的曝光過程的框架內(nèi)復(fù)制母版hoe(92)來生產(chǎn)全息光學(xué)元件hoe的生產(chǎn)方法進(jìn)行配置的方法，其中，在該曝光過程中，該母版hoe(92)的載體層沿著該hoe(96)的載體層布置，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該方法還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，該方法還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，該方法還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，該方法還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，

10.一種設(shè)備，包括至少一個(gè)處理器和存儲(chǔ)器，其中，該至少一個(gè)處理器被配置為從該存儲(chǔ)器加載程序代碼并且執(zhí)行該程序代碼，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及通過對母版HOE進(jìn)行復(fù)制來生產(chǎn)全息光學(xué)元件(HOE)的技術(shù)。更具體地，本發(fā)明涉及用于靈活地調(diào)整HOE的衍射效率的技術(shù)?？烧{(diào)光學(xué)元件(54)可以用于在曝光過程中改變光的強(qiáng)度和/或偏振。

技術(shù)研發(fā)人員：馬庫斯·吉爾,克里斯蒂安·布萊希施密特
受保護(hù)的技術(shù)使用者：卡爾蔡司耶拿有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15