本發(fā)明涉及真空鍍膜等真空加工，尤其涉及一種基板裝載機(jī)構(gòu)和真空加工裝置。

背景技術(shù)：

1、為提高真空加工精度，往往需要精確控制真空加工裝置中基板相對(duì)于加工源的傾斜角度。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，在對(duì)基板角度調(diào)節(jié)過(guò)程中，很難實(shí)現(xiàn)1°及以下等小角度調(diào)節(jié)，且調(diào)整過(guò)程繁瑣，從而無(wú)法滿足真空鍍膜等真空加工晶圓等基板的真空加工的精度和效率要求。比如，在對(duì)晶圓進(jìn)行真空蒸發(fā)鍍膜過(guò)程中，安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂一般通過(guò)齒輪系連接。在調(diào)節(jié)晶圓相對(duì)于蒸發(fā)源的角度時(shí)，往往先直接改變安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂之間的夾角，其后，進(jìn)行角度測(cè)量，反復(fù)前述過(guò)程，直至預(yù)設(shè)值；最后，鎖定安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂之間的夾角，并開(kāi)始鍍膜。然而，現(xiàn)有技術(shù)中，經(jīng)前述調(diào)節(jié)方式獲得的安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂之間的夾角精度不能滿足晶圓的高精度真空加工要求，且調(diào)整過(guò)程可控性較低，耗時(shí)較長(zhǎng)，進(jìn)而影響了晶圓加工的質(zhì)量和效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種基板裝載機(jī)構(gòu)和真空加工裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂角度高精度調(diào)節(jié)，從而保證晶圓的加工精度。

2、為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、基板裝載機(jī)構(gòu)，包括：

4、安裝部，所述安裝部用于將所述基板設(shè)置于基板加工腔；

5、基板裝載部，所述基板裝載部用于裝載所述基板，所述基板裝載部與所述安裝部轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

6、第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述基板裝載部相對(duì)于所述安裝部旋轉(zhuǎn)，且所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端與動(dòng)力輸出端的傳動(dòng)比為n：1，其中，n為大于1的正整數(shù)；

7、角度測(cè)量部，所述角度測(cè)量部用于測(cè)量所述基板裝載部的旋轉(zhuǎn)角度，所述角度測(cè)量部的至少部分連接所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部。

8、進(jìn)一步地，所述安裝部包括：

9、安裝底板，所述安裝底板連接所述基板加工腔的腔壁；

10、安裝臂，所述安裝臂設(shè)置于所述安裝底板與所述基板裝載部之間。

11、進(jìn)一步地，所述基板裝載部包括基板裝載盤(pán)和旋轉(zhuǎn)臂，所述旋轉(zhuǎn)臂設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸出端與所述基板裝載盤(pán)之間。

12、進(jìn)一步地，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端與動(dòng)力輸出端的傳動(dòng)比為n：1，其中，n為大于20。

13、進(jìn)一步地，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部包括相互嚙合的蝸輪組件和蝸桿組件，所述蝸桿組件和蝸輪組件轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述安裝臂中，且所述蝸輪組件與所述基板裝載部固定連接。

14、進(jìn)一步地，所述蝸桿組件包括蝸桿本體和蝸桿軸，所述蝸桿本體固定套設(shè)在蝸桿軸上，所述蝸桿本體與所述蝸輪組件嚙合，所述安裝臂上設(shè)置有兩個(gè)蝸桿軸承，所述蝸桿軸固定穿設(shè)在所述蝸桿軸承的內(nèi)圈中。

15、進(jìn)一步地，所述蝸桿軸的第一端相對(duì)所述安裝臂伸出，所述蝸桿軸的第一端上固定設(shè)置有搖桿。

16、進(jìn)一步地，所述安裝臂中固定設(shè)置有支撐架，其中一個(gè)所述蝸桿軸承固定設(shè)置在所述支撐架上。

17、進(jìn)一步地，所述蝸輪組件包括蝸輪和轉(zhuǎn)軸，所述蝸輪止轉(zhuǎn)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上，所述蝸輪固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上，所述安裝臂上固定設(shè)置有兩個(gè)蝸輪軸承，所述轉(zhuǎn)軸固定穿設(shè)在所述蝸輪軸承的內(nèi)圈中。

18、進(jìn)一步地，所述角度測(cè)量部包括第一旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部和/或第二旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部，所述第一旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部包括第一指針和第一刻度盤(pán)，所述第一刻度盤(pán)和所述第一指針兩者中，其一設(shè)置于所述安裝部，另一設(shè)置于所述基板裝載部；所述第二旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部包括第二指針和第二刻度盤(pán)，所述第二刻度盤(pán)和所述第二指針兩者中，其一設(shè)置于所述安裝部，另一設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端，所述第一刻度盤(pán)的分度值是所述第二刻度盤(pán)分度值的n倍。

