1.一種基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟1)中，所述超表面的結(jié)構(gòu)包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟1)中，所述的納米矩形孔陣列包含若干具有相同深度及孔徑尺寸的矩形孔，所述矩形孔在平面內(nèi)進(jìn)行周期性排布。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟2)中，所述的納米孔單元包括：矩形孔以及該矩形孔的邊緣所對(duì)應(yīng)的氮化硅襯底和鉬金屬層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟2)中，不同偏振為x線性偏振和y線性偏振。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟2)中，通過(guò)時(shí)域有限差分方法計(jì)算超表面的結(jié)構(gòu)中納米孔單元在目標(biāo)波長(zhǎng)下和不同偏振自由空間輸入光源下的共振相位響應(yīng)分布及透過(guò)率分布。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟3)中，所述的半波片的納米孔單元對(duì)應(yīng)的相位差條件為：x線性偏振與y線性偏振相位差為π或其奇數(shù)倍。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟3)中，四分之一波片的納米孔單元對(duì)應(yīng)的相位差條件為：x線性偏振與y線性偏振相位差為或其奇數(shù)倍。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟4)中，利用算法篩選索引滿足半波片所需條件的矩形孔的結(jié)構(gòu)參數(shù)，將納米孔單元進(jìn)行周期性排布，完成極紫外波段半波片器件的設(shè)計(jì)，具體包括：
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于超構(gòu)表面的極紫外波段半波片及四分之一波片器件的設(shè)計(jì)方法，其特征在于，步驟4)中，利用算法篩選索引滿足四分之一波片所需條件的矩形孔的結(jié)構(gòu)參數(shù)，將納米孔單元進(jìn)行周期性排布，完成極紫外波段四分之一波片器件設(shè)計(jì)，具體包括：