本發(fā)明涉及一種檢測裝置，尤其是一種波紋管實際壽命檢測工裝，屬于半導體薄膜沉積應用及制造技術(shù)領域。

背景技術(shù)：

波紋管式機械密封的應用范圍很廣，從低溫到高溫，從中性介質(zhì)到腐蝕性介質(zhì)，從低速到高速，從普通到苛刻的工作條件都可選用。所有這些可通過變更波紋管的幾何形狀(如內(nèi)外徑、波片厚度和波數(shù)等)與材料彈性模量，改變波紋管的彈率。根據(jù)介質(zhì)的腐蝕性能，選用不同的波紋管材料等。

在現(xiàn)有的半導體鍍膜設備中，波紋管處于一個關(guān)鍵的部位，且環(huán)境溫度較高，內(nèi)部處于真空狀態(tài)。同時，波紋管始終處于上下運動狀態(tài)，且內(nèi)部還有腐蝕介質(zhì)存在。使用過程中，因為外力或高溫的作用，會導致波紋管變形或破裂。波紋管的壽命期限是個很關(guān)鍵的指標，它直接影響機臺的正常運行。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種一種波紋管實際壽命檢測工裝。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種波紋管實際壽命檢測工裝，包括上蓋板(4)、腔體(42)、加熱器組件及過渡法 蘭(36)。上蓋板(4)設置在腔體(42)的上端。加熱器組件及過渡法蘭(36)固定在腔體(42)的下端。加熱盤組件包括安裝基座(14)、氣缸(21)、萬向活節(jié)(22)、直線滑軌(15)、滑塊(16)、加熱盤連接件(30)、波紋管(34)和加熱盤(3)。廠務端的泵管路連接到過渡法蘭(36)的下端法蘭(35)上。直線滑軌(15)固定在安裝基座(14)上?；瑝K(16)在直線滑軌(15)上滑動。氣缸(21)固定在安裝基座(14)的下端。氣缸(21)與加熱盤連接件(30)連接在一起。加熱盤連接件(30)的側(cè)面與滑塊(16)固定連接。加熱盤(3)上端插入到腔體(42)內(nèi)，下端與加熱盤連接件(30)連接。波紋管(34)上端固定在腔體(42)上，下端固定在加熱盤連接件(30)上。加熱盤(3)穿過波紋管(34)。

優(yōu)選的，所述上蓋板(4)與腔體(42)之間有膠圈密封。

優(yōu)選的，安裝基座(14)上設有加強筋(17)。

優(yōu)選的，在加熱盤連接件(30)上設有水道(29)。

本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，通過模擬機臺的實際使用情況，來測試波紋管真正的使用壽命是否符合設備的需求。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的A-A剖視圖。

圖3是本發(fā)明去掉上蓋板后的俯視圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方 案進行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。

如圖1-圖3所示：一種波紋管實際壽命檢測工裝，由上蓋板4、腔體42、加熱器組件及過渡法蘭36組成。加熱盤組件包括安裝基座14、氣缸21、萬向活節(jié)22、直線滑軌15、滑塊16、加熱盤連接件30、波紋管34、加熱器3幾部分。過渡法蘭36使用時，通過在上端法蘭37上的膠圈安裝槽38內(nèi)放置膠圈，實現(xiàn)過渡法蘭36上端法蘭面39與腔體下表面12的密封。廠務端的泵管路會連接到過渡法蘭36的下端法蘭35上。其中，上蓋板4與腔體42之間有膠圈密封，上蓋板下表面7要求一定的加工精度，保證密封性。加熱盤組件的安裝基座14基本為T型機加結(jié)構(gòu)，其正面18有多個螺紋孔，用于直線滑軌15的固定安裝，滑軌上面安裝有兩個滑塊16。背面有兩個加強筋17，用于加強作用，防止其自身的形變。上端面13為固定面，帶有兩個定位銷及四個通孔，用于與腔體下表面12之間的定位固定。下端板19上中心上設有一大的通孔和四個小的通孔，氣缸21的安裝固定在下端板的下表面20上。氣缸21通過萬向活節(jié)22與加熱盤連接件30連接在一起。加熱盤連接件30也為T型機加結(jié)構(gòu)，其基準立面上設有定位銷及安裝固定孔，用于與直線滑軌15上面的兩個滑塊16的連接固定。該立面的下端部23，設有用于與萬向活節(jié)22連接的螺紋孔24。其垂直水平基準面26上設有加熱盤安裝固定孔、加熱盤 TC及電源線出線孔以及加熱盤密封膠圈安裝槽27。加熱盤3通過下部的立柱端面28上設有螺紋孔，用于加熱盤3與加熱盤連接件30之間的安裝固定。當加熱盤安裝固定到該水平基準面25上后，通過安裝在其上面的加熱盤密封膠圈來實現(xiàn)二者之間的密封。同時，考慮加熱盤密封膠圈的使用壽命，該加熱盤連接件30上設有水道29。整個水路通過管路與廠務端冷卻水源聯(lián)通，實現(xiàn)熱盤連接件30處的冷卻，即實現(xiàn)對加熱盤密封膠圈密封性的保證。該波紋管34的結(jié)構(gòu)及尺寸，同現(xiàn)有設備上的波紋管保持完全一致，均由上法蘭41、下法蘭32及焊接波紋管33組成。上法蘭41及下法蘭32上帶有膠圈安裝槽31及螺栓安裝固定孔，用于實現(xiàn)跟兩端連接件的密封連接，即分別跟腔體42及加熱盤連接件30的密封連接。工作時，氣缸21帶動加熱盤連接件30上下運動，連接固定在加熱盤連接件30上的加熱盤3會同時跟著一起上下運動。運動過程中，波紋管34固定在加熱盤連接件30的這端也將隨著一起上下運動，從而波紋管34隨著加熱盤3的上下運動，自身也處于一個壓縮、伸展交替循環(huán)的狀態(tài)。在下降的過程中，加熱盤3的下表面2不會與腔室的下表面11接觸。

在開啟加熱盤3之前，需要將腔室5內(nèi)抽真空。將抽真空組件與廠務泵組連接，實現(xiàn)腔室5內(nèi)的真空度要求。腔體42根據(jù)安裝及組件的功能設有腔室5，腔室5的外徑9大于加熱盤的直徑。還有加熱盤安裝孔10、真空抽氣孔40、上蓋板安裝孔44以及加熱盤安裝基座安裝孔、波紋管固定安裝孔等，其上表面1還設有與上蓋板密封用的膠圈槽6。另外，側(cè)面偏上部還設有上蓋板用的限位開關(guān)46安裝槽 45及安裝孔。側(cè)部靠近上表面1處，還對稱設有兩個大凹槽8。大凹槽8與腔體42及上蓋板4的最外表面43有一定的深度，保證有足夠的操作空間用于上蓋板4的開啟。作為簡易工裝，上蓋板4上沒有安裝把手，其開啟是通過大凹槽8作為操作空間，直接把持上蓋板4來實現(xiàn)上蓋板4的開啟、安放和位置調(diào)整。測試過程中，需要將上蓋板4放好，保證與腔體42的密封。同時腔室內(nèi)5抽真空，啟動加熱盤3，升溫至所需溫度。啟動氣缸21，設定好測試程序，讓整個測試工裝自動進行上下往復的運動，直至波紋管34出現(xiàn)破裂、不可壓縮等極限狀態(tài)為止。記錄當前狀態(tài)的氣缸21的運動的次數(shù)，即為波紋管34的實際使用壽命。