本發(fā)明關(guān)于一種傳感裝置及其制造方法，特別關(guān)于一種壓力傳感裝置及其制造方法。

背景技術(shù)：

隨著科技不斷的進(jìn)步，各種信息設(shè)備不斷地推陳出新，例如手機(jī)、平板電腦、超輕薄筆記本電腦、及衛(wèi)星導(dǎo)航等。除了一般以鍵盤或鼠標(biāo)輸入或操控之外，利用觸控式技術(shù)來操控信息設(shè)備是一種相當(dāng)直觀且受歡迎的操控方式。其中，觸控裝置具有人性化及直覺化的輸入操作介面，使得任何年齡層的使用者都可直接以手指或觸控筆選取或操控信息設(shè)備。

現(xiàn)今觸控技術(shù)多為二維(2d)平面的多點(diǎn)觸控(multi-touch)，其是利用例如手指碰觸顯示面而改變例如電容值來精確判斷手指的觸碰位置，進(jìn)而產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的控制功能。另外，除了二維平面的觸控技術(shù)中，為了感測(cè)垂直于顯示面(z軸)方向的按壓力道，已知技術(shù)一般是利用于顯示面上外貼一壓力傳感結(jié)構(gòu)來感測(cè)z軸方向的碰觸力道，從而實(shí)現(xiàn)3d觸控的目的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明提供一種壓力傳感裝置，包括一第一基板、一薄膜晶體管元件、一第一傳感元件、一第二傳感元件以及一可壓縮層。薄膜晶體管元件形成于第一基板的一第一表面。第一傳感元件形成于第一基板的一第二表面，且第二表面與第一表面為彼此相對(duì)的表面。第二傳感元件與第一傳感元件相對(duì)而設(shè)?？蓧嚎s層設(shè)置于第一傳感元件與第二傳感元件之間。

本發(fā)明提供一種壓力傳感裝置的制造方法，包括以下步驟：提供一第一基板；形成一薄膜晶體管元件于第一基板的一第一表面；提供一第二基板，并與第一基板相對(duì) 而設(shè)，且薄膜晶體管元件位于第一基板與第二基板之間；形成一第一傳感元件于第一基板的一第二表面，且第二表面與第一表面為彼此相對(duì)的表面；提供一第二傳感元件，并使第一傳感元件與第二傳感元件位于第一基板的同一側(cè)；以及提供一可壓縮層，并使可壓縮層夾置于第一傳感元件與第二傳感元件之間。

在一實(shí)施例中，第一傳感元件與第二傳感元件的其中之一為圖案化導(dǎo)電層。

在一實(shí)施例中，第一傳感元件與第二傳感元件分別為圖案化導(dǎo)電層。

在一實(shí)施例中，可壓縮層的材料包含光學(xué)膠、光學(xué)透明樹脂、光學(xué)彈性樹脂、硅膠，或包含一密封元件及一氣體層，且氣體層位于密封元件所圍設(shè)的空間內(nèi)。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一第二基板，其與第一基板相對(duì)而設(shè)，且薄膜晶體管元件位于第一基板與第二基板之間。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一第一偏光板與一第二偏光板，第一傳感元件設(shè)置于第一偏光板與第一基板之間，第二偏光板設(shè)置于第二基板遠(yuǎn)離第一基板的一側(cè)。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一觸控電極層，其設(shè)置于第二基板與第二偏光板之間。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一觸控電極層，其設(shè)置于第一基板與第二基板之間，且觸控電極層位于薄膜晶體管元件上。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一保護(hù)基板及一觸控電極層。保護(hù)基板與第二基板相對(duì)而設(shè)。觸控電極層設(shè)置于保護(hù)基板面向第二基板的表面。

在一實(shí)施例中，壓力傳感裝置更包括一背光模塊，其與第一基板相對(duì)而設(shè)，且可壓縮層設(shè)置于第一傳感元件與背光模塊之間，背光模塊包含一導(dǎo)光板、一反射板、至少一光學(xué)膜片及一背板，光學(xué)膜片與反射板分別設(shè)置于導(dǎo)光板的兩側(cè)，背板承載反射板、導(dǎo)光板及光學(xué)膜片。

