本發(fā)明涉及一種固定與抽氣相互獨(dú)立的管道結(jié)構(gòu)，通過(guò)固定件與抽氣管道相互獨(dú)立的結(jié)構(gòu)方式，達(dá)到內(nèi)部組件拆卸安裝與抽氣管道的拆卸安裝互不干擾的目的，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備在進(jìn)行沉積反應(yīng)時(shí)，腔室內(nèi)需要不斷的抽真空、通入工藝氣體、再抽真空，保證氣體同心環(huán)擴(kuò)散對(duì)成膜均勻性有很大影響，因此抽氣管道需要在腔體中心，在中心抽氣能盡量保證薄膜成同心圓分布。抽氣時(shí)，工藝殘余氣體會(huì)進(jìn)入抽氣管道，在抽氣管道中反應(yīng)生成固體粉末，因此抽氣管道需要容易拆卸，便于清理管道內(nèi)部的固體粉末。進(jìn)行薄膜沉積工藝時(shí)，根據(jù)工藝的不同，腔室內(nèi)需要加熱至相應(yīng)的溫度以保證薄膜沉積工藝順利進(jìn)行。加熱器件也需要安裝在腔體中心，并有長(zhǎng)柄伸出腔體外，需在腔體外固定。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種固定與抽氣相互獨(dú)立的管道結(jié)構(gòu),為了解決加熱器固定件和抽氣管路都需要占據(jù)腔體外壁中心部分，且安裝拆卸不方便的問(wèn)題。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種固定與抽氣相互獨(dú)立的管道結(jié)構(gòu)，安裝在設(shè)備的反應(yīng)腔體上，設(shè)置一固定件，采用螺絲固定在腔體下表面，抽氣管道加工成環(huán)形結(jié)構(gòu)，安裝在固定件的外圈，所述固定件為筒狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)置加熱器。

本發(fā)明進(jìn)一步地，固定件底面設(shè)置定位孔，加熱器安裝在固定件內(nèi)部后，由底面和與固定件底面的定位孔定位。

本發(fā)明進(jìn)一步地，固定件和抽氣管道通過(guò)法蘭連接在腔體底面。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于：本發(fā)明采用固定件中心安裝，套式結(jié)構(gòu)，用螺絲固定在腔體下表面，加熱器落在固定件內(nèi)部。抽氣管道加工成環(huán)形結(jié)構(gòu)，安裝在加熱器固定件外圈，在腔體底面上抽氣管道環(huán)形結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)位置均勻的打一圈抽氣孔，即可實(shí)現(xiàn)將腔室抽真空的目的，可拆卸，安裝方便。

由于加熱器伸出腔體外的部分很長(zhǎng)，固定件和抽氣管道可以通過(guò)機(jī)械加工后焊接，或鑄造等方式實(shí)現(xiàn)。除了傳統(tǒng)的車、銑、鉆等機(jī)械加工手段，因選擇的材質(zhì)不同還需要采用真空釬焊、氬弧焊、摩擦焊等不同的焊接手段，或是幾種焊接手段配合使用。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明機(jī)械加工結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明焊接加工實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明焊接加工實(shí)施例的剖視圖；

圖4是本發(fā)明焊接加工實(shí)施例的等軸測(cè)結(jié)構(gòu)示意圖；

其中標(biāo)號(hào)分別代表:

1、固定件 2、抽氣管道 3、氣體環(huán)道 4、抽氣管道底面 5、固定件底面

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

實(shí)施例1

參見(jiàn)圖1，一種固定與抽氣相互獨(dú)立的管道結(jié)構(gòu)，安裝在設(shè)備的反應(yīng)腔體上，設(shè)置一固定件1，采用螺絲固定在腔體下表面，抽氣管道2加工成環(huán)形結(jié)構(gòu)，形成氣體環(huán)道3，安裝在固定件1的外圈，固定件1為筒狀結(jié)構(gòu)，內(nèi)置加熱器。

固定件底面設(shè)置定位孔，加熱器安裝在固定件內(nèi)部后，由底面和與固定件底面的定位孔定位。

固定件1和抽氣管道2通過(guò)法蘭連接在腔體底面。

本實(shí)施例中采用固定件中心安裝，套式結(jié)構(gòu)，用螺絲固定在腔體下表面，加熱器落在固定件內(nèi)部。抽氣管道加工成環(huán)形結(jié)構(gòu)，安裝在加熱器固定件外圈，在腔體底面上抽氣管道環(huán)形結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)位置均勻的打一圈抽氣孔，即可實(shí)現(xiàn)將腔室抽真空的目的。

實(shí)施例2

參見(jiàn)圖2結(jié)合圖3和圖4，與實(shí)施例1的不同之處在于，固定件底面5與固定件之間分體結(jié)構(gòu)，通過(guò)焊接的方式焊接在固定件1上，抽氣管道2也設(shè)置分離的抽氣管道底面4。

理由在于，當(dāng)加熱器柄很長(zhǎng)，抽氣管道2較深時(shí)，機(jī)械加工難以保證固定件1和抽氣管道底面4的加工精度，因此可采用焊接加工方式，如圖2、3、4所示。分別加工抽氣管道底面4、固定件底面5和主體部分，加工完成后將抽氣管道底面4與主體焊接起來(lái)，固定件底面5與主體部分用法蘭連接。固定件1和抽氣管道2的法蘭加工成圖2所示形狀，可以節(jié)省安裝空間，抽氣位置可以更加接近腔體中心。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。