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一種檢測(cè)玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法與流程

文檔序號(hào):11197356閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種檢測(cè)玻璃基板破損和裂紋的裝置,包括,光感應(yīng)系統(tǒng)、玻璃基板加工單元以及控制所述光感應(yīng)系統(tǒng)和玻璃基板加工單元的中央控制系統(tǒng);其中,所述光感應(yīng)系統(tǒng)設(shè)置在玻璃基板加工單元入口處,玻璃基板進(jìn)入玻璃基板加工單元時(shí)接觸光感應(yīng)系統(tǒng),光感應(yīng)系統(tǒng)將信號(hào)反饋至中央控制系統(tǒng)。通過(guò)檢測(cè)發(fā)射器發(fā)出的光是否能量變化來(lái)判斷玻璃基板被檢測(cè)區(qū)域是否有裂紋或破損,并停止玻璃基板加工單元運(yùn)行,有效排除了裂紋破碎的玻璃基板,提高產(chǎn)品的制程良率。

技術(shù)研發(fā)人員:龔冰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢華星光電技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.22
技術(shù)公布日:2017.09.29
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