本發(fā)明涉及一種玻璃組合物，尤其是涉及一種紫外光透過率較高，化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異的玻璃組合物。

背景技術(shù)：

1、隨著芯片制造技術(shù)向更低線寬、更高效率發(fā)展，需要工作在紫外波段的光刻設(shè)備具有更高的分辨率、更高的光通量和更大的曝光區(qū)域。普通玻璃材料制成的玻璃元件在紫外波段長(zhǎng)時(shí)間輻照下會(huì)發(fā)生透過率大幅下降的問題，這對(duì)工作在紫外波段的各類光刻設(shè)備是致命的。因此要求工作在光刻設(shè)備上的玻璃材料需具有更大的口徑，更優(yōu)異的耐輻照性能、透過率以及光學(xué)均勻性。另一方面，玻璃在加工和使用過程中，會(huì)接觸大量的腐蝕介質(zhì)，若其耐酸性、耐水性等化學(xué)穩(wěn)定性差，將會(huì)影響玻璃的成像質(zhì)量和使用壽命。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種紫外光透過率較高，化學(xué)穩(wěn)定性優(yōu)異的玻璃組合物。

2、本發(fā)明解決技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：

3、(1)玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：58～75％；pbo：13～28％；na2o：2～12％；k2o：3～13％，其中(na2o+k2o)/pbo為0.2～1.5。

4、(2)根據(jù)(1)所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，還含有：li2o：0～5％；和/或al2o3：0～4％；和/或zro2：0～4％；和/或ro：0～8％；和/或b2o3：0～4％；和/或ln2o3：0～5％；和/或nb2o5：0～3％；和/或wo3：0～3％；和/或zno：0～3％；和/或tio2：0～3％；和/或澄清劑：0～1％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

5、(3)玻璃組合物，其組分中含有sio2、pbo、na2o和k2o，其組分以重量百分比表示，其中(na2o+k2o)/pbo為0.2～1.5，所述玻璃組合物的耐酸作用穩(wěn)定性da為2類以上，耐水作用穩(wěn)定性dw為2類以上，365nm處透過率τ365nm為98.5％以上。

6、(4)根據(jù)(3)所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：58～75％；和/或pbo：13～28％；和/或na2o：2～12％；和/或k2o：3～13％；和/或li2o：0～5％；和/或al2o3：0～4％；和/或zro2：0～4％；和/或ro：0～8％；和/或b2o3：0～4％；和/或ln2o3：0～5％；和/或nb2o5：0～3％；和/或wo3：0～3％；和/或zno：0～3％；和/或tio2：0～3％；和/或澄清劑：0～1％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

7、(5)根據(jù)(1)～(4)任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，滿足以下5種情形中的一種以上：

8、1)(sio2+na2o)/pbo為2.7～6.0，優(yōu)選(sio2+na2o)/pbo為2.9～5.5，更優(yōu)選(sio2+na2o)/pbo為3.0～5.0，進(jìn)一步優(yōu)選(sio2+na2o)/pbo為3.2～4.5；

9、2)(na2o+k2o)/pbo為0.3～1.3，優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.4～1.0，更優(yōu)選(na2o+k2o)/pbo為0.5～0.9；

10、3)sio2/(na2o+k2o)為2.5～12.0，優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為3.0～10.0，更優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為3.5～8.0，進(jìn)一步優(yōu)選sio2/(na2o+k2o)為4.0～6.0；

11、4)(ro+zno)/k2o為1.0以下，優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.8以下，更優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.5以下，進(jìn)一步優(yōu)選(ro+zno)/k2o為0.2以下；

12、5)(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為1.0以下，優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.8以下，更優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.5以下，進(jìn)一步優(yōu)選(b2o3+al2o3+tio2+nb2o5+wo3+zro2)/na2o為0.2以下，

13、所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種。

14、(6)根據(jù)(1)～(4)任一所述的玻璃組合物，其組分以重量百分比表示，含有：sio2：60～72％，優(yōu)選sio2：63～70％；和/或pbo：15～25％，優(yōu)選pbo：17～23％；和/或na2o：3～10％，優(yōu)選na2o：5～9％；和/或k2o：5～12％，優(yōu)選k2o：6～11％；和/或al2o3：0～2％，優(yōu)選al2o3：0～1％；和/或ro：0～4％，優(yōu)選ro：0～1.5％；和/或li2o：0～3％，優(yōu)選li2o：0～2％；和/或zro2：0～2％，優(yōu)選zro2：0～1％；和/或b2o3：0～3％，優(yōu)選b2o3：0～1％；和/或ln2o3：0～3％，優(yōu)選ln2o3：0～2％；和/或nb2o5：0～2％，優(yōu)選nb2o5：0～1％；和/或wo3：0～2％，優(yōu)選wo3：0～1％；和/或zno：0～2％，優(yōu)選zno：0～1％；和/或tio2：0～2％，優(yōu)選tio2：0～1％；和/或澄清劑：0～0.8％，優(yōu)選澄清劑：0～0.5％，所述ro為bao、sro、cao、mgo中的一種或多種，ln2o3為la2o3、gd2o3、y2o3、yb2o3中的一種或多種，澄清劑為sb2o3、sno2、ceo2中的一種或多種。

15、(7)根據(jù)(1)～(4)任一所述的玻璃組合物不含有l(wèi)i2o；和/或不含有al2o3；和/或不含有zro2；和/或不含有sro；和/或不含有cao；和/或不含有mgo；和/或不含有bao；和/或不含有b2o3；和/或不含有nb2o5；和/或不含有wo3；和/或不含有zno；和/或不含有tio2；和/或不含有f。

16、(8)根據(jù)(1)～(4)任一所述的玻璃組合物，所述玻璃組合物365nm處透過率τ365nm為98.5％以上，優(yōu)選為99.0％以上，更優(yōu)選為99.5％以上；和/或365nm處透過率耐紫外輻照衰減性能δτ365nm為2.0％以下，優(yōu)選為1.5％以下，更優(yōu)選為1.0％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為0.9％以下。

17、(9)根據(jù)(1)～(4)任一所述的玻璃組合物的折射率nd為1.50～1.57，優(yōu)選為1.51～1.56，更優(yōu)選為1.52～1.55；和/或阿貝數(shù)vd為46～52，優(yōu)選為47～50，更優(yōu)選為47.5～49.5；和/或耐酸作用穩(wěn)定性da為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或耐水作用穩(wěn)定性dw為2類以上，優(yōu)選為1類；和/或熱膨脹系數(shù)α20/120℃為98×10-7/k以下，優(yōu)選為90×10-7/k以下，更優(yōu)選為85×10-7/k以下；和/或轉(zhuǎn)變溫度tg為490℃以下，優(yōu)選為480℃以下，更優(yōu)選為470℃以下；和/或氣泡度為a級(jí)以上，優(yōu)選為a0級(jí)以上，更優(yōu)選為a00級(jí)；和/或條紋度為c級(jí)以上，優(yōu)選為b級(jí)以上。

18、(10)玻璃預(yù)制件，采用(1)～(9)任一所述的玻璃組合物制成。

19、(11)玻璃元件，采用()～(9)任一所述的玻璃組合物制成，或采用(10)所述的玻璃預(yù)制件制成。

20、(12)一種設(shè)備，含有()～(9)任一所述的玻璃組合物，和/或含有(11)所述的玻璃元件。

21、本發(fā)明的有益效果是：通過合理的組分設(shè)計(jì)，本發(fā)明獲得的玻璃組合物具有優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性和較高的紫外光透過率。