流體測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明的氣體測(cè)量裝置(1)具備：多個(gè)測(cè)量流路(22a)、(22b)、(22c)，該多個(gè)測(cè)量流路并列地設(shè)置于供流體流入的流入口與供該流體流出的流出口之間；流量測(cè)定部(61a)、(61b)、(61c)，其設(shè)置于各個(gè)測(cè)量流路(22a)、(22b)、(22c)，用于求出在測(cè)量流路(22a)、(22b)、(22c)中流通的流體的流量；存儲(chǔ)器(62a)、(62b)、(62c)，其針對(duì)每個(gè)測(cè)量流路(22a)、(22b)、(22c)保持系數(shù)數(shù)據(jù)，該系數(shù)數(shù)據(jù)是表示在測(cè)量流路(22a)、(22b)、(22c)中流通的流體的流量同在從流入口到流出口之間流通的流體的總流量之間的關(guān)系的值；以及總流量估計(jì)部(60a)、(60b)、(60c)，其根據(jù)由流量測(cè)定部(61a)、(61b)、(61c)求出的流量和存儲(chǔ)器(62a)、(62b)、(62c)中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)流體的總流量。由此，能夠在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝而成的流體測(cè)量裝置的制造工序中縮短進(jìn)行調(diào)整作業(yè)所需要的時(shí)間。
【專利說(shuō)明】流體測(cè)量裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種測(cè)量在流路中流動(dòng)的流體的流速并根據(jù)該流速計(jì)算流體的體積流量來(lái)測(cè)量流體的使用量的流體測(cè)量裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]當(dāng)前，在一般的有燃?xì)庑枨蟮募彝プ≌邪惭b有根據(jù)通過(guò)測(cè)量室的次數(shù)來(lái)測(cè)量氣體的流量的膜式氣體計(jì)量?jī)x。由于膜式氣體計(jì)量?jī)x在測(cè)量原理上需要較大容量的用于設(shè)置測(cè)量室的空間，因此難以更加小型化。
[0003]因此，作為實(shí)現(xiàn)小型化的氣體計(jì)量?jī)x，近年來(lái)開(kāi)發(fā)出了超聲波式氣體計(jì)量?jī)x。在超聲波式氣體計(jì)量?jī)x中，在氣體所流動(dòng)的流路的上游和下游設(shè)置超聲波傳感器(超聲波發(fā)送接收器)，通過(guò)超聲波的到達(dá)時(shí)間來(lái)測(cè)量在流路中流動(dòng)的氣體的流速，根據(jù)氣體的流速計(jì)算氣體的體積流量，從而測(cè)量出氣體的使用量。這樣，由于超聲波式氣體計(jì)量?jī)x是只要設(shè)置于用于測(cè)量流量的流路就能夠測(cè)量氣體的使用量的結(jié)構(gòu)，因此容易實(shí)現(xiàn)小型化。
[0004]另外，還尋求開(kāi)發(fā)一種不是用于一般的有燃?xì)庑枨蟮募彝ザ悄軌蛟诠S等消耗大量氣體的大容量的設(shè)施中測(cè)量氣體的使用量的氣體計(jì)量?jī)x。作為這樣的能夠測(cè)量大量的氣體使用量的氣體計(jì)量?jī)x，例如提出以下一種流體測(cè)量裝置(例如，專利文獻(xiàn)I)，該流體測(cè)量裝置設(shè)置有相互并列連接的多個(gè)測(cè)量流路(測(cè)定路徑)，并針對(duì)各測(cè)量流路配設(shè)一對(duì)超聲波發(fā)送接收器(流量測(cè)量單元)，測(cè)定各個(gè)測(cè)量流路中的流量并將它們的總和作為整體的總流量。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平11-287676號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

_6] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0007]另外，上述的現(xiàn)有技術(shù)所涉及的流體測(cè)量裝置是測(cè)定在各個(gè)測(cè)量流路中流通的流體的流量并將它們的總和作為整體的總流量的結(jié)構(gòu)。
[0008]因此，為了在各個(gè)測(cè)量流路中得到正確的流量測(cè)量結(jié)果而需要針對(duì)各個(gè)測(cè)量流路中的每一個(gè)測(cè)量流路進(jìn)行校正。即，在現(xiàn)有技術(shù)所涉及的流體測(cè)量裝置中，需要分別求出在各個(gè)測(cè)量流路中流動(dòng)規(guī)定的流量時(shí)所測(cè)定出的流量和用于對(duì)其與規(guī)定的流量之差進(jìn)行校正的系數(shù)。
[0009]另外，即使在將校正后的各個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝而成的流體測(cè)量裝置中流動(dòng)大流量的流體并求出在各個(gè)測(cè)量流路中得到的流量的總和，其測(cè)定結(jié)果也未必與實(shí)際的流量一致。因此，需要再次就配置有多個(gè)測(cè)量流路的流體測(cè)量裝置整體進(jìn)行校正。這是由于在將測(cè)量流路并列地連接而使流體流入的情況下，針對(duì)各個(gè)測(cè)量流路的流體的流入狀態(tài)與使規(guī)定流量的流體在各個(gè)測(cè)量流路中流通來(lái)求出系數(shù)時(shí)的流體的流入狀態(tài)不同。
[0010]因而，在現(xiàn)有技術(shù)所涉及的流體測(cè)量裝置中，以各個(gè)測(cè)量流路進(jìn)行校正之后，還需要在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝的狀態(tài)下進(jìn)行整體校正，從而存在進(jìn)行制造工序中的調(diào)整(校正)作業(yè)需要時(shí)間這樣的問(wèn)題。
[0011]本發(fā)明是鑒于上述的問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其目的在于實(shí)現(xiàn)一種能夠在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝而成的流體測(cè)量裝置的制造工序中縮短調(diào)整作業(yè)所需要的時(shí)間的流體測(cè)量裝置。
_2] 用于解決問(wèn)題的方案
