1.本發(fā)明屬于基于磨料拋光墊的寶石襯底的超精密加工方法，其特征在于：用粒度不大于14微米的金剛石固結(jié)磨料拋光墊對(duì)LBO晶體進(jìn)行粗拋光加工，拋光加工過(guò)程中控制拋光壓力為50～600g/cm2，拋光機(jī)的轉(zhuǎn)速控制在10～200rpm，并控制拋光所用的拋光液的PH值在2～6之間，拋光液的溫度介于20～30℃，完成LBO晶體的粗拋光；其次，再用粒度不大于3微米的氧化鈰固結(jié)磨料拋光墊對(duì)上述粗拋光所得的LBO晶體進(jìn)行精拋光加工，精拋光加工過(guò)程中控制拋光壓力在50～600g/cm2之間，拋光轉(zhuǎn)速控制在10～200rpm之間，同時(shí)調(diào)節(jié)拋光所用的拋光液的PH值在2～6之間，控制拋光液的溫度在20～30℃之間，直至表面粗糙度滿足設(shè)定要求。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征是所述的拋光液為去離子水。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的加工方法，其特征是所述的拋光液的PH值調(diào)節(jié)劑為鹽酸、過(guò)氧化氫、氨水、羥基胺、四甲基氫氧化銨、乙二胺或三乙醇胺、檸檬酸、乙酸或乙酸鈉、磷酸二氫鈉或次氯酸鈉中的一種或一種以上的組合。