1.一種（電容性）傳感器元件，特別是用于（電容性）檢測(cè)在流動(dòng)流體中形成的卡門渦街中的壓力波動(dòng)的傳感器元件，和/或被設(shè)計(jì)成由流動(dòng)流體接觸的傳感器元件，所述傳感器元件包括：
2.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體被設(shè)計(jì)成與流體，特別是液體和/或氣體或其他流體，特別是正在流動(dòng)和/或至少暫時(shí)具有大于100°c的（流體）溫度的流體接觸。
3.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體被設(shè)計(jì)成由形成為卡門渦街的流動(dòng)流體，特別是流體和/或氣體包圍，特別是通過由所述流體施加在其上的（交替）力而彈性變形。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體被設(shè)計(jì)成將作用在其上的，特別是由（圍繞其）流動(dòng)和/或經(jīng)由第一和第二（變形主體）外表面引入的流體施加的（交替）力，轉(zhuǎn)換成使所述（變形主體）腔體或所述（環(huán)形）間隙變形的（懸臂）振動(dòng)。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體被設(shè)計(jì)成將由在（主）流動(dòng)方向上流動(dòng)的流體橫向于所述（主）流動(dòng)方向施加的，特別是由于在所述流動(dòng)流體中形成的卡門渦街內(nèi)的壓力波動(dòng)導(dǎo)致的（交替）力轉(zhuǎn)換成（懸臂）振動(dòng)，所述（懸臂）振動(dòng)使所述（變形主體）腔體或所述（環(huán)形）間隙在振動(dòng)方向上，特別是橫向于所述（主）流動(dòng)方向和/或在所述傳感器元件的（主）測(cè)量方向的方向上變形。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體具有第一（變形主體）外表面，即背離所述變形主體腔體的（第一）表面，特別是凸形和/或部分（圓形）圓柱形和/或部分平坦的表面，和第二（變形主體）外表面，即背離所述變形主體腔體但仍然與所述第一（變形主體）外表面相對(duì)的（第二）表面，特別是凸形和/或部分（圓形）圓柱形和/或部分平坦的表面。
7.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，其中，所述第一和第二（變形主體）外表面被設(shè)計(jì)成接觸流體，特別是流動(dòng)的流體，特別是液體和/或氣體，特別是使得由所述流體產(chǎn)生并引起使所述（變形主體）腔體或所述（環(huán)形）間隙變形的（懸臂）振動(dòng)的（交替）力經(jīng)由所述第一和第二（變形主體）外表面被引入到所述變形主體中。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述變形主體被設(shè)計(jì)成將在（所述傳感器元件的）（主）測(cè)量方向上施加在其上的（交替）力轉(zhuǎn)換成使所述（變形主體）腔體或所述間隙變形的（懸臂）振動(dòng)。
9.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
10.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，具有由所述間隙確定的（傳感器）電容c1的（測(cè)量）電容器借助于所述變形主體、所述填充主體和所述參考主體形成，特別是使得所述（測(cè)量）電容器在（主）測(cè)量方向上具有大于1pf/mm的（測(cè)量）靈敏度δc1/δx，或者被設(shè)計(jì)為以大于1ff的電容c1的變化δc1響應(yīng)于所述變形主體在（主）測(cè)量方向上的1μm（偏轉(zhuǎn)）運(yùn)動(dòng)δx。
11.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，其中，所述（測(cè)量）電容器在（主）測(cè)量方向上具有特別是大于1pf/mm和/或最大（測(cè)量）靈敏度δc1/δx，使得所述（測(cè)量）電容器被設(shè)置為以電容c1的變化δc1，特別是大于1ff，來響應(yīng)于所述變形主體在（主）測(cè)量方向上的（偏轉(zhuǎn)）運(yùn)動(dòng)δx，特別是大于1μm。
12.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，其中，所述（測(cè)量）電容器具有交叉靈敏度δc1/δy，所述交叉靈敏度δc1/δy在偏離所述（主）測(cè)量方向的方向上與所述（測(cè)量）靈敏度δc1/δx不同，特別是與所述（測(cè)量）靈敏度δc1/δx相差不小于50%，特別是使得所述交叉靈敏度δc1/δy小于所述（測(cè)量）靈敏度δc1/δx，和/或使得所述（測(cè)量）電容器被設(shè)置為以所述電容c1的變化δc1’來響應(yīng)于所述變形主體在偏離所述（主）測(cè)量方向的至少一個(gè)，特別是每個(gè)方向上的（偏轉(zhuǎn)）運(yùn)動(dòng)δy，所述電容c1的變化δc1’小于所述（測(cè)量）電容器響應(yīng)于所述變形主體在所述（主）測(cè)量方向上的相等（偏轉(zhuǎn)）運(yùn)動(dòng)δx的（電容c1的）變化δc1。