[0013]本發(fā)明所涉及的流體測(cè)量裝置為了解決上述的課題而具備:多個(gè)測(cè)量流路，該多個(gè)測(cè)量流路并列地設(shè)置于供流體流入的流入口與供該流體流出的流出口之間；流量測(cè)定單元，其設(shè)置于上述多個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)測(cè)量流路，獲取與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息；存儲(chǔ)裝置，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路保持系數(shù)數(shù)據(jù)，該系數(shù)數(shù)據(jù)是表示與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息同在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量之間的關(guān)系的值；以及總流量估計(jì)單元，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路，根據(jù)由上述流量測(cè)定單元求出的與流量有關(guān)的信息和上述存儲(chǔ)裝置中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)上述流體的總流量。
_4] 發(fā)明的效果
[0015]本發(fā)明如以上說(shuō)明的那樣構(gòu)成，起到能夠在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝而成的流體測(cè)量裝置的制造工序中縮短調(diào)整作業(yè)所需要的時(shí)間這樣的效果。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是表示與本實(shí)施方式的氣體測(cè)量裝置中的流量測(cè)量處理有關(guān)的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0017]圖2是示意性地表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置的主要部分結(jié)構(gòu)的圖。
[0018]圖3是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置的輔助控制部所具備的存儲(chǔ)器中記錄的系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路中流通的氣體的流量之間的關(guān)系的一例的曲線圖。
[0019]圖4是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置的輔助控制部所具備的存儲(chǔ)器中記錄的系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路中流通的氣體的流量之間的關(guān)系的一例的曲線圖。
[0020]圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置的輔助控制部所具備的存儲(chǔ)器中記錄的系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路中流通的氣體的流量之間的關(guān)系的一例的曲線圖。
[0021]圖6是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置的處理流程的一例的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0022]根據(jù)本發(fā)明的第I方式，流體測(cè)量裝置具備:多個(gè)測(cè)量流路，該多個(gè)測(cè)量流路并列地設(shè)置于供流體流入的流入口與供該流體流出的流出口之間；流量測(cè)定單元，其設(shè)置于上述多個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)測(cè)量流路，獲取與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息；存儲(chǔ)裝置，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路保持系數(shù)數(shù)據(jù)，該系數(shù)數(shù)據(jù)是表示與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息同在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量之間的關(guān)系的值；以及總流量估計(jì)單元，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路，根據(jù)由上述流量測(cè)定單元求出的與流量有關(guān)的信息和上述存儲(chǔ)裝置中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)上述流體的總流量。
[0023]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于保持上述系數(shù)數(shù)據(jù)并具備流量測(cè)定單元和總流量估計(jì)單元，因此能夠根據(jù)在一個(gè)測(cè)量流路中流通的流體的流量求出在從該流體測(cè)量裝置的流入口到流出口之間流通的流體的總流量。
[0024]也就是說(shuō)，只要在預(yù)先使規(guī)定流量的流體流入流體測(cè)量裝置時(shí)根據(jù)在測(cè)量流路中流通的流體的流量預(yù)先求出系數(shù)數(shù)據(jù)，就能夠制造能夠測(cè)量在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量的流體測(cè)量裝置。因此，不需要像以往那樣在以各個(gè)測(cè)量流路進(jìn)行校正之后再在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝的狀態(tài)下對(duì)整體進(jìn)行校正，從而能夠縮短制造工序中的調(diào)整作業(yè)所花費(fèi)的時(shí)間。
[0025]因此，在本發(fā)明的第I方式中，起到能夠在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝而成的流體測(cè)量裝置的制造工序中縮短調(diào)整作業(yè)所需要的時(shí)間這樣的效果。
[0026]另外，本發(fā)明的第I方式所涉及的流體測(cè)量裝置將流量測(cè)定單元設(shè)置在多個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)測(cè)量流路。因此，即使在某個(gè)測(cè)量流路中具備的流量測(cè)定單元產(chǎn)生異常而無(wú)法求出在該測(cè)量流路中流通的流體的流量那樣的情況下，也能夠根據(jù)由設(shè)置于其它的測(cè)量流路的流量測(cè)定單元求出的流體的流量來(lái)求出總流量。
[0027]另外，根據(jù)本發(fā)明的第2方式，流體測(cè)量裝置也可以構(gòu)成為，在本發(fā)明的第I方式所涉及的流體測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)中，還具備總流量確定單元，該總流量確定單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路獲取由上述總流量估計(jì)單元估計(jì)出的流體的總流量，根據(jù)獲取到的總流量來(lái)確定在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量。
