本實(shí)用新型屬于碳化硅晶體生長加工裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置。

背景技術(shù)：

隨著現(xiàn)在社會科技的不斷發(fā)展，人們對于生活的品質(zhì)追求也越來越高，不僅在普通的衣食住行方面，對于一些奢侈品的追求也在逐年增長，碳化硅晶體寶石由于本身是具有獨(dú)特的衍射圖案的固體，其原子或分子在空間按一定規(guī)律周期重復(fù)地排列。碳化硅晶體中原子或分子的排列具有三維空間的周期性，隔一定的距離重復(fù)出現(xiàn)。

由于自然界中存在的碳化硅晶體數(shù)量極其有限，隨著現(xiàn)在社會科技研究水平的不斷提升，為了滿足人們對于碳化硅晶體的，越來越多的人們開始通過人工處理的方法進(jìn)行人工合成，通常將碳化硅晶體籽料模擬自然環(huán)境，以促進(jìn)晶體的快速生產(chǎn)，以滿足市場需求，但普通的晶體生長裝置雖然能有效提升生長的速率，但是晶體生長時生長及其不規(guī)則，嚴(yán)重影響晶體的品質(zhì)，特別對于IGBT碳化硅晶體管，對于品質(zhì)生產(chǎn)的要求更加嚴(yán)格。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置，能夠有效實(shí)現(xiàn)裝置促進(jìn)IGBT碳化硅晶體管的生長，使其生長均勻，操作便捷。

本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置，包括反應(yīng)釜本體、轉(zhuǎn)軸、生長液盛放槽、攪拌裝置、底座、溫度感應(yīng)器，所述反應(yīng)釜本體的頂部設(shè)置有開口，并在開口上安裝有液封蓋，所述的轉(zhuǎn)軸貫穿過液封蓋設(shè)置于反應(yīng)釜本體內(nèi)部，并在轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置設(shè)置有夾持件，所述的夾持件設(shè)置于生長液盛放槽內(nèi)部，生長液盛放槽通過若干支桿連接在反應(yīng)釜本體的內(nèi)壁，所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)底部通過支撐座連接有攪拌裝置，所述的攪拌裝置上設(shè)置有加熱絲，在反應(yīng)釜本體外底部設(shè)置有底座，所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)器。

優(yōu)選地，所述的反應(yīng)釜本體外底部設(shè)置有若干橫向的凸塊，所述的底座上設(shè)置有若干凹槽，所述的凸塊與凹槽相互卡合連接。

優(yōu)選地，所述的支桿與生長液盛放槽螺栓連接。

優(yōu)選地，所述反應(yīng)釜本體的外側(cè)壁設(shè)置有控制開關(guān)。

優(yōu)選地，所述的夾持件與轉(zhuǎn)軸前端鉸接連接。

技術(shù)效果

本實(shí)用新型提供的一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置，通過裝置上設(shè)計的轉(zhuǎn)軸連接的夾持件將待加工的晶體籽料放置在生長液盛放槽內(nèi)生長，生長液盛放槽在反應(yīng)釜本體內(nèi)放置的溶液中進(jìn)行水溶液水浴加熱加壓，米面強(qiáng)烈的外界溫度以及壓力刺激導(dǎo)致晶體籽料生長不均勻，大大提升了晶體籽料生長的均勻性。整個裝置操作便捷，且裝置運(yùn)行時更加便捷穩(wěn)定，可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1本實(shí)用新型實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖：

圖中：1、反應(yīng)釜本體；2、轉(zhuǎn)軸；4、支撐座；5、溫度感應(yīng)器；11、液封蓋；12、底座；13、凸塊；14、凹槽；15、控制開關(guān)；31、生長液盛放槽；32、夾持件；33、支架；41、攪拌裝置；42、加熱絲。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。

下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本實(shí)用新型的應(yīng)用原理作進(jìn)一步描述。

如圖1所示，本實(shí)施例提供一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置，包括反應(yīng)釜本體1、轉(zhuǎn)軸2、生長液盛放槽31、攪拌裝置41、底座12、溫度感應(yīng)器5，反應(yīng)釜本體1的頂部設(shè)置有開口，并在開口上安裝有液封蓋11，轉(zhuǎn)軸2貫穿過液封蓋11設(shè)置于反應(yīng)釜本體1內(nèi)部，并在轉(zhuǎn)軸2前端設(shè)置設(shè)置有夾持件32，用于夾持盛放碳化硅晶體籽料裝置，夾持件32設(shè)置于生長液盛放槽31內(nèi)部，生長液盛放槽31放置碳化硅晶體生長液體原料，生長液盛放槽31通過若干支桿33連接在反應(yīng)釜本體1的內(nèi)壁，反應(yīng)釜本體1內(nèi)底部通過支撐座4連接有攪拌裝置41，攪拌裝置41上設(shè)置有加熱絲42，在反應(yīng)釜本體1外底部設(shè)置有底座12，反應(yīng)釜本體1內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)器。

反應(yīng)釜本體1外底部設(shè)置有若干橫向的凸塊13，底座12上設(shè)置有若干凹槽14，凸塊13與凹槽14相互卡合連接。

支桿33與生長液盛放槽31螺栓連接，方便安裝拆卸。

反應(yīng)釜本體1的外側(cè)壁設(shè)置有控制開關(guān)15。

夾持件32與轉(zhuǎn)軸2前端鉸接連接。整個裝置設(shè)置簡單，操作便捷，可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。