本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于安裝拋光墊的裝置。

背景技術(shù)：

在對晶圓進(jìn)行拋光之前，首先需要將拋光墊安裝于底盤上，通常是手動將拋光墊水平放置在底盤上，再將拋光墊上的塑料保護(hù)層撕掉。由于底盤直徑尺寸較大，且拋光墊尺寸不一，因此，無法保證拋光墊與底盤同心設(shè)置，且在安裝過程中拋光墊與底盤的接觸面容易產(chǎn)生氣泡，影響工藝效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少在一定程度上解決上述技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明提出一種用于安裝拋光墊的裝置，該用于安裝拋光墊的裝置可以準(zhǔn)備定位拋光墊，使得拋光墊與底盤同心設(shè)置，提高拋光墊的工藝處理效果。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置包括：底盤；至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置，所述調(diào)節(jié)定位裝置安裝于所述底盤的側(cè)壁上且位于同一圓周面，所述調(diào)節(jié)定位裝置包括：滑臺組件，所述滑臺組件相對所述底盤徑向方向可移動，通過調(diào)節(jié)所述滑臺組件相對所述底盤的位置從而限定出所述拋光墊的安裝區(qū)域，使得所述拋光墊同心設(shè)置于所述底盤的安裝面上。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置，在底盤的側(cè)壁上設(shè)置至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置，通過調(diào)節(jié)滑臺組件相對底盤的位置從而限定出拋光墊的安裝區(qū)域，使得拋光墊同心設(shè)置于底盤的安裝面上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置，還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述調(diào)節(jié)定位裝置進(jìn)一步包括：定位組件，所述定位組件包括弧形定位板和水平定位板，所述弧形定位板貼合設(shè)置于所述底盤的側(cè)壁且與所述底盤同心設(shè)置，所述水平定位板相切于所述弧形定位板的下部，所述滑臺組件垂直設(shè)置于所述水平定位板；上面板，所述上面板設(shè)置于所述滑臺組件頂面，所述上面板具有朝向所述底盤方向敞開的定位孔，所述定位孔用于安裝定位桿。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述底盤的側(cè)壁上設(shè)有至少兩個(gè)安裝孔，兩個(gè)所述安裝孔位于同一圓周面上且兩個(gè)所述安裝孔與圓心的連線成直角，所述弧形定位板通過緊固件與所述安裝孔配合固定于所述底盤的側(cè)壁。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述底盤的上部具有傾斜面，所述傾斜面沿所述安裝面的周緣向外向下傾斜延伸。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，定位桿的下端不高于所述底盤的安裝面，所述定位桿的上端高于所述底盤的安裝面。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置的俯視圖；

圖2是圖1中沿a-a線的剖視圖；

圖3是圖2中b處的放大圖。

附圖標(biāo)記：

用于安裝拋光墊的裝置100；

底盤10；安裝面11；傾斜面12；

調(diào)節(jié)定位裝置20；滑臺組件21；定位組件22；弧形定位板221；水平定位板222；上面板23；定位桿24。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對本發(fā)明的限制。

下面參照圖1-3描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置100。

具體地，用于安裝拋光墊的裝置100可以包括：底盤10和至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置20。如圖1結(jié)合圖2所示，底盤10具有用于安裝拋光墊的安裝面11。

至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置20安裝于底盤10的側(cè)壁上且位于同一圓周面。也就是說，底盤10的側(cè)壁可以設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上的調(diào)節(jié)定位裝置20。

該調(diào)節(jié)定位裝置20包括滑臺組件21，滑臺組件21相對底盤10徑向方向可移動，通過調(diào)節(jié)滑臺組件21相對底盤10的位置從而限定出拋光墊的安裝區(qū)域，使得拋光墊同心設(shè)置于底盤10的安裝面11上。