[0028]在此，存在在測(cè)量流路中通過(guò)流量測(cè)定單元測(cè)定得到的各個(gè)流量由于流體流通的測(cè)量流路的設(shè)計(jì)誤差等而包含與真正的值的誤差的情況。還存在由于保持的系數(shù)數(shù)據(jù)的設(shè)定精度等導(dǎo)致由于在該流體測(cè)量裝置中流通的流體的總流量的增加和減少而在各測(cè)量流路中求出的估計(jì)總流量相互產(chǎn)生偏差的情況。
[0029]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于具備上述總流量確定單元，因此能夠獲取在各個(gè)測(cè)量流路中求出的流體的總流量，并根據(jù)獲取到的多個(gè)總流量來(lái)確定總流量。即，如上述那樣存在如下情況:在各測(cè)量流路中求出的總流量按每個(gè)該測(cè)量流路分別包含與真正的值之間的誤差。然而，在本發(fā)明所涉及的流體測(cè)量裝置中，能夠通過(guò)總流量確定單元根據(jù)多個(gè)樣本(總流量)確定總流量，因此能夠得到更接近真正的值的總流量的值。
[0030]另外，本發(fā)明的第3方式所涉及的流體測(cè)量裝置也可以構(gòu)成為，在本發(fā)明的第2方式所涉及的流體測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)中，上述總流量確定單元根據(jù)由上述總流量估計(jì)單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路估計(jì)出的各個(gè)流體的總流量求出平均值，并將該平均值確定為在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量。
[0031]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)總流量確定單元根據(jù)多個(gè)樣本(總流量)的平均來(lái)確定總流量，因此能夠得到更接近真正的值的總流量的值。
[0032]另外，本發(fā)明的第4方式所涉及的流體測(cè)量裝置也可以構(gòu)成為，在本發(fā)明的第3方式所涉及的流體測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)中，上述總流量確定單元從由上述總流量估計(jì)單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路估計(jì)出的各個(gè)流體的總流量中去除最大值和最小值來(lái)求出平均值。
[0033]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠通過(guò)總流量確定單元根據(jù)多個(gè)樣本(總流量)的平均值來(lái)確定總流量。另外，該平均值是從由總流量估計(jì)單元估計(jì)出的各個(gè)流體的總流量中去除最大值和最小值來(lái)求出的。因此，即使在多個(gè)總流量的樣本中包含錯(cuò)誤地測(cè)量出的總流量的情況下，也能夠去除該錯(cuò)誤的總流量而求出平均值，從而能夠得到更接近真正的值的總流量的值。
[0034]另外，本發(fā)明的第5方式所涉及的流體測(cè)量裝置也可以構(gòu)成為，在本發(fā)明的第I至第4方式所涉及的流體測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)中，根據(jù)使規(guī)定流量的流體從上述流入口向上述流出口流動(dòng)時(shí)由設(shè)置于各測(cè)量流路的上述流量測(cè)定單元測(cè)定出的各個(gè)流體的流量來(lái)計(jì)算上述存儲(chǔ)裝置中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)。
[0035]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，僅通過(guò)使規(guī)定流量的流體從流入口向流出口流動(dòng)，就能夠根據(jù)由各流量測(cè)定單元測(cè)定出的流量求出各系數(shù)數(shù)據(jù)一次。因而，能夠有效地求出在設(shè)置于多個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)流量測(cè)定單元中利用的各個(gè)上述系數(shù)數(shù)據(jù)。
[0036]下面，參照【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。此外，在下面，對(duì)所有圖中相同或者對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)部件附加相同的參照標(biāo)記并省略其說(shuō)明。
[0037](氣體測(cè)量裝置)
[0038]首先，參照?qǐng)D1和圖2對(duì)本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置(流體測(cè)量裝置)I的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本實(shí)施方式的氣體測(cè)量裝置I中的與流量測(cè)量處理有關(guān)的結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I的主要部分結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0039]本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I為設(shè)置在氣體配管的中途并求出所消耗的氣體流量(氣體使用量)的超聲波式氣體計(jì)量?jī)x。此外，氣體測(cè)量裝置I并不限于這樣的超聲波式氣體計(jì)量?jī)x。例如，也可以構(gòu)成為通過(guò)利用電子檢測(cè)原理的流量傳感器、或者射流方式等的瞬時(shí)流量計(jì)來(lái)求出氣體流量。
[0040]如圖2所示，氣體測(cè)量裝置I為具備流路單元(流路)2、上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c、下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c、輔助控制部6a?6c、流入口 7、流出口 8、主控制部9、電池10、顯示部11以及安保用傳感器12而成的結(jié)構(gòu)。此外，在此，設(shè)為氣體從流入口 7朝向流出口 8在流路單元2內(nèi)沿一個(gè)方向流動(dòng)。
[0041]流入口 7為供氣體從氣體提供側(cè)的氣體配管流入氣體測(cè)量裝置I的入口。在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，構(gòu)成為在其上表面設(shè)置流入口 7，并將氣體提供側(cè)的氣體配管與流路單元2相連接。
[0042]流出口 8為供氣體從氣體測(cè)量裝置I向氣體消耗側(cè)的氣體配管流出的出口。在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，構(gòu)成為在其上表面設(shè)置流出口 8，并將氣體消耗側(cè)的氣體配管與流路單元2相連接。
