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一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號:11836576閱讀:994來源:國知局
一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu)的制作方法

本實(shí)用新型涉及晶體生長裝置領(lǐng)域,具體涉及一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu)。



背景技術(shù):

籽晶夾具是藍(lán)寶石長晶制造的過程中一種重要而且是必需的部件,籽晶從最開始長晶準(zhǔn)備工序到最終的長晶結(jié)束退火階段需要被很好地固定到籽晶夾具中,確保在制備過程中籽晶不會脫落掉入熔湯,最終順利完成藍(lán)寶石單晶的生長。目前常用的籽晶夾具多為捆綁式籽晶夾具,籽晶為長方體,在長方體一側(cè)開有多個凹槽,籽晶半嵌于籽晶夾具的下端,用鎢錸絲通過籽晶的凹槽以及籽晶夾具從而纏繞捆綁固定在一起。

這種捆綁式夾存在不足之處:其一,由于藍(lán)寶石長晶是在長時間高溫環(huán)境下進(jìn)行,這樣使捆綁籽晶的鎢錸絲容易斷裂,使籽晶脫落掉入熔體;其二,采用人工捆綁,捆綁的質(zhì)量好壞不易控制;其三,當(dāng)藍(lán)寶石晶體后期生長的晶體過重時,籽晶也容易在缺口的地方斷裂。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題,提供一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu),無需在籽晶上開設(shè)凹槽即可對其進(jìn)行有效夾持。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,達(dá)到上述技術(shù)效果,本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):

一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu),包括套筒,所述套筒的下部設(shè)有用于卡接籽晶的凹槽,所述籽晶與套筒相抵的上端面為光滑面,所述套筒的上部設(shè)有至少一個與凹槽連通的負(fù)壓通孔,所述負(fù)壓通孔的上端口外設(shè)有負(fù)壓吸附組件;所述負(fù)壓吸附組件包括加熱套,所述加熱套內(nèi)裝設(shè)有受熱體積會變大的膨脹微球,所述加熱套的底部設(shè)有與負(fù)壓通孔所在區(qū)域面積配合的開口,側(cè)部設(shè)有單向氣閥,所述單向氣閥只能由加熱套內(nèi)部向外部排出氣體。

進(jìn)一步地,所述套筒的外側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)動套。

進(jìn)一步地,所述負(fù)壓通孔的直徑為1-3mm。

進(jìn)一步地,所述膨脹微球的外殼是由丙烯睛共聚物支撐,內(nèi)部填充有易氣化的液態(tài)碳?xì)浠衔铩?/p>

進(jìn)一步地,所述套筒為鉬筒。

本實(shí)用新型的有益效果是:

本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單,利用負(fù)壓吸附組件對籽晶進(jìn)行夾持,夾持效果安全可靠,無需在籽晶上開設(shè)凹槽,避免晶體后期因生長過重容易在缺口的地方斷裂情況的發(fā)生,保障了晶體生長的順利進(jìn)行。

當(dāng)然,實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例描述所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型所述藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為圖1中A處的局部放大示意圖;

附圖中,各標(biāo)號所代表的部件列表如下:

1-套筒,2-籽晶,3-轉(zhuǎn)動套,4-負(fù)壓通孔,5-負(fù)壓吸附組件,501-加熱套,502-膨脹微球,503-開口,504-單向氣閥。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請參閱圖1-2所示,本實(shí)用新型為一種藍(lán)寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機(jī)構(gòu),包括套筒1,套筒1的下部設(shè)有用于卡接籽晶2的凹槽,籽晶2與套筒1相抵的上端面為光滑面,套筒1的上部設(shè)有至少一個與凹槽連通的負(fù)壓通孔4,負(fù)壓通孔4的上端口外設(shè)有負(fù)壓吸附組件5;負(fù)壓吸附組件5包括加熱套501,加熱套501內(nèi)裝設(shè)有受熱體積會變大的膨脹微球502,加熱套501的底部設(shè)有與負(fù)壓通孔4所在區(qū)域面積配合的開口503,側(cè)部設(shè)有單向氣閥504,單向氣閥504只能由加熱套501內(nèi)部向外部排出氣體。

其中,套筒1的外側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)動套3。

其中,負(fù)壓通孔4的直徑為1-3mm。

其中,膨脹微球501的外殼是由丙烯睛共聚物支撐,內(nèi)部填充有易氣化的液態(tài)碳?xì)浠衔铩?/p>

其中,套筒1為鉬筒。

本實(shí)施例的一個具體應(yīng)用為:使用時,先將籽晶2光滑部插入套筒1的凹槽并保持緊密抵觸,然后對負(fù)壓吸附組件5的加熱套501進(jìn)行加熱,膨脹微球502內(nèi)部的液態(tài)碳?xì)浠衔锸軣釟饣訜崽?01內(nèi)部“高壓”氣體從單向氣閥504排出,而后加熱套501受冷或自然冷卻,負(fù)壓通孔4下端口利用內(nèi)部負(fù)壓牢牢吸附籽晶2,實(shí)現(xiàn)對籽晶2的有效夾持,而后利用轉(zhuǎn)動套3可進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)籽晶2的轉(zhuǎn)動等工序。

在本說明書的描述中,參考術(shù)語“一個實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料過著特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個實(shí)施例或示例中。在本說明書中,對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且,描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個或多個實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

以上公開的本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例只是用于幫助闡述本實(shí)用新型。優(yōu)選實(shí)施例并沒有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié),也不限制該實(shí)用新型僅為所述的具體實(shí)施方式。顯然,根據(jù)本說明書的內(nèi)容,可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實(shí)施例,是為了更好地解釋本實(shí)用新型的原理和實(shí)際應(yīng)用,從而使所屬技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)人員能很好地理解和利用本實(shí)用新型。本實(shí)用新型僅受權(quán)利要求書及其全部范圍和等效物的限制。

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