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一種能降低氧含量的多晶鑄錠用新型石英陶瓷坩堝的制作方法

文檔序號:11174177閱讀:800來源:國知局
一種能降低氧含量的多晶鑄錠用新型石英陶瓷坩堝的制造方法與工藝

本實用新型涉及光伏行業(yè),具體是一種能降低氧含量的多晶鑄錠用新型石英陶瓷坩堝。



背景技術(shù):

多晶硅晶體的制備工藝控制雜質(zhì)和缺陷的能力較弱,其含有相對較多的雜質(zhì)和缺陷,對電池效率有明顯的影響。多晶硅鑄錠過程中,石英陶瓷坩堝中大量的金屬雜質(zhì)和氧會滲透進(jìn)入硅錠。降低甚至消除金屬雜質(zhì)和氧對硅錠的污染是提高多晶硅電池轉(zhuǎn)換效率的關(guān)鍵之一。

石英陶瓷坩堝本體的純度較低,含有大量的金屬雜質(zhì),會導(dǎo)致硅錠紅區(qū)長。在高溫情況下,多晶硅鑄錠爐內(nèi)主要材料之間會有以下反應(yīng)。

1. 石英陶瓷坩堝的氧進(jìn)入熔硅:

SiO2 = Si + [O]m

2. 石英陶瓷坩堝與硅液接觸,導(dǎo)致氧進(jìn)入熔硅:

Si(l)+SiO2(S)= 2SiO(g)

SiO(g)+ 2C=SiC(S)+ CO(g)

CO = [C]m + [O]m

從上述反應(yīng)來看,多晶硅晶體中氧含量主要還是由石英陶瓷坩堝、硅液和石墨件之間的高溫反應(yīng),產(chǎn)生大量的碳氧結(jié)合的還原性氣體,嚴(yán)重影響多晶硅晶體中的碳、氧含量。

氧在多晶硅中起的作用:1、氧在多晶硅冷卻中(350 ~ 550℃)形成熱施主和新施主,改變電子濃度;2、高氧情況,氧可能形成沉淀,且常在多晶的晶界和缺陷上;3、高氧高硼多晶硅中,可形成B - O絡(luò)合物,造成光致衰減(LID)現(xiàn)象;4、應(yīng)盡可能降低多晶硅中氧濃度,建議最好[O]< 4.7ppma。

因此,開發(fā)一種隔絕石英陶瓷坩堝和硅液的新型石英陶瓷坩堝,對多晶硅晶體中降低氧含量是非常必要的。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型的目的是設(shè)計一種能降低氧含量的多晶鑄錠用新型石英陶瓷坩堝,解決多晶硅硅錠氧含量超標(biāo)及紅區(qū)長等問題,提高多晶硅錠的收率及電池片的轉(zhuǎn)換效率。

完成上述任務(wù)的方案是:一種能降低氧含量的多晶鑄錠用新型石英陶瓷坩堝,包括石英陶瓷坩堝本體,其特征在于在坩堝內(nèi)表面依次鋪設(shè)粘合層、隔離層、在隔離層表面再涂覆氮化硅層。這樣的設(shè)計結(jié)構(gòu)可以有效隔離在高溫真空條件下石英坩堝中的雜質(zhì)擴(kuò)散進(jìn)入硅錠,可以隔離硅液與石英坩堝,進(jìn)而降低多晶硅晶體中的紅區(qū)及氧含量,提高多晶硅錠的收率及電池片的轉(zhuǎn)換效率。

所述的石英陶瓷坩堝內(nèi)表面包括坩堝內(nèi)底部或/和內(nèi)側(cè)面。

所述的粘合層的制作方式是噴涂、刷涂、輥涂、浸涂或刮涂混合漿料,粘合層覆蓋面積為坩堝內(nèi)表面全部或局部區(qū)域。

所述的粘合層的混合漿料組成為陶瓷粉體:溶劑:無機(jī)膠:有機(jī)膠:分散劑=0-1:0-1:0-1:0-1:0-1,其中陶瓷粉體為石英粉體、硅粉和氮化硅粉中的一種或幾種,溶劑為去離子水和無水乙醇中的一種或二種,無機(jī)膠為硅溶膠或硅酯膠中的一種或二種,有機(jī)膠為聚乙烯醇類、纖維素類、聚乙二醇、糊精中的一種或幾種,分散劑為聚丙烯酸及其銨鹽、油脂類中的一種或幾種。

所述的隔離層為氮化硅陶瓷片、碳化硅陶瓷片、石英陶瓷片或石墨片。

本實用新型在石英陶瓷坩堝內(nèi)表面增加隔離層,克服了普通石英陶瓷坩堝帶來的弊端,普通石英陶瓷坩堝在高溫真空條件下,與硅液發(fā)生反應(yīng)導(dǎo)致晶體硅中紅區(qū)及氧含量過高,影響電池的電性能。將本實用新型的石英陶瓷坩堝與普通石英陶瓷坩堝進(jìn)行實驗對比,發(fā)現(xiàn)采用本實用新型的石英陶瓷坩堝生產(chǎn)的硅片,其氧含量降低50-90%,紅區(qū)可降低至零,硅錠收率提高2-5%。

附圖說明

圖1 為普通石英陶瓷坩堝的示意圖。

圖2 為本實用新型的具體實施例1所述新型石英陶瓷坩堝的示意圖。

圖3 為本實用新型的具體實施例2所述新型石英陶瓷坩堝的示意圖。

具體實施方式

實施例1:

一種新型石英陶瓷坩堝,包括石英陶瓷坩堝本體,坩堝內(nèi)底部中間部分區(qū)域噴涂混合漿料,混合漿料的組成是石英粉體:純水:硅溶膠:聚乙烯醇:聚丙烯酸=1:1:1:0:1,粘合層上鋪設(shè)氮化硅陶瓷片,在坩堝內(nèi)底面及氮化硅陶瓷片的表面涂覆氮化硅層。圖2為本實用新型的具體實施例1所述新型石英陶瓷坩堝的示意圖。

實施例2:

一種新型石英陶瓷坩堝,包括石英陶瓷坩堝本體,坩堝內(nèi)底部和內(nèi)側(cè)面刷涂混合漿料,混合漿料的組成是硅粉:無水乙醇:硅溶膠:羧甲基纖維素:三油酸甘油酯=1:1:0:1:0.5,粘合層上鋪設(shè)碳化硅陶瓷片,在碳化硅陶瓷片的表面涂覆氮化硅層。圖3為本實用新型的具體實施例2所述新型石英陶瓷坩堝的示意圖。

實施例3:

一種新型石英陶瓷坩堝,包括石英陶瓷坩堝本體,坩堝內(nèi)側(cè)面區(qū)域刮涂混合漿料,混合漿料的組成是氮化硅粉:純水:硅脂膠:聚乙二醇:聚甲基丙烯酸銨=0.5:0.3:0.3:0.2:0,粘合層上鋪設(shè)石英陶瓷片,在石英陶瓷片的表面涂覆氮化硅層。

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