[0043]流路單元2為向需求者提供的氣體所流過(guò)的截面呈矩形的筒狀的管。如圖2所示，流路單元2為具有切斷閥3、入口緩沖部21、測(cè)量流路22a?22c以及出口緩沖部23而成的結(jié)構(gòu)。
[0044]測(cè)量流路22a?22c為用于測(cè)量所消耗的氣體的流量(在氣體測(cè)量裝置I中流通的氣體的流量)的流路。測(cè)量流路22a-22c各自的流路截面積可以相同，也可以各自不同。此外，在不需要對(duì)各個(gè)測(cè)量流路22a?22c進(jìn)行區(qū)別說(shuō)明時(shí)，簡(jiǎn)稱為測(cè)量流路22。
[0045]流路單元2在這些多個(gè)測(cè)量流路22a?22c的上游側(cè)具有入口緩沖部21，在這些多個(gè)測(cè)量流路22a?22c的下游側(cè)具有出口緩沖部23。入口緩沖部21、多個(gè)測(cè)量流路22a?22c以及出口緩沖部23分別連通，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，構(gòu)成為在測(cè)量流路22a?22c中分別測(cè)量在入口緩沖部21與出口緩沖部23之間流通的氣體的流量。
[0046]另外，本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I在流路單元2的上游(入口緩沖部21的上游側(cè))具有切斷閥3。切斷閥3例如在從氣體測(cè)量裝置I到氣體設(shè)備之間檢測(cè)出氣體泄漏等異常的情況下、或者響應(yīng)于來(lái)自外部的切斷流路單元2的切斷請(qǐng)求等，關(guān)閉流路單元2的流路，從而切斷氣體的流動(dòng)。切斷閥3能夠根據(jù)來(lái)自主控制部9的控制指示來(lái)關(guān)閉或打開(kāi)流入口 7與入口緩沖部21之間的流路。該切斷閥3為具有用于關(guān)閉流路單元2的流路的閥體(未圖示)以及作為該閥體的動(dòng)力源的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)(未圖示)的結(jié)構(gòu)，更具體地說(shuō)，按照以下方式關(guān)閉或打開(kāi)流路單元2的流路。
[0047]S卩，在切斷閥3中，響應(yīng)于來(lái)自主控制部9的控制指示，對(duì)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)所具有的定子的線圈(未圖示)施加具有相位差的脈沖狀電流。然后，通過(guò)該電流的施加，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)子(未圖示)正旋轉(zhuǎn)。通過(guò)該轉(zhuǎn)子的正旋轉(zhuǎn)，閥體向閥座(未圖示)側(cè)前進(jìn)，從而關(guān)閉流路。由此，能夠在氣體測(cè)量裝置I中切斷氣體的流動(dòng)。相反地，在打開(kāi)流路的情況下，在切斷閥3中使步進(jìn)電動(dòng)機(jī)逆旋轉(zhuǎn)，由此閥體離開(kāi)閥座。
[0048]上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c以及下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c相互發(fā)送和接收超聲波。上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c以及下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c分別設(shè)置于測(cè)量流路22a?22c。此外，在不需要特別地對(duì)各個(gè)上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c進(jìn)行區(qū)別說(shuō)明的情況下，簡(jiǎn)稱為上游側(cè)超聲波傳感器4。同樣地，在不需要特別地對(duì)下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c進(jìn)行區(qū)別說(shuō)明的情況下，簡(jiǎn)稱為下游側(cè)超聲波傳感器5。
[0049]另外，這些上游側(cè)超聲波傳感器4和下游側(cè)超聲波傳感器5的組構(gòu)成為響應(yīng)于來(lái)自與各測(cè)量流路22分別相對(duì)應(yīng)地設(shè)置的輔助控制部6a?6c的控制指示而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。對(duì)輔助控制部6a?6c也同樣地，在無(wú)需特別進(jìn)行區(qū)別說(shuō)明的情況下，簡(jiǎn)稱為輔助控制部6。
[0050]S卩，上游側(cè)超聲波傳感器4設(shè)置在測(cè)量流路22中的上游側(cè)的側(cè)壁，下游側(cè)超聲波傳感器5設(shè)置在測(cè)量流路22中的下游側(cè)的側(cè)壁，且兩者相互對(duì)置。而且，當(dāng)從主控制部9經(jīng)由輔助控制部6向上游側(cè)超聲波傳感器4輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)(控制信號(hào))時(shí)，上游側(cè)超聲波傳感器4向下游側(cè)超聲波傳感器5輸出超聲波。從上游側(cè)超聲波傳感器4輸出的超聲波在測(cè)量流路22內(nèi)朝向下游側(cè)向斜下方前進(jìn)，從而朝向下游側(cè)超聲波傳感器5傳送。相反地，當(dāng)從主控制部9經(jīng)由輔助控制部6向下游側(cè)超聲波傳感器5輸入驅(qū)動(dòng)信號(hào)時(shí)，該下游側(cè)超聲波傳感器5朝向上游側(cè)超聲波傳感器4輸出超聲波。從下游側(cè)超聲波傳感器5輸出的超聲波在測(cè)量流路22內(nèi)朝向上游側(cè)向斜上方前進(jìn)，從而朝向上游側(cè)超聲波傳感器4傳送。而且，輔助控制部6測(cè)量各個(gè)超聲波的到達(dá)時(shí)間，并根據(jù)到達(dá)時(shí)間的差求出在流路單元2中流動(dòng)的氣體的流速。然后，輔助控制部6將所求出的流速與流路單元2的截面積等相乘而求出流量。輔助控制部6求出氣體流量時(shí)，根據(jù)該求出的結(jié)果來(lái)求出流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體總流量，將所求出的該氣體總流量設(shè)為估計(jì)總流量。然后，輔助控制部6將所求出的該估計(jì)總流量通知給主控制部9。
[0051]主控制部9對(duì)氣體測(cè)量裝置I中的各部分的各種動(dòng)作進(jìn)行控制，作為“各部分的控制處理”，例如如下面那樣進(jìn)行動(dòng)作。即，主控制部9根據(jù)檢測(cè)異常的安保用傳感器12的檢測(cè)結(jié)果判斷是否發(fā)生異常、或者判斷是否從外部接收到了切斷在氣體測(cè)量裝置I內(nèi)形成的流路的切斷指示。然后，在判斷為發(fā)生了異常的情況下，或者在判斷為接收到了切斷指示的情況下，主控制部9進(jìn)行控制使得向切斷閥3施加電流而如上述那樣關(guān)閉流路單元2的流路。另外，主控制部9也能夠進(jìn)行控制使得在顯示部11中顯示所消耗的氣體的流量等各種信息。顯示部11例如能夠通過(guò)CRT或液晶顯示器、等離子顯示器、或者有機(jī)EL顯示器等實(shí)現(xiàn)。
