本技術(shù)涉及碳化硅長晶設(shè)備，具體而言，涉及一種長晶爐的保溫裝置。

背景技術(shù)：

1、碳化硅(sic)作為新興的第三代半導(dǎo)體核心材料，具有寬禁帶、高臨界擊穿電場強度、高電子遷移率以及良好的抗輻照性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)異性，這使其成為一種廣泛應(yīng)用的重要襯底晶片材料，在航空器件、新能源汽車、軌道交通和家用電器等領(lǐng)域展現(xiàn)了良好的應(yīng)用前景。

2、經(jīng)發(fā)明人研究發(fā)現(xiàn)，目前，碳化硅pvt電阻爐裝爐需要根據(jù)不同情況需要人工對石墨軟氈進行裁剪以調(diào)整長晶爐上部的石墨軟氈的排布情況，每次裁剪會引起石墨軟氈的損耗，成本較大。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種長晶爐的保溫裝置，其能夠避免對石墨軟氈的裁剪，以減小成本。

2、本實用新型的實施例是這樣實現(xiàn)的：

3、第一方面，本實用新型提供一種長晶爐的保溫裝置，包括：

4、支撐架，支撐架用于設(shè)置于長晶爐的外側(cè)；

5、安裝架，安裝架與支撐架連接，安裝架包括多個繞預(yù)設(shè)圓周間隔排布的安裝件，安裝件具有沿高度方向依次設(shè)置的多個輸送件；

6、保溫組件，保溫組件包括多個第一保溫件，每個第一保溫件用于安裝于輸送件，輸送件用于帶動第一保溫件沿預(yù)設(shè)圓周的徑向移動。

7、在可選的實施方式中，支撐架一體成型，支撐架形成有用于套設(shè)于長晶爐的安裝空間，安裝空間呈中空圓筒狀，當支撐架套設(shè)于長晶爐時，在預(yù)設(shè)圓周的徑向上，安裝架位于支撐架遠離長晶爐的一側(cè)。

8、在可選的實施方式中，保溫組件還包括設(shè)置于支撐架的內(nèi)側(cè)的第二保溫件，第二保溫件用于與長晶爐的外周壁相對。

9、在可選的實施方式中，支撐架一體成型，安裝件的數(shù)量為兩個，兩個安裝件沿預(yù)設(shè)圓周的徑向間隔設(shè)置，兩個安裝件中的第一保溫件能在輸送件的帶動下相互靠近或相互遠離。

10、在可選的實施方式中，支撐架設(shè)置有升降裝置，升降裝置與安裝架連接，以帶動安裝架在高度方向上移動。

11、在可選的實施方式中，支撐架的底部設(shè)置有移動輪。

12、在可選的實施方式中，對于相同高度的輸送件，其中的多個第一保溫件能形成圓狀保溫片。

13、在可選的實施方式中，支撐架包括多個支撐件，多個支撐件沿預(yù)設(shè)圓周間隔排布，多個支撐件與多個安裝件一一對應(yīng)設(shè)置。

14、在可選的實施方式中，多個支撐件依次首尾連接，和/或多個安裝件依次首尾連接。

15、在可選的實施方式中，支撐件與安裝件的數(shù)量為兩個，且每個支撐件的底部設(shè)置有移動輪。

16、本實用新型實施例的有益效果是：本實用新型實施例提供的一種長晶爐的保溫裝置包括支撐架、安裝架及保溫組件。支撐架用于設(shè)置于長晶爐的外側(cè)，安裝架與支撐架連接，安裝架包括多個繞預(yù)設(shè)圓周間隔排布的安裝件，安裝件具有沿高度方向依次設(shè)置的多個輸送件，保溫組件包括多個第一保溫件，每個第一保溫件用于安裝輸送件，輸送件用于帶動第一保溫件沿預(yù)設(shè)圓周的徑向移動。作業(yè)人員可以調(diào)節(jié)安裝件上輸送件上第一保溫件的在預(yù)設(shè)圓周的徑向上移動的情況，以控制第一保溫件在預(yù)設(shè)圓周的徑向上的伸縮情況，以在長晶爐上形成不同的排布形狀，從而避免了作業(yè)人員在不同的長晶情況對石墨軟氈進行裁剪，以減小石墨軟氈的消耗成本。

技術(shù)特征：

1.一種長晶爐的保溫裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的長晶爐的保溫裝置，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)實施例提供了一種長晶爐的保溫裝置，涉及碳化硅長晶設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。保溫裝置包括支撐架、安裝架及保溫組件。支撐架用于設(shè)置于長晶爐的外側(cè)，安裝架與支撐架連接，安裝架包括多個繞預(yù)設(shè)圓周間隔排布的安裝件，安裝件具有沿高度方向依次設(shè)置的多個輸送件，保溫組件包括多個第一保溫件，每個第一保溫件用于安裝輸送件，輸送件用于帶動第一保溫件沿預(yù)設(shè)圓周的徑向移動。作業(yè)人員可以調(diào)節(jié)安裝件上輸送件上第一保溫件的在預(yù)設(shè)圓周的徑向上移動的情況，以控制第一保溫件在預(yù)設(shè)圓周的徑向上的伸縮情況，以在長晶爐上形成不同的排布形狀，從而避免了作業(yè)人員在不同的長晶情況對石墨軟氈進行裁剪，以減小石墨軟氈的消耗成本。

技術(shù)研發(fā)人員：張御寜
受保護的技術(shù)使用者：通威微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240809
技術(shù)公布日：2025/5/15