13.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，
14.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，
15.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
16.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述填充主體布置在所述主部件腔體內(nèi)，使得所述主部件腔體的由所述第一主部件子區(qū)段包圍的部分區(qū)域（形成所述主部件腔體的所述第一端）不被所述填充主體填充或不被所述填充主體占據(jù)。
17.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述參考主體被嵌入所述填充主體中，使得所述參考主體的與所述第一參考主體子區(qū)段相鄰但仍然遠(yuǎn)離所述第二（參考主體）子區(qū)段的特別是桿狀的第三（參考主體）子區(qū)段不被所述填充主體包圍。
18.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，其中，（所述參考主體的）所述第三（參考主體）子區(qū)段相對(duì)于相同的（參考主體）子區(qū)段的虛擬縱向軸線不是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的，特別是使得所述第三（參考主體）子區(qū)段具有圓形區(qū)段形狀的橫截面。
19.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述傳感器元件具有多個(gè)（自然）振動(dòng)模式，在所述多個(gè)（自然）振動(dòng)模式中，所述變形主體和/或所述參考主體各自以相應(yīng)的自然或諧振頻率圍繞相應(yīng)的靜態(tài)靜止位置執(zhí)行或能夠執(zhí)行（機(jī)械）振動(dòng)。
20.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
21.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
22.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
23.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，
24.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，
25.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的傳感器元件，
26.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，
27.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述傳感器腔體填充有（惰性）氣體，特別是氮?dú)夂?或惰性氣體。
28.根據(jù)權(quán)利要求1至26中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，其中，所述傳感器腔體被抽空。
29.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，還包括：（第一）連接線，所述（第一）連接線電連接到所述參考主體，特別是導(dǎo)電連接到所述參考主體。
30.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件，還包括：（第二）連接線，所述（第二）連接線電連接到所述主部件，特別是導(dǎo)電連接到所述主部件。
31.一種用于測(cè)量流體測(cè)量介質(zhì)、特別是氣體和/或液體的至少一個(gè)測(cè)量變量、特別是流動(dòng)參數(shù)或材料參數(shù)的測(cè)量系統(tǒng)，所述流體測(cè)量介質(zhì)特別是在管道中被引導(dǎo)和/或至少暫時(shí)具有大于100°c的（測(cè)量介質(zhì)）溫度和/或以大于10巴的壓力差作用在（所述傳感器元件的）所述變形主體上，所述測(cè)量系統(tǒng)包括：根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的傳感器元件和與其電連接的（測(cè)量）電子器件。
32.根據(jù)前一權(quán)利要求所述的測(cè)量系統(tǒng)，
33.根據(jù)前述權(quán)利要求中的一項(xiàng)所述的測(cè)量系統(tǒng)用于測(cè)量在管道中流動(dòng)的流體測(cè)量介質(zhì)、特別是蒸汽的流動(dòng)參數(shù)、特別是流速和/或體積流率和/或質(zhì)量流率的用途，所述流體測(cè)量介質(zhì)在大于100°c的（測(cè)量介質(zhì)）溫度下和/或以大于10巴的壓力差作用在（所述傳感器元件的）所述變形主體上。