[0052]另外，作為“氣體流量測(cè)量處理”，主控制部9也能夠根據(jù)從各輔助控制部6接收到通知的氣體的估計(jì)總流量來(lái)確定在氣體測(cè)量裝置I中流動(dòng)的氣體的總流量。關(guān)于本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I的“氣體流量測(cè)量處理”的詳細(xì)情況在后文進(jìn)行說(shuō)明。
[0053]此外，上述的輔助控制部6例如能夠通過(guò)超聲波測(cè)量用的LSI (Large ScaleIntegrat1n:大規(guī)模集成電路)實(shí)現(xiàn)。該超聲波測(cè)量用LSI由能夠進(jìn)行超聲波測(cè)定的模擬電路以及順序地進(jìn)行超聲波傳送時(shí)間的測(cè)量動(dòng)作的數(shù)字電路構(gòu)成。另一方面，主控制部9例如能夠通過(guò)CPU實(shí)現(xiàn)。
[0054](氣體流量測(cè)量處理所涉及的結(jié)構(gòu))
[0055]在此，關(guān)于與本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中的“氣體流量測(cè)量處理”有關(guān)的結(jié)構(gòu)，除了圖1以外，還參照?qǐng)D3至圖5更具體地進(jìn)行說(shuō)明。圖3?圖5是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中的系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路中流通的氣體的流量之間的關(guān)系的一例的圖。即，當(dāng)將被記錄為系數(shù)數(shù)據(jù)表63的、在測(cè)量流路22中流通的流量與系數(shù)數(shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系表示為曲線圖時(shí)，成為如圖3?圖5所示那樣的曲線圖。
[0056]如圖1所示，作為與“氣體流量測(cè)量處理”有關(guān)的結(jié)構(gòu)，輔助控制部6a?6c分別具有總流量估計(jì)部(總流量估計(jì)單元)60a?60c、流量測(cè)定部(流量測(cè)定單元)6Ia?61c、存儲(chǔ)器(存儲(chǔ)裝置)62a?62c。而且，在存儲(chǔ)器62a?62c中分別存儲(chǔ)有系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c。另外，作為與“氣體流量測(cè)量處理”有關(guān)的結(jié)構(gòu)，主控制部9具備總流量確定部91。
[0057]此外，在不需要特別地對(duì)總流量估計(jì)部60a?60c、流量測(cè)定部61a?61c、存儲(chǔ)器62a?62c以及系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c進(jìn)行區(qū)別說(shuō)明的情況下，簡(jiǎn)稱為總流量估計(jì)部60、流量測(cè)定部61、存儲(chǔ)器62以及系數(shù)數(shù)據(jù)表63。
[0058]流量測(cè)定部61根據(jù)由上游側(cè)超聲波傳感器4以及下游側(cè)超聲波傳感器5獲得的上述超聲波的到達(dá)時(shí)間的差而求出流過(guò)測(cè)量流路22的氣體的每個(gè)單位時(shí)間的流速，并根據(jù)所求出的該流速及測(cè)量流路22的截面積等求出流過(guò)測(cè)量流路22的氣體的流量。通過(guò)上游側(cè)超聲波傳感器4、下游側(cè)超聲波傳感器5以及該流量測(cè)定部61來(lái)實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的流量測(cè)定單元。
[0059]在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為在上游側(cè)超聲波傳感器4與下游側(cè)超聲波傳感器5之間每2秒相互發(fā)送和接收超聲波多次。因此，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，形成每2秒確認(rèn)氣體的流量變化的結(jié)構(gòu)。
[0060]總流量估計(jì)部60參照存儲(chǔ)器62所存儲(chǔ)的系數(shù)數(shù)據(jù)表63，根據(jù)流量測(cè)定部61求出的氣體的流量求出流過(guò)氣體測(cè)量裝置I的氣體的估計(jì)總流量。
[0061]存儲(chǔ)器62是存儲(chǔ)有在輔助控制部6實(shí)施的各種運(yùn)算中利用的參數(shù)等信息的可讀寫的存儲(chǔ)裝置。例如，存儲(chǔ)器62能夠通過(guò)可讀寫的RAM或EEPROM等半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置實(shí)現(xiàn)。
[0062]例如圖1所示，在存儲(chǔ)器62中存儲(chǔ)有用于根據(jù)每單位時(shí)間流過(guò)各測(cè)量流路22的氣體的流量求出每單位時(shí)間流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體的總流量(估計(jì)總流量)的參數(shù)(系數(shù)數(shù)據(jù))。更準(zhǔn)確地說(shuō)，在存儲(chǔ)器62中存儲(chǔ)有表示在測(cè)量流路22中流通的氣體流量與系數(shù)數(shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系(例如參照?qǐng)D3?圖5)的表。
[0063]如圖3至圖5所示，與流過(guò)測(cè)量流路22a?22c的氣體的流量相應(yīng)地決定系數(shù)數(shù)據(jù)63a?63c。即，如圖3至圖5所示，預(yù)先將流量已知的總流量(Qtotal)分別除以流過(guò)測(cè)量流路22a?22c的氣體流量(Qa?Qc)所得到的值(系數(shù)數(shù)據(jù))以系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c的形式存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器62a?62c中。以這些系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c記錄的系數(shù)數(shù)據(jù)為與流過(guò)各測(cè)量流路22a?22c的氣體流量(Qa?Qc)的變動(dòng)相應(yīng)地變化的值。然而，系數(shù)數(shù)據(jù)不限定于此。例如系數(shù)數(shù)據(jù)也可以是與流過(guò)測(cè)量流路22a?22c的氣體流量的大小無(wú)關(guān)地保持固定的固定值。
