本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，特別涉及一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組。

背景技術：

在真空鍍膜系統(tǒng)中，對各真空室的抽真空處理，影響著各個工藝工序的效率和鍍膜質量。工件進入鍍膜室進行鍍膜的前后，均需要先送入預抽室、粗抽室、精抽室等進行預處理或緩沖處理。在傳統(tǒng)的真空鍍膜系統(tǒng)中，每個真空室分別設有獨立的抽真空機組，各自獨立使用。但在實際生產中，該結構的真空鍍膜系統(tǒng)的抽真空效果并不理想，尤其是針對粗抽室的抽真空，由于羅茨泵的前級抽氣能力往往較差，粗抽室內難以達到低壓強狀態(tài)，使得工件在粗抽室內難以得到較好的緩沖處理，往往容易影響后續(xù)加工工序的加工效果；同時，對粗抽室進行抽真空時，其用時也長，因此也延長了整個真空鍍膜系統(tǒng)的鍍膜周期，鍍膜效率難以得到提高。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種結構簡單、抽真空效果較好且可有效縮短鍍膜周期的真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組。

本實用新型的技術方案為：一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組，包括第一抽氣管路和第二抽氣管路，第一抽氣管路設于真空鍍膜系統(tǒng)的預抽室中，第二抽氣管路設于真空鍍膜系統(tǒng)的粗抽室中，第一抽氣管路與第二抽氣管路之間通過旁通管連通，旁通管上設有旁通閥。

所述第一抽氣管路包括并列設置的第一抽氣管和第二抽氣管，第一抽氣管上設有第一粗抽閥，第一抽氣管末端設有第一機械泵，第二抽氣管上設有第二粗抽閥，第二抽氣管末端設有第二機械泵。其中，第一抽氣泵和第二抽氣泵相互獨立工作，對預抽室進行抽真空時，根據實際的工藝需求，可只采用第一抽氣泵或第二抽氣泵進行抽真空工作，也可同時開啟，實現(xiàn)快速抽氣。

所述第二抽氣管路包括第三抽氣管，第三抽氣管上設有第三閥門，沿氣體輸送方向，第三抽氣管的末端依次設有羅茨泵和第三機械泵，旁通管連通于第二機械泵的進口端和第三機械泵的進口端之間。在第二機械泵和第三機械泵之間設置旁通管及旁通閥的主要目的是：由于羅茨泵對粗抽室抽氣時，打開第二真空鎖的瞬間，粗抽室內的真空壓強上升較大，而羅茨泵的前級抽氣能力較差，僅使用第三機械泵進行抽氣時，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開啟旁通閥，通過旁通管將第二機械泵和第三機械泵連通，通過兩臺機械泵串聯(lián)對羅茨泵進行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強較高的情況下也能正常運行工作。

所述旁通閥打開前，第二粗抽閥處于關閉狀態(tài)，第三閥門、羅茨泵和第三機械泵均處于開啟狀態(tài)。

所述預抽室和粗抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中相鄰的兩個真空室。

所述預抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中進片端或出片端的預抽室，粗抽室相應為真空鍍膜系統(tǒng)中進片端或出片端的粗抽室。即預抽室和粗抽室相鄰設于真空鍍膜系統(tǒng)的進片端或出片端，而在實際生產中，通常在進片端和出片端同時設置。

所述預抽室的外端設有第一真空鎖，預抽室與粗抽室的連接處設有第二真空鎖。第一真空鎖和第二真空鎖的設置是為了保證預抽室和粗抽室之間的相互獨立性。

上述真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組使用時，以預抽室和粗抽室設于真空鍍膜系統(tǒng)的進片端為例，其原理是：先在預抽室中放入大氣，然后關閉第一真空鎖，打開第一粗抽閥和第二粗抽閥，第一機械泵和第二機械泵分別對預抽室進行抽氣；當預抽室內的真空壓強達到設定值后，打開第二真空鎖，同時關閉第二粗抽閥，并打開旁通閥(打開旁通閥之前，第三機械泵和羅茨泵處于開啟狀態(tài)，第三閥門處于打開狀態(tài)，即粗抽室也處于抽氣狀態(tài))；打開第二真空鎖后，預抽室內的工件送入粗抽室中，然后關閉第二真空鎖，再關閉第一粗抽閥，延時一段時間(該時間段可根據實際工藝需求進行設定，一般為幾秒)后關閉旁通閥；最后重新對預抽室進行放氣，至此為一個抽真空的循環(huán)周期。上述過程中，由于羅茨泵對粗抽室進行抽氣時，打開第二真空鎖的瞬間，粗抽室內的真空壓強上升較大，而羅茨泵的前級抽氣能力較差，僅使用第三機械泵進行抽氣時，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開啟旁通閥，通過旁通管將第二機械泵和第三機械泵連通，通過兩臺機械泵串聯(lián)對羅茨泵進行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強較高的情況下也能正常運行工作。

本實用新型相對于現(xiàn)有技術，具有以下有益效果：

本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組是在傳統(tǒng)真空鍍膜系統(tǒng)的抽真空機組結構上進行改進的，針對粗抽室抽真空時存在的缺陷，通過在相鄰兩組抽真空機組中增設旁通管及旁通閥，從而實現(xiàn)多個機械泵串聯(lián)對粗抽室的羅茨泵出口進行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強較高的情況下也能正常運行工作。