19、進(jìn)一步地，還包括第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部，所述第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部設(shè)置于所述安裝部和所述基板裝載部之間。

20、進(jìn)一步地，所述第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部包括上微調(diào)限位組件和下微調(diào)限位組件，所述上微調(diào)限位組件和所述下微調(diào)限位組件固定設(shè)置在所述安裝部上，所述上微調(diào)限位組件能夠推動(dòng)所述基板裝載部逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，所述下微調(diào)限位組件能夠推動(dòng)所述基板裝載部順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述上微調(diào)限位組件和所述下微調(diào)限位組件能夠配合鎖定所述基板裝載部。

21、進(jìn)一步地，所述上微調(diào)限位組件包括第一安裝板、第一鎖定螺釘和第一調(diào)節(jié)微分頭，所述第一安裝板設(shè)置在所述安裝部上，所述第一鎖定螺釘與所述第一安裝板螺接，所述第一調(diào)節(jié)微分頭固定設(shè)置在所述第一安裝板上，所述第一鎖定螺釘和所述第一調(diào)節(jié)微分頭能夠與所述基板裝載部抵接；所述下微調(diào)限位組件包括第二安裝板、第二鎖定螺釘和第二調(diào)節(jié)微分頭，所述第二安裝板設(shè)置在所述安裝部上，所述第二鎖定螺釘與所述第二安裝板螺接，所述第二調(diào)節(jié)微分頭固定設(shè)置在所述第二安裝板上，所述第二鎖定螺釘和所述第二調(diào)節(jié)微分頭能夠與所述基板裝載部抵接。

22、進(jìn)一步地，所述基板裝載部上間隔設(shè)置有第一抵接件和第二抵接件，所述第一抵接件與所述上微調(diào)限位組件配合，所述第二抵接件與所述下微調(diào)限位組件配合。

23、進(jìn)一步地，所述安裝部上開(kāi)設(shè)有弧形槽，所述第一抵接件和所述第二抵接件位于所述弧形槽中，在所述弧形槽的兩側(cè)開(kāi)設(shè)有多個(gè)連接孔，所述上微調(diào)限位組件以及所述下微調(diào)限位組件通過(guò)所述連接孔與所述安裝部連接。

24、真空加工裝置，包括如上所述的基板裝載機(jī)構(gòu)。

25、本發(fā)明的有益效果：

26、本發(fā)明所提供的一種基板裝載機(jī)構(gòu)，安裝部用于將基板設(shè)置于基板加工腔，基板裝載部與安裝部轉(zhuǎn)動(dòng)連接，第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)基板裝載部相對(duì)于安裝部旋轉(zhuǎn)，第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端與動(dòng)力輸出端的傳動(dòng)比為n：1，角度測(cè)量部用于測(cè)量基板裝載部的旋轉(zhuǎn)角度，角度測(cè)量部的至少部分連接旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部。在轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，由于第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端的轉(zhuǎn)動(dòng)角度是動(dòng)力輸出端轉(zhuǎn)動(dòng)角度的n倍，因此可以實(shí)現(xiàn)小角度的調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)安裝部與基板裝載部角度高精度調(diào)節(jié)，利用角度測(cè)量部用于測(cè)量基板裝載部的旋轉(zhuǎn)角度。從而保證晶圓等多種基板的加工精度。