[0064]這樣，輔助控制部6當(dāng)參照以系數(shù)數(shù)據(jù)表63記錄的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)根據(jù)流過(guò)測(cè)量流路22的氣體流量分別求出流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體的估計(jì)總流量時(shí)，將求出的氣體的估計(jì)總流量通知給主控制部9。
[0065]在主控制部9中，總流量確定部(總流量確定單元)91根據(jù)從輔助控制部6a?6c分別接收到通知的氣體的估計(jì)總流量來(lái)確定實(shí)際使用的氣體的總流量。更具體地說(shuō)，總流量確定部91求出從輔助控制部6a?6c分別接收到通知的估計(jì)總流量的平均值，將該平均值決定為實(shí)際使用的氣體的總流量。
[0066]接著，參照?qǐng)D6說(shuō)明具有上述結(jié)構(gòu)的氣體測(cè)量裝置I中的求出流過(guò)氣體測(cè)量裝置I的氣體的總流量的“氣體流量測(cè)量處理”的處理流程。圖6是表示本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I的處理流程的一例的流程圖。
[0067](氣體流量測(cè)量處理方法)
[0068]首先，作為事前處理，將系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c分別存儲(chǔ)到各個(gè)存儲(chǔ)器62a?62c中(步驟SI I)。
[0069]更具體地說(shuō)，預(yù)先使總流量(Qtotal)已知的氣體從氣體測(cè)量裝置I的流入口 7流入，并記錄此時(shí)在測(cè)量流路22a?22c中分別測(cè)量出的流量(Qa?Qc)。然后，計(jì)算用于根據(jù)測(cè)量出的流量(Qa?Qc)求出總流量(Qtotal)的系數(shù)數(shù)據(jù)。通過(guò)改變流通的總流量(Qtotal)來(lái)多次進(jìn)行該操作，生成表示流量與系數(shù)數(shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)關(guān)系的系數(shù)數(shù)據(jù)表63，并事先分別存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器62中。
[0070]此外，在上述實(shí)施方式中，設(shè)為測(cè)量流路22a?22c的系數(shù)數(shù)據(jù)如圖3?圖5所示那樣在規(guī)定的流量區(qū)域具有各自不同的值(特性)而進(jìn)行了說(shuō)明，但是在通過(guò)一次函數(shù)的曲線能夠表示測(cè)量流路22a?22c的系數(shù)數(shù)據(jù)與流量之間的關(guān)系的情況下，能夠以一次進(jìn)行而不需要變更總流量(Qtotal)來(lái)進(jìn)行多次，這是不言而喻的。
[0071]在實(shí)施上述的事前處理之后，為了實(shí)際使用而設(shè)置氣體測(cè)量裝置I。然后，通過(guò)與氣體測(cè)量裝置I相連的氣體設(shè)備等開(kāi)始?xì)怏w的利用。此外，此時(shí)，切斷閥3使流路單元2的流路為打開(kāi)狀態(tài)。
[0072]當(dāng)氣體的利用開(kāi)始時(shí)，從流入口 7進(jìn)入的氣體通過(guò)入口緩沖部21被分配給各個(gè)測(cè)量流路22a?22c而向出口緩沖部23流動(dòng)。在各輔助控制部6a?6c中，流量測(cè)定部61a?61c根據(jù)由上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c和下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c測(cè)定出的超聲波的到達(dá)時(shí)間的差而求出流過(guò)測(cè)量流路22a?22c的氣體的流速。然后，根據(jù)所求出的各流速來(lái)計(jì)算各測(cè)量流路22a?22c中的各氣體的流量(步驟S12)。
[0073]并且，在各輔助控制部6中，總流量估計(jì)部60a?60c根據(jù)計(jì)算出的各氣體的流量，參照存儲(chǔ)器62中存儲(chǔ)的系數(shù)數(shù)據(jù)表63a?63c的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)分別估計(jì)流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體的總流量(步驟S13)。例如，總流量估計(jì)部60a參照系數(shù)數(shù)據(jù)表63a獲取與流過(guò)測(cè)量流路22a的氣體的流量Qa對(duì)應(yīng)的系數(shù)數(shù)據(jù)。然后，根據(jù)該系數(shù)數(shù)據(jù)和氣體的流量Qa來(lái)計(jì)算總流量的估計(jì)值。然后，各輔助控制部6將求出的氣體的總流量分別通知給主控制部9。
[0074]在主控制部9中，當(dāng)從各輔助控制部6分別獲取到氣體的總流量時(shí)，總流量確定部91計(jì)算它們的平均值，將計(jì)算出的該結(jié)果決定為是流過(guò)氣體測(cè)量裝置I的氣體的實(shí)際總流量(步驟S14) ο
[0075](效果)
[0076]如上所述，本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I具備多個(gè)測(cè)量流路22a?22c以及設(shè)置于各測(cè)量流路22a?22c的上游側(cè)超聲波傳感器4a?4c和下游側(cè)超聲波傳感器5a?5c，能夠利用超聲波分別測(cè)量流過(guò)各測(cè)量流路22a?22c的氣體流量。而且，是如下一種結(jié)構(gòu):根據(jù)針對(duì)各測(cè)量流路22a?22c求出的氣體流量，通過(guò)參照系數(shù)數(shù)據(jù)63，能夠分別求出流過(guò)氣體測(cè)量裝置I的整體的氣體總流量(估計(jì)總流量)。
[0077]也就是說(shuō)，能夠制造如下一種氣體測(cè)量裝置1:只要預(yù)先求出在規(guī)定流量的氣體流入時(shí)在各測(cè)量流路22中流通的氣體流量并根據(jù)規(guī)定流量(規(guī)定的氣體總流量)和各測(cè)量流路22的氣體流量分別求出系數(shù)數(shù)據(jù)，就能夠測(cè)量在從流入口 7到流出口 8之間流通的氣體總流量。因此，不需要像以往那樣在以各個(gè)測(cè)量流路進(jìn)行校正之后再在將多個(gè)測(cè)量流路并列地連接組裝的狀態(tài)下進(jìn)行整體校正，從而能夠縮短制造工序中的調(diào)整作業(yè)所花費(fèi)的時(shí)間。
[0078]并且，也能夠主張以下效果。
[0079]例如，考慮輔助控制部6a?6c將在各測(cè)量流路22a?22c中分別求出的氣體流量全部相加來(lái)確定流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體總流量的結(jié)構(gòu)。然而，在該結(jié)構(gòu)的情況下，在如上述那樣在測(cè)量流路22a?22c中的某一個(gè)中未求出正確的氣體的流量的情況下，無(wú)法獲得流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體總流量。
