技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于安裝拋光墊的裝置，包括：底盤(pán)；至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置，所述調(diào)節(jié)定位裝置安裝于所述底盤(pán)的側(cè)壁上且位于同一圓周面，所述調(diào)節(jié)定位裝置包括：滑臺(tái)組件，所述滑臺(tái)組件相對(duì)所述底盤(pán)徑向方向可移動(dòng)，通過(guò)調(diào)節(jié)所述滑臺(tái)組件相對(duì)所述底盤(pán)的位置從而限定出所述拋光墊的安裝區(qū)域，使得所述拋光墊同心設(shè)置于所述底盤(pán)的安裝面上。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于安裝拋光墊的裝置，在底盤(pán)的側(cè)壁上設(shè)置至少兩個(gè)調(diào)節(jié)定位裝置，通過(guò)調(diào)節(jié)滑臺(tái)組件相對(duì)底盤(pán)的位置從而限定出拋光墊的安裝區(qū)域，使得拋光墊同心設(shè)置于底盤(pán)的安裝面上，提高對(duì)晶圓拋光的工藝效果。

技術(shù)研發(fā)人員：馬海港;張敬業(yè);李海濤;肖月朝;路新春;沈攀
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津華海清科機(jī)電科技有限公司;清華大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.22
技術(shù)公布日：2017.09.05