本發(fā)明屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體薄膜的制備中，反應(yīng)腔體內(nèi)部會有一些功能性運動部件，這些部件的驅(qū)動在腔體之外，通過升降裝置帶動其進行動作。在以往的腔內(nèi)運動部件設(shè)計中，常常為了保證運動處的密封性而使得設(shè)計變得復(fù)雜，裝配難度上升，維護困難。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)，采用簡易的密封結(jié)構(gòu)，利用動密封形式，解決動作連桿運動時的密封要求，簡化了自身結(jié)構(gòu)，使整個機構(gòu)的裝配變得簡便，易于設(shè)備的維護。

本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)，其特征在于，動密封頂升結(jié)構(gòu)包括固定裝置和驅(qū)動裝置，固定裝置包括直線軸承座和連接基座，直線軸承座與反應(yīng)腔體固定連接，驅(qū)動裝置包括支撐導(dǎo)桿、支撐導(dǎo)桿連接件和驅(qū)動部件，支撐導(dǎo)桿插入直線軸承座內(nèi)，驅(qū)動部件與連接基座進行連接，連接基座與直線軸承座進行連接，支撐導(dǎo)桿與支撐導(dǎo)桿連接件進行連接；

將動密封膠圈安裝在直線軸承座的膠圈槽內(nèi)，密封膠圈安裝在直線軸承基座的膠圈槽內(nèi)。

進一步地，驅(qū)動部件運動時，支撐導(dǎo)桿連接件帶動支撐導(dǎo)桿進行升降的周 期性運動。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點在于，采用簡易的密封結(jié)構(gòu)，利用動密封形式，解決動作連桿運動時的密封要求，簡化了自身結(jié)構(gòu)，使整個機構(gòu)的裝配變得簡便，易于設(shè)備的維護。

附圖說明

下面結(jié)合附圖及實施方式對本發(fā)明作進一步詳細(xì)的說明：

圖1為本發(fā)明提供的動密封頂升結(jié)構(gòu)剖面示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的動密封頂升結(jié)構(gòu)主視圖。

具體實施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，下面結(jié)合附圖實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用于解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

參考圖1和圖2，本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于薄膜沉積設(shè)備中的動密封頂升結(jié)構(gòu)，所述動密封頂升結(jié)構(gòu)包括固定裝置和驅(qū)動裝置，固定裝置包括直線軸承座3和連接基座4，直線軸承座3與反應(yīng)腔體1固定連接，驅(qū)動裝置包括支撐導(dǎo)桿2、支撐導(dǎo)桿連接件5和驅(qū)動部件6，支撐導(dǎo)桿2插入直線軸承座3內(nèi)，驅(qū)動部件6與連接基座4進行連接，連接基座4與直線軸承座3進行連接，支撐導(dǎo)桿2與支撐導(dǎo)桿連接件5進行連接；

將動密封膠圈8安裝在直線軸承座3的膠圈槽內(nèi)，密封膠圈7安裝在直線軸承座3的膠圈槽內(nèi)。

當(dāng)反應(yīng)腔體內(nèi)部進行薄膜沉積反應(yīng)時，驅(qū)動部件運動，從而驅(qū)動支撐導(dǎo)桿連接件帶動支撐導(dǎo)桿進行升降的周期性運動，滿足腔體內(nèi)的運動需求。