[0080]還考慮如本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I那樣僅設(shè)置一個(gè)具備能夠求出估計(jì)總流量的輔助控制部6的測(cè)量流路22且并列設(shè)置多個(gè)除此之外的用于使氣體流通的流路的結(jié)構(gòu)。在該結(jié)構(gòu)的情況下也同樣，在測(cè)量流路22中的上游側(cè)超聲波傳感器4、下游側(cè)超聲波傳感器5以及輔助控制部6中的任一個(gè)發(fā)生異常時(shí)，無(wú)法獲得流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體總流量。
[0081]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，如上述那樣構(gòu)成為在各測(cè)量流路22a?22c中由輔助控制部6a?6c分別求出估計(jì)總流量，因此能夠使用在除了無(wú)法正確地測(cè)量氣體流量的測(cè)量流路22以外的其它的測(cè)量流路22中求出的估計(jì)總流量來(lái)確定流過(guò)氣體測(cè)量裝置I整體的氣體總流量。
[0082]還構(gòu)成為，在各測(cè)量流路22中，輔助控制部6利用系數(shù)數(shù)據(jù)表63，根據(jù)在當(dāng)前時(shí)點(diǎn)測(cè)量出的氣體流量來(lái)求出估計(jì)總流量。在此，存在在各測(cè)量流路22中通過(guò)流量測(cè)定部61測(cè)定得到的各個(gè)流量由于流體流通的測(cè)量流路22的設(shè)計(jì)誤差等而包含與真正的值的誤差的情況。因此，在各測(cè)量流路22中求出的估計(jì)總流量中分別產(chǎn)生偏差。另外，還存在由于系數(shù)數(shù)據(jù)的設(shè)定精度等導(dǎo)致由于在該氣體測(cè)量裝置I中流通的氣體的總流量的增加和減少而在各測(cè)量流路22中求出的估計(jì)總流量分別產(chǎn)生偏差的情況。
[0083]然而，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，具備多個(gè)測(cè)量流路22，通過(guò)求出根據(jù)在這些測(cè)量流路22中流通的氣體流量而求出的各個(gè)估計(jì)總流量的平均值來(lái)對(duì)上述偏差進(jìn)行補(bǔ)償從而能夠高精度地求出氣體的總流量
[0084]另外，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，構(gòu)成為預(yù)先使總流量(Qtotal)已知的氣體從氣體測(cè)量裝置I的流入口 7流入，根據(jù)此時(shí)在測(cè)量流路22a?22c中分別測(cè)量出的流量(Qa?Qc)，計(jì)算用于求出總流量(Qtotal)的系數(shù)數(shù)據(jù)。也就是說(shuō)，只要使總流量(Qtotal)已知的氣體流入一次，就能夠一并求出在測(cè)量流路22a?22c分別具備的輔助控制部6a?6c中利用的系數(shù)數(shù)據(jù)。
[0085](變形例)
[0086]此外，本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I構(gòu)成為將表示系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路22中流通的氣體流量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系的系數(shù)數(shù)據(jù)表63記錄到存儲(chǔ)器62中。然而，不限定于該結(jié)構(gòu)，例如也可以在通過(guò)數(shù)學(xué)式表示系數(shù)數(shù)據(jù)與在測(cè)量流路22中流通的氣體流量之間的關(guān)系的情況下，代替系數(shù)數(shù)據(jù)表63而將該關(guān)系式記錄到存儲(chǔ)器62中。
[0087]另外，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，是具備3個(gè)測(cè)量流路22的結(jié)構(gòu)，但是不限定于此，例如也可以是具備2個(gè)測(cè)量流路22的結(jié)構(gòu)，還可以是具備4個(gè)以上的測(cè)量流路22的結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的是，考慮使用的氣體流量的大小等來(lái)適當(dāng)?shù)貨Q定測(cè)量流路22的個(gè)數(shù)。
[0088]另外，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I的流路單元2中，構(gòu)成為在入口緩沖部21與出口緩沖部23之間形成3個(gè)測(cè)量流路22。然而，也可以構(gòu)成為除了這些測(cè)量流路22以外，還形成有不具備上游側(cè)超聲波傳感器4和下游側(cè)超聲波傳感器5以及輔助控制部6的僅用于使氣體流通的流路。即，配置在入口緩沖部21與出口緩沖部23之間并在兩者之間使氣體流通的流路不需要全部是測(cè)量流路22，只要這些流路中的一部分、優(yōu)選為3個(gè)以上的流路是測(cè)量流路22即可。
[0089]另外，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，構(gòu)成為在主控制部9中總流量確定部91將由輔助控制部6a?6c分別求出的氣體的估計(jì)總流量的平均值決定為氣體的實(shí)際總流量。然而，不限定于該結(jié)構(gòu)。例如在設(shè)置有多個(gè)測(cè)量流路22的結(jié)構(gòu)的情況下，也可以構(gòu)成為將根據(jù)在各個(gè)測(cè)量流路22中流通的氣體的流量而求出的估計(jì)總流量中的去除了最大值和最小值后的值的平均值決定為氣體的實(shí)際總流量。或者，也可以構(gòu)成為去除值比其它的估計(jì)總流量大規(guī)定值以上、或小規(guī)定值以上的估計(jì)總流量來(lái)求出平均值，并決定實(shí)際總流量。
[0090]在像這樣構(gòu)成的情況下，例如即使在存在上游側(cè)超聲波傳感器4和下游側(cè)超聲波傳感器5產(chǎn)生問(wèn)題從而無(wú)法適當(dāng)?shù)毓烙?jì)氣體的總流量的測(cè)量流路22的情況下，也能夠去除在該測(cè)量流路22中求出的估計(jì)總流量來(lái)根據(jù)在其它測(cè)量流路22中求出的估計(jì)總流量來(lái)確定氣體的實(shí)際總流量。因此，能夠更高精度地求出氣體的實(shí)際總流量。
[0091]或者，總流量確定部91也可以構(gòu)成為將由輔助控制部6a?6c分別求出的氣體的估計(jì)總流量的中間值或眾數(shù)值決定為實(shí)際總流量。優(yōu)選的是，總流量確定部91采用能夠從實(shí)際獲得的估計(jì)總流量的分布中獲得最接近真正的值的近似值的方法來(lái)確定氣體的實(shí)際總流量。