本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組的結構簡單，改造成本低，但對于粗抽室的抽真空需求來說，具有較好的抽真空效果，同時可實現(xiàn)快速抽真空，縮短抽真空的循環(huán)周期，進一步縮短工件鍍膜周期，本真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組在試驗中，相比傳統(tǒng)抽真空機組，其抽真空的循環(huán)周期縮短了5～10秒，有效提高了鍍膜系統(tǒng)的生產效率。

附圖說明

圖1為真空鍍膜系統(tǒng)的進片端和出片端同時設置本快速抽真空機組的原理示意圖。

圖中，1為第一粗抽閥，2為第一機械泵，3為第二機械泵，4為第二粗抽閥，5為旁通閥，6為第三機械泵，7為羅茨泵，8為進片平臺，9為第一真空鎖，10為預抽室，11為第二真空鎖，12為粗抽室，13為精抽室，14為第三閥門，15為第一抽氣管，16為第二抽氣管，17為第三抽氣管，18為旁通管。

具體實施方式

下面結合實施例，對本實用新型作進一步的詳細說明，但本實用新型的實施方式不限于此。

實施例

本實施例一種真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組，如圖1所示，真空鍍膜系統(tǒng)的進片端和出片端分別設置本快速抽真空機組。

快速抽真空機組包括第一抽氣管路和第二抽氣管路，第一抽氣管路設于真空鍍膜系統(tǒng)的預抽室中，第二抽氣管路設于真空鍍膜系統(tǒng)的粗抽室中，第一抽氣管路與第二抽氣管路之間通過旁通管連通，旁通管上設有旁通閥。

其中，第一抽氣管路包括并列設置的第一抽氣管和第二抽氣管，第一抽氣管上設有第一粗抽閥，第一抽氣管末端設有第一機械泵，第二抽氣管上設有第二粗抽閥，第二抽氣管末端設有第二機械泵。其中，第一抽氣泵和第二抽氣泵相互獨立工作，對預抽室進行抽真空時，根據實際的工藝需求，可只采用第一抽氣泵或第二抽氣泵進行抽真空工作，也可同時開啟，實現(xiàn)快速抽氣。

第二抽氣管路包括第三抽氣管，第三抽氣管上設有第三閥門，沿氣體輸送方向，第三抽氣管的末端依次設有羅茨泵和第三機械泵，旁通管連通于第二機械泵的進口端和第三機械泵的進口端之間。在第二機械泵和第三機械泵之間設置旁通管及旁通閥的主要目的是：由于羅茨泵對粗抽室抽氣時，打開第二真空鎖的瞬間，粗抽室內的真空壓強上升較大，而羅茨泵的前級抽氣能力較差，僅使用第三機械泵進行抽氣時，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開啟旁通閥，通過旁通管將第二機械泵和第三機械泵連通，通過兩臺機械泵串聯(lián)對羅茨泵進行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強較高的情況下也能正常運行工作。

旁通閥打開前，第二粗抽閥處于關閉狀態(tài)，第三閥門、羅茨泵和第三機械泵均處于開啟狀態(tài)。

預抽室和粗抽室為真空鍍膜系統(tǒng)中相鄰的兩個真空室。

預抽室的外端設有第一真空鎖，預抽室與粗抽室的連接處設有第二真空鎖。第一真空鎖和第二真空鎖的設置是為了保證預抽室和粗抽室之間的相互獨立性。

上述真空鍍膜系統(tǒng)用的快速抽真空機組使用時，以預抽室和粗抽室設于真空鍍膜系統(tǒng)的進片端為例，其原理是：先在預抽室中放入大氣，然后關閉第一真空鎖，打開第一粗抽閥和第二粗抽閥，第一機械泵和第二機械泵分別對預抽室進行抽氣；當預抽室內的真空壓強達到設定值后，打開第二真空鎖，同時關閉第二粗抽閥，并打開旁通閥(打開旁通閥之前，第三機械泵和羅茨泵處于開啟狀態(tài)，第三閥門處于打開狀態(tài)，即粗抽室也處于抽氣狀態(tài))；打開第二真空鎖后，預抽室內的工件送入粗抽室中，然后關閉第二真空鎖，再關閉第一粗抽閥，延時一段時間(該時間段可根據實際工藝需求進行設定，一般為幾秒)后關閉旁通閥；最后重新對預抽室進行放氣，至此為一個抽真空的循環(huán)周期。上述過程中，由于羅茨泵對粗抽室進行抽氣時，打開第二真空鎖的瞬間，粗抽室內的真空壓強上升較大，而羅茨泵的前級抽氣能力較差，僅使用第三機械泵進行抽氣時，其抽氣能力較小，抽氣效率也低，因此，開啟旁通閥，通過旁通管將第二機械泵和第三機械泵連通，通過兩臺機械泵串聯(lián)對羅茨泵進行抽氣，可以使羅茨泵出口的壓強大大降低，從而滿足羅茨泵在入口壓強較高的情況下也能正常運行工作。

如上所述，便可較好地實現(xiàn)本實用新型，上述實施例僅為本實用新型的較佳實施例，并非用來限定本實用新型的實施范圍；即凡依本實用新型內容所作的均等變化與修飾，都為本實用新型權利要求所要求保護的范圍所涵蓋。