在拋光墊與底盤10尺寸不一致時(shí)，同時(shí)調(diào)節(jié)兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置20相對底盤10的位置，使得滑臺組件21沿著底盤10的徑向方向由內(nèi)側(cè)向外側(cè)方向移動，或者使得滑臺組件21沿著底盤10的徑向方向由外側(cè)向內(nèi)側(cè)方向移動，其中，兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置20調(diào)節(jié)量相同，從而限定出適于拋光墊尺寸的安裝區(qū)域，保證拋光墊與底盤10同心設(shè)置。

由此，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置100，在底盤10的側(cè)壁上設(shè)置至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置20，通過調(diào)節(jié)滑臺組件21相對底盤10的位置從而限定出拋光墊的安裝區(qū)域，使得拋光墊同心設(shè)置于底盤10的安裝面11上，提高對晶圓拋光的工藝效果。

在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，如圖3結(jié)合圖2所示，調(diào)節(jié)定位裝置20進(jìn)一步包括：定位組件22和上面板23。其中，定位組件22包括弧形定位板221和水平定位板222，弧形定位板221貼合設(shè)置于底盤10的側(cè)壁且與底盤10同心設(shè)置，水平定位板222相切于弧形定位板221的下部，滑臺組件21垂直設(shè)置于水平定位板222。上面板23設(shè)置于滑臺組件21頂面，上面板23具有朝向底盤10方向敞開的定位孔，定位孔用于安裝定位桿24。

這樣，在安裝拋光墊時(shí)，操作人員可以將拋光墊其中一側(cè)周緣順著兩個(gè)定位桿24周面向下滑動，從而保證拋光墊準(zhǔn)確落入滑臺組件21限定的安裝區(qū)域內(nèi)，接著平鋪整個(gè)拋光墊使得拋光墊與底盤10之間的氣泡被完全排出，最后將拋光墊上的保護(hù)膜撕掉，從而完成拋光墊的安裝。

一些可選實(shí)施例中，底盤10的側(cè)壁上設(shè)有至少兩個(gè)安裝孔，兩個(gè)安裝孔位于同一圓周面上且兩個(gè)安裝孔與圓心的連線成直角，弧形定位板221通過緊固件與安裝孔配合固定于底盤10的側(cè)壁。其中，緊固件可以為螺釘或螺栓。當(dāng)然，可以理解的是，上述實(shí)施例僅是示意性的，并不是對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，兩個(gè)安裝孔與圓心的連線也可以為其他角度，例如30°、60°或120°等，只要保證兩個(gè)安裝孔所在圓的圓心與底盤10的圓心重合即可。

進(jìn)一步可選示例中，如圖3結(jié)合圖2所示，底盤10的上部具有傾斜面12，傾斜面12沿安裝面11的周緣向外向下傾斜延伸。這樣，可以使得定位桿24具有更大移動范圍，從而進(jìn)一步有效調(diào)節(jié)拋光墊與底盤10的相對位置，保證拋光墊與底盤10同心設(shè)置。

此外，需要更換拋光墊時(shí)，可以從傾斜面12處移除拋光墊。從而便于拋光墊的更換和安裝。

其中，拋光墊的直徑為d，底盤10的直徑為d，調(diào)節(jié)量為l，l＝|d-d|/2，在放置拋光墊之前，可以先計(jì)算調(diào)節(jié)量，使得滑臺組件21沿底盤10的徑向方向移動預(yù)先計(jì)算的調(diào)節(jié)量，從而保證拋光墊與底盤10可以同心設(shè)置。

進(jìn)一步可選實(shí)施例中，如圖3結(jié)合圖2所示，定位桿24的下端不高于底盤10的安裝面11，定位桿24的上端高于底盤10的安裝面11。也就是說，定位桿24的下端低于底盤10的安裝面11，或者定位桿24的下端與底盤10的安裝面11平齊。這樣，可以使得拋光墊被準(zhǔn)確定位于滑臺組件21限定的安裝區(qū)域內(nèi)，保證拋光墊與底盤10同心設(shè)置。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。