技術(shù)特征：

1.基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝部包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基板裝載部包括基板裝載盤(pán)(43)和旋轉(zhuǎn)臂(4)，所述旋轉(zhuǎn)臂(4)設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部(3)的動(dòng)力輸出端與所述基板裝載盤(pán)(43)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部(3)的動(dòng)力輸入端與動(dòng)力輸出端的傳動(dòng)比為n：1，其中，n為大于20。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部(3)包括相互嚙合的蝸輪組件(32)和蝸桿組件(31)，所述蝸桿組件(31)和蝸輪組件(32)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述安裝臂(2)中，且所述蝸輪組件(32)與所述基板裝載部固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蝸桿組件(31)包括蝸桿本體(312)和蝸桿軸(311)，所述蝸桿本體(312)固定套設(shè)在蝸桿軸(311)上，所述蝸桿本體(312)與所述蝸輪組件(32)嚙合，所述安裝臂(2)上設(shè)置有兩個(gè)蝸桿軸承(314)，所述蝸桿軸(311)固定穿設(shè)在所述蝸桿軸承(314)的內(nèi)圈中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蝸桿軸(311)的第一端相對(duì)所述安裝臂(2)伸出，所述蝸桿軸(311)的第一端上固定設(shè)置有搖桿(313)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝臂(2)中固定設(shè)置有支撐架(21)，其中一個(gè)所述蝸桿軸承(314)固定設(shè)置在所述支撐架(21)上。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述蝸輪組件(32)包括蝸輪(321)和轉(zhuǎn)軸(322)，所述蝸輪(321)止轉(zhuǎn)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸(322)上，所述蝸輪(321)固定設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸(322)上，所述安裝臂(2)上固定設(shè)置有兩個(gè)蝸輪軸承(323)，所述轉(zhuǎn)軸(322)固定穿設(shè)在所述蝸輪軸承(323)的內(nèi)圈中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述角度測(cè)量部包括第一旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部和/或第二旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部，所述第一旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部包括第一指針(51)和第一刻度盤(pán)(5)，所述第一刻度盤(pán)(5)和所述第一指針(51)兩者中，其一設(shè)置于所述安裝部，另一設(shè)置于所述基板裝載部；所述第二旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量部包括第二指針(61)和第二刻度盤(pán)(6)，所述第二刻度盤(pán)(6)和所述第二指針(61)兩者中，其一設(shè)置于所述安裝部，另一設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部(3)的動(dòng)力輸入端，所述第一刻度盤(pán)(5)的分度值是所述第二刻度盤(pán)(6)分度值的n倍。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，還包括第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部，所述第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部設(shè)置于所述安裝部和所述基板裝載部之間。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第二旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部包括上微調(diào)限位組件(7)和下微調(diào)限位組件(8)，所述上微調(diào)限位組件(7)和所述下微調(diào)限位組件(8)固定設(shè)置在所述安裝部上，所述上微調(diào)限位組件(7)能夠推動(dòng)所述基板裝載部逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，所述下微調(diào)限位組件(8)能夠推動(dòng)所述基板裝載部順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，且所述上微調(diào)限位組件(7)和所述下微調(diào)限位組件(8)能夠配合鎖定所述基板裝載部。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述上微調(diào)限位組件(7)包括第一安裝板(71)、第一鎖定螺釘(72)和第一調(diào)節(jié)微分頭(73)，所述第一安裝板(71)設(shè)置在所述安裝部上，所述第一鎖定螺釘(72)與所述第一安裝板(71)螺接，所述第一調(diào)節(jié)微分頭(73)固定設(shè)置在所述第一安裝板(71)上，所述第一鎖定螺釘(72)和所述第一調(diào)節(jié)微分頭(73)能夠與所述基板裝載部抵接；所述下微調(diào)限位組件(8)包括第二安裝板(81)、第二鎖定螺釘(82)和第二調(diào)節(jié)微分頭(83)，所述第二安裝板(81)設(shè)置在所述安裝部上，所述第二鎖定螺釘(82)與所述第二安裝板(81)螺接，所述第二調(diào)節(jié)微分頭(83)固定設(shè)置在所述第二安裝板(81)上，所述第二鎖定螺釘(82)和所述第二調(diào)節(jié)微分頭(83)能夠與所述基板裝載部抵接。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述基板裝載部上間隔設(shè)置有第一抵接件(41)和第二抵接件(42)，所述第一抵接件(41)與所述上微調(diào)限位組件(7)配合，所述第二抵接件(42)與所述下微調(diào)限位組件(8)配合。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板裝載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述安裝部上開(kāi)設(shè)有弧形槽(52)，所述第一抵接件(41)和所述第二抵接件(42)位于所述弧形槽(52)中，在所述弧形槽(52)的兩側(cè)開(kāi)設(shè)有多個(gè)連接孔(53)，所述上微調(diào)限位組件(7)以及所述下微調(diào)限位組件(8)通過(guò)所述連接孔(53)與所述安裝部連接。

16.真空加工裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-15任一項(xiàng)所述的基板裝載機(jī)構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及真空鍍膜等真空加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種基板裝載機(jī)構(gòu)和真空加工裝置，其包括安裝部，所述安裝部用于將所述基板設(shè)置于基板加工腔；基板裝載部，所述基板裝載部用于裝載所述基板，所述基板裝載部與所述安裝部轉(zhuǎn)動(dòng)連接；第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部，所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述基板裝載部相對(duì)于所述安裝部旋轉(zhuǎn)，且所述第一旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部的動(dòng)力輸入端與動(dòng)力輸出端的傳動(dòng)比為N：1，其中，N為大于1的正整數(shù)；角度測(cè)量部，所述角度測(cè)量部用于測(cè)量所述基板裝載部的旋轉(zhuǎn)角度，所述角度測(cè)量部的至少部分連接所述旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)部。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)安裝臂與旋轉(zhuǎn)臂角度高精度調(diào)節(jié)，從而保證晶圓的加工精度。

技術(shù)研發(fā)人員：羅欣,吳萍,龍汝磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：光馳科技（上海）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/19