本公開涉及位置檢測裝置。
背景技術(shù):
1、以往,提出了對被檢測體的位置進(jìn)行檢測的位置檢測裝置。例如,專利文獻(xiàn)1所記載的位置檢測裝置具備:安裝于基板的發(fā)送線圈及接收線圈;以及與該基板對置地配置的標(biāo)靶(target)等。接收線圈具有以旋渦狀形成有布線的多個旋渦部和將該多個旋渦部彼此電連接的連接線。該位置檢測裝置對發(fā)送線圈施加交流電流、基于與標(biāo)靶的變位量相應(yīng)地變化的接收線圈的特性值(例如輸出電壓)來檢測標(biāo)靶的位置。
2、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
3、專利文獻(xiàn)
4、專利文獻(xiàn)1:美國專利申請公開第2022/0011138a1號說明書
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、但是,在專利文獻(xiàn)1所記載的位置檢測裝置中,如果對發(fā)送線圈施加交流電流,則在接收線圈中的與標(biāo)靶的開口部對應(yīng)的部位,在旋渦部和連接線中發(fā)生感應(yīng)電流。本公開的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),在連接線中產(chǎn)生的感應(yīng)電流成為使與被檢測體的變位量相應(yīng)地變化的接收線圈的輸出電壓偏移的主要原因。如果該接收線圈的輸出電壓的偏移值從信號處理部(例如ic)的信號調(diào)整范圍偏離,則存在位置檢測的精度變差這樣的問題。另外,所述的偏移,是指與被檢測體的變位量相應(yīng)地變化的輸出電壓的波形的平均值從理想波形向正側(cè)或負(fù)側(cè)偏離。
2、本公開的目的在于提高位置檢測裝置的檢測精度。
3、根據(jù)本公開的一個觀點(diǎn),一種位置檢測裝置,該位置檢測裝置檢測能夠變位的被檢測體的位置,其具備:基板,與被檢測體對置地配置;發(fā)送線圈,在基板的面方向上延伸;以及接收線圈,具有多個旋渦部、連接線及并行線,所述多個旋渦部的布線形成為旋渦狀而在被檢測體的變位方向上排列,通過向發(fā)送線圈通電所引起的電磁感應(yīng)而感應(yīng)耦合,所述連接線將多個旋渦部彼此電連接,所述并行線與旋渦部及連接線電連接且與連接線并行。
4、由此,在對發(fā)送線圈施加交流電流的情況下,在連接線中流動的電流所產(chǎn)生的磁場的至少一部分與在并行線中流動的電流所產(chǎn)生的磁場的至少一部分相互抵消。因此,抑制了與被檢測體的變位量相應(yīng)地變化的接收線圈的特性值(例如輸出電壓)的波形從理想波形偏移。因而,該位置檢測裝置防止了接收線圈的特性值從信號處理部的調(diào)整范圍偏離,所以能夠提高檢測精度。
5、另外,在連接線中流動的電流所產(chǎn)生的磁場的至少一部分與在并行線中流動的電流所產(chǎn)生的磁場的至少一部分相互抵消,是指既可以是磁場的全部被抵消,或者也可以是磁場的一部分被抵消。
6、此外,該位置檢測裝置由于為接收線圈具有多個旋渦部的結(jié)構(gòu),所以能夠增大基板的每單位面積的接收線圈的布線的占有率(以下,稱作“占積率”)。因而,該位置檢測裝置能夠增大接收線圈的輸出電壓的振幅,能夠提高檢測精度。
7、另外,對于各構(gòu)成要素等賦予的帶括號的標(biāo)號表示該構(gòu)成要素等與在后述的實(shí)施方式中記載的具體的構(gòu)成要素等的對應(yīng)關(guān)系的一例。
1.一種位置檢測裝置,檢測能夠變位的被檢測體(10)的位置,
2.如權(quán)利要求1所述的位置檢測裝置,
3.如權(quán)利要求1所述的位置檢測裝置,
4.如權(quán)利要求1所述的位置檢測裝置,
5.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的位置檢測裝置,
6.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的位置檢測裝置,
7.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的位置檢測裝置,
8.如權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的位置檢測裝置,
9.如權(quán)利要求8所述的位置檢測裝置,