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一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐的制作方法

文檔序號:11172490閱讀:747來源:國知局
一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐的制造方法與工藝

本發(fā)明涉及多晶硅片、鑄造單晶硅片制造領(lǐng)域,具體涉及一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐。



背景技術(shù):

現(xiàn)有的用于制造晶硅鑄錠的坩堝及熱場為四方形,只能鑄造出形狀為四方體的硅錠,不能充分發(fā)揮圓柱形爐體的空間,影響了鑄錠爐的生產(chǎn)效率。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供一種多邊形鑄錠及制造多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐,能夠鑄造出側(cè)面大于四面的多面柱狀硅錠。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:

一種多邊形鑄錠,所述多邊形鑄錠的側(cè)面數(shù)大于4。

一種用于制造上述的多邊形鑄錠的多晶硅鑄錠爐,包括圓柱形爐體,圓柱形爐體內(nèi)設(shè)有隔熱籠,隔熱籠內(nèi)設(shè)有坩堝,坩堝的外側(cè)包覆有坩堝側(cè)護(hù)板和坩堝底護(hù)板,坩堝側(cè)護(hù)板外設(shè)置有用于對坩堝加熱形成熱場的側(cè)加熱器,坩堝底護(hù)板底部設(shè)置有冷凝塊;所述坩堝的側(cè)壁數(shù)為n;與坩堝的n個側(cè)壁相對應(yīng)的,坩堝側(cè)護(hù)板的個數(shù)為n,坩堝底護(hù)板為邊數(shù)為n的多邊形,隔熱籠的側(cè)面數(shù)為n,側(cè)加熱器的側(cè)面數(shù)為n,冷凝塊為邊數(shù)為n的多邊形;所述n為正整數(shù),且大于4;所述坩堝的側(cè)壁與多邊形鑄錠的側(cè)面相對應(yīng),兩者數(shù)量相同。

本發(fā)明具有如下有益效果:本發(fā)明中的坩堝及熱場,可鑄造出側(cè)面大于四面的多面柱狀硅錠,相對四個側(cè)面柱狀的硅錠,更多側(cè)面面的柱狀硅錠,單爐裝料量更多、產(chǎn)量更高、生產(chǎn)率更高。提高現(xiàn)有圓柱形爐體的利用率和產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中標(biāo)號:1、晶硅鑄錠;2、圓柱形爐體;3、隔熱籠;4、側(cè)加熱器;5、坩堝側(cè)護(hù)板;6、坩堝;7、坩堝的底護(hù)板;8、冷凝塊。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的描述。

如圖1所示,本發(fā)明提供的多晶硅鑄錠爐包括圓柱形爐體2,圓柱形爐體2內(nèi)設(shè)有隔熱籠3,隔熱籠3內(nèi)設(shè)有坩堝6,坩堝6的外側(cè)包覆有坩堝側(cè)護(hù)板5和坩堝底護(hù)板7,坩堝側(cè)護(hù)板5外設(shè)置有用于對坩堝6加熱形成熱場的側(cè)加熱器4,坩堝底護(hù)板7底部設(shè)置有冷凝塊8。坩堝6的矩形側(cè)壁數(shù)為n,n>4;坩堝的側(cè)護(hù)板5有n個面,分別對應(yīng)坩堝6的n個側(cè)壁;坩堝的底護(hù)板7為邊數(shù)為n的多邊形。隔熱籠3的側(cè)面有n個面,分別對應(yīng)坩堝6的n個側(cè)壁。側(cè)加熱器4的側(cè)面有n個面,分別對應(yīng)坩堝6的n個側(cè)壁。冷凝塊8為邊數(shù)為n的多邊形。利用上述多晶硅鑄錠爐能夠制造出側(cè)面數(shù)為n的多邊形鑄錠,n>4,多邊形鑄錠的側(cè)面與坩堝的側(cè)壁相對應(yīng)。

實(shí)施例1:

1.根據(jù)設(shè)計(jì)得到側(cè)面數(shù)為5的隔熱籠、坩堝側(cè)護(hù)板數(shù)量為5、邊數(shù)為5的冷凝塊、5側(cè)加熱器側(cè)面為5的熱場。

2.將硅料放入側(cè)邊為5的多邊形坩堝中,然后放于設(shè)計(jì)好的熱場中進(jìn)行鑄錠;

3.最終通過工藝融化長晶過程將得到側(cè)邊為5的多邊型硅錠。

在不改變原有的鑄錠爐體的情況下,可鑄出的多邊形晶硅錠體積增大,從而達(dá)到單爐裝料量更多、產(chǎn)量更高、生產(chǎn)率更高。提高現(xiàn)有圓柱形爐體的利用率和產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出:對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。



技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提出了一種側(cè)面數(shù)大于4的多邊形鑄錠及制造多邊形硅錠的鑄造爐,所述鑄錠爐包括圓柱形爐體、隔熱籠、側(cè)加熱器、坩堝、坩堝側(cè)護(hù)板、坩堝底護(hù)板、冷凝塊;坩堝的矩形側(cè)壁數(shù)為n;坩堝的側(cè)護(hù)板有n個面,分別對應(yīng)坩堝的n個側(cè)壁;坩堝的底護(hù)板為邊數(shù)為n的多邊形。隔熱籠的側(cè)面有n個面,分別對應(yīng)坩堝的n個側(cè)壁。側(cè)加熱器的側(cè)面有n個面,分別對應(yīng)坩堝的n個側(cè)壁。冷凝塊為邊數(shù)為n的多邊形。n>4。本發(fā)明中的坩堝及熱場,可鑄造出側(cè)面大于四面的多面柱狀硅錠,相對四個側(cè)面柱狀的硅錠,更多側(cè)面面的柱狀硅錠,單爐裝料量更多、產(chǎn)量更高、生產(chǎn)率更高。提高現(xiàn)有圓柱形爐體的利用率和產(chǎn)量,降低生產(chǎn)成本。

技術(shù)研發(fā)人員:陳旭光;張濤
受保護(hù)的技術(shù)使用者:鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.05
技術(shù)公布日:2017.10.03
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