技術(shù)特征：

1.一種均勻致密的wsi靶材的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述分散劑包括聚丙烯酸和/或聚丙烯酰胺；

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述鎢粉的平均粒徑為8μm-10μm；

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的制備方法，其特征在于，步驟(1)所述鎢粉和硅粉的質(zhì)量比為2.3:1-2.8:1；

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(2)所述粘結(jié)劑溶液的粘結(jié)劑濃度為25g/l-200g/l；

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(3)所述噴霧造粒的進風(fēng)溫度為170℃-210℃；

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(4)所述排膠在保護氣氛條件下進行；

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟(4)所述熱壓燒結(jié)的溫度為1300℃-1400℃；

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括如下步驟：

10.一種均勻致密的wsi靶材，其特征在于，所述均勻致密的wsi靶材采用權(quán)利要求1-9任一項所述的制備方法制備得到。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種均勻致密的WSi靶材及其制備方法，所述制備方法包括如下步驟：(1)第一混合純水與分散劑，然后加入鎢粉與硅粉，進行第二混合；(2)第二混合后的體系中加入粘結(jié)劑溶液，進行第三混合，得到混合漿料；(3)使用步驟(2)所述混合漿料進行噴霧造粒，得到WSi造粒粉；(4)所述WSi造粒粉進行排膠后，進行熱壓燒結(jié)，得到所述均勻致密的WSi靶材。本發(fā)明采用先得到混合漿料，再進行噴霧造粒的方法，能夠進一步提高所得WSi靶材的均勻性以及致密度，能夠?qū)⒅旅芏忍岣咧?9.99％以上。

技術(shù)研發(fā)人員：邊逸軍,姚力軍,滕曉朋,杜浩楠,楊賽賽
受保護的技術(shù)使用者：寧波江豐電子材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15