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一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法與流程

文檔序號:11098772閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)在氮?dú)鈿夥帐痔紫渲校瑢雽?dǎo)體芯原料粉緊密填充滿一端封口的包層玻璃管的中心孔;

(2)對填充滿半導(dǎo)體芯原料粉的包層玻璃管進(jìn)行抽真空,同時,熱拉玻璃管的另一端封口,將半導(dǎo)體芯原料粉真空密封于包層玻璃管中,得到所述低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(1)中,所述半導(dǎo)體芯原料包括Al、Ga、In、Si、Ge、Sn、Pb、P、As、Sb、Bi、S、Se和Te中的一種以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(1)中,所述包層玻璃管為任一種氧化物玻璃,包括硼硅酸鹽玻璃管。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(1)中,所述包層玻璃管的玻璃軟化溫度高于半導(dǎo)體芯的熔融溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,步驟(2)中,所述抽真空的真空壓強(qiáng)為10-6Pa至100kPa。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖預(yù)制棒的制備方法,其特征在于,將得到的光纖預(yù)制棒拉絲,獲得低氧量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖,得到的低氧含量半導(dǎo)體芯復(fù)合材料光纖中的氧含量低于5 wt%。

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