[0092]另外，在本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I中，是各輔助控制部6a?6c分別具備存儲(chǔ)器62a?62c的結(jié)構(gòu)，但不限定于此。例如也可以構(gòu)成為具備一個(gè)能夠由各輔助控制部6a?6c分別訪問(wèn)的存儲(chǔ)器62，在該存儲(chǔ)器62中，針對(duì)測(cè)量流路22a?22c中的每一個(gè)測(cè)量流路將在該測(cè)量流路22a?22c中流通的氣體的各個(gè)流量與各個(gè)系數(shù)數(shù)據(jù)63a?63c對(duì)應(yīng)地進(jìn)行存儲(chǔ)。
[0093]另外，本實(shí)施方式所涉及的氣體測(cè)量裝置I構(gòu)成為通過(guò)各測(cè)量流路22所具備的流量測(cè)定部61求出在各測(cè)量流路22中流通的氣體流量，總流量估計(jì)部60根據(jù)求出的結(jié)果，求出在氣體測(cè)量裝置I中流通的氣體的總流量。即，構(gòu)成為，作為與在測(cè)量流路22中流通的流體的流量有關(guān)的信息，流量測(cè)定部61直接求出該流量。然而，不限定于該結(jié)構(gòu)。例如也可以構(gòu)成為代替流量測(cè)定部61而具備求出在測(cè)量流路22中流通的氣體的流速的流速測(cè)定部，總流量估計(jì)部60根據(jù)由該流速測(cè)定部測(cè)定出的氣體的流速來(lái)求出在氣體測(cè)量裝置I中流通的氣體的總流量。即，也可以構(gòu)成為求出氣體的流速作為與在測(cè)量流路22中流通的流體的流量有關(guān)的信息。
[0094]在像這樣構(gòu)成的情況下，總流量估計(jì)部60事先保持測(cè)量流路22的直徑(截面積)的信息等，將通過(guò)流速測(cè)定部測(cè)定出的在測(cè)量流路22中流通的氣體的流速與該測(cè)量流路22的直徑(截面積)的信息等相乘來(lái)求出流量。然后，總流量估計(jì)部60將求出的流量乘以系數(shù)數(shù)據(jù)63來(lái)估計(jì)在氣體測(cè)量裝置I中流通的氣體的總流量。
[0095]此外，在上述的實(shí)施方式中列舉測(cè)量氣體使用量的氣體測(cè)量裝置I為例進(jìn)行說(shuō)明，但是測(cè)量對(duì)象不限定于氣體，只要是流體即可。
[0096]根據(jù)上述說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明的諸多改良、其它的實(shí)施方式是顯而易見(jiàn)的。因而，上述說(shuō)明應(yīng)該被解釋為僅是例示，是為了向本領(lǐng)域技術(shù)人員教導(dǎo)執(zhí)行本發(fā)明的優(yōu)選方式而提供的。能夠不脫離本發(fā)明的精神地實(shí)質(zhì)地變更其結(jié)構(gòu)和/或功能的詳細(xì)內(nèi)容。
[0097]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0098]本發(fā)明的流體測(cè)量裝置為了測(cè)定大容量的氣體的流量而具備多個(gè)流路，在根據(jù)在該多個(gè)流路的各個(gè)流路中流通的流體的流量來(lái)測(cè)定流體的總流量的流體測(cè)量裝置中特別有用。
[0099]附圖標(biāo)記說(shuō)曰月
[0100]1:氣體測(cè)量裝置；2:流路單元；3:切斷閥；4a?4c:上游側(cè)超聲波傳感器；5a?5c:下游側(cè)超聲波傳感器；6a?6c:輔助控制部；7:流入口 ；8:流出口 ；9:主控制部；10:電池；11:顯示部；12:安保用傳感器；21:入口緩沖部；22a?22c:測(cè)量流路；23:出口緩沖部；60a?60c:總流量估計(jì)部；61a?61c:流量測(cè)定部；62a?62c:存儲(chǔ)器；63a?63c:系數(shù)數(shù)據(jù)；91:總流量確定部。
【權(quán)利要求】
1.一種流體測(cè)量裝置，其特征在于，具備: 多個(gè)測(cè)量流路，該多個(gè)測(cè)量流路并列地設(shè)置于供流體流入的流入口與供該流體流出的流出口之間； 流量測(cè)定單元，其設(shè)置于上述多個(gè)測(cè)量流路的各個(gè)測(cè)量流路，獲取與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息； 存儲(chǔ)裝置，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路保持系數(shù)數(shù)據(jù)，該系數(shù)數(shù)據(jù)是表示與在該測(cè)量流路中流通的流體的流量有關(guān)的信息同在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量之間的關(guān)系的值；以及 總流量估計(jì)單元，其針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路，根據(jù)由上述流量測(cè)定單元求出的與流量有關(guān)的信息和上述存儲(chǔ)裝置中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)來(lái)估計(jì)上述流體的總流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體測(cè)量裝置，其特征在于， 還具備總流量確定單元，該總流量確定單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路獲取由上述總流量估計(jì)單元估計(jì)出的流體的總流量，根據(jù)獲取到的總流量來(lái)確定在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流體測(cè)量裝置，其特征在于， 上述總流量確定單元根據(jù)由上述總流量估計(jì)單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路估計(jì)出的各個(gè)流體的總流量求出平均值，并將該平均值確定為在從上述流入口到上述流出口之間流通的流體的總流量。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體測(cè)量裝置，其特征在于， 上述總流量確定單元從由上述總流量估計(jì)單元針對(duì)每個(gè)上述測(cè)量流路估計(jì)出的各個(gè)流體的總流量中去除最大值和最小值來(lái)求出平均值。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流體測(cè)量裝置，其特征在于， 根據(jù)使規(guī)定流量的流體從上述流入口向上述流出口流動(dòng)時(shí)由設(shè)置于各測(cè)量流路的上述流量測(cè)定單元測(cè)定出的各個(gè)流體的流量來(lái)計(jì)算上述存儲(chǔ)裝置中所保持的系數(shù)數(shù)據(jù)。
【文檔編號(hào)】G01F3/22GK104428631SQ201380034449
【公開(kāi)日】2015年3月18日 申請(qǐng)日期:2013年6月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月28日
【發(fā)明者】后藤尋一, 足立明久, 藤井裕史, 中林裕治, 坂口幸夫, 河野康晴, 渡邊葵 申請(qǐng)人:松下知識(shí)產(chǎn)權(quán)經(jīng)營(yíng)株式會(huì)社