在一實(shí)施例中，第二傳感元件為透明導(dǎo)電膜，并設(shè)置于導(dǎo)光板上。

在一實(shí)施例中，第二傳感元件為反射板或背板。

在一實(shí)施例中，在提供第二基板而與第一基板相對(duì)而設(shè)的步驟之后，形成第一傳感元件于第一基板的第二表面。

在一實(shí)施例中，在提供第二基板而與第一基板相對(duì)而設(shè)的步驟之前，形成第一傳感元件于第一基板的第二表面。

在一實(shí)施例中，制造方法更包括一步驟：使一觸控電極層夾置于第一基板與第二基板之間，且觸控電極層位于薄膜晶體管元件上。

在一實(shí)施例中，制造方法更包括以下步驟：提供一觸控電極層及一保護(hù)基板、將觸控電極層設(shè)置于保護(hù)基板面向第二基板的表面、及使具有觸控電極層的保護(hù)基板與第二基板相對(duì)而設(shè)。

在一實(shí)施例中，于使可壓縮層夾置于第一傳感元件與第二傳感元件之間的步驟之前，制造方法更包括以下步驟：提供一第一偏光板及一第二偏光板、使第一傳感元件夾置于第一偏光板與第一基板之間、及使第二偏光板設(shè)置于第二基板遠(yuǎn)離第一基板的一側(cè)。

在一實(shí)施例中，制造方法更包括一步驟：使一觸控電極層夾置于第二基板與第二偏光板之間。

在一實(shí)施例中，制造方法更包括以下步驟：提供一背光模塊，其中背光模塊包含一導(dǎo)光板、一反射板、至少一光學(xué)膜片及一背板，光學(xué)膜片與反射板分別設(shè)置于導(dǎo)光板的兩側(cè)，背板承載反射板、導(dǎo)光板及光學(xué)膜片、及使背光模塊與第一基板相對(duì)而設(shè)，并使可壓縮層夾置于第一傳感元件與背光模塊之間。

承上所述，于本發(fā)明的壓力傳感裝置及其制造方法中，通過將薄膜晶體管元件形成于第一基板的第一表面，并將第一傳感元件形成于第一基板的第二表面，且將第二傳感元件與第一傳感元件相對(duì)而設(shè)，而使第二傳感元件與第一傳感元件分別位于第一基板的同一側(cè)，并使可壓縮層設(shè)置于第一傳感元件與第二傳感元件之間，使得，當(dāng)按壓本發(fā)明的壓力傳感裝置時(shí)，可壓縮層將因按壓而產(chǎn)生形變，故第一傳感元件與第二傳感元件之間的電容值將產(chǎn)生變化。藉此，使得壓力傳感裝置可依據(jù)電容變化量判斷被按壓的位置及按壓力道，同時(shí)可依據(jù)按壓力道的大小來產(chǎn)生不同的控制功能。此外，本發(fā)明的壓力傳感裝置亦可搭配已知的2d觸控來實(shí)現(xiàn)3d觸控功能，從而增加產(chǎn)品于觸控功能上的運(yùn)用性。

附圖說明

圖1a為本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種壓力傳感裝置的示意圖。

圖1b為壓力傳感裝置被按壓時(shí)的示意圖。

圖2a為本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的壓力傳感裝置的示意圖。

圖2b為圖2a的壓力傳感裝置被按壓時(shí)的示意圖。

圖3a至圖3d分別為本發(fā)明不同實(shí)施態(tài)樣的壓力傳感裝置的示意圖。

圖4為本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種壓力傳感裝置的制造方法的流程步驟圖。

具體實(shí)施方式

以下將參照相關(guān)圖式，說明依本發(fā)明較佳實(shí)施例的壓力傳感裝置，其中相同的元件將以相同的參照符號(hào)加以說明。

請(qǐng)分別參照?qǐng)D1a及圖1b所示，其中，圖1a為本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種壓力傳感裝置1的示意圖，而圖1b為壓力傳感裝置1被按壓時(shí)的示意圖。

壓力傳感裝置1包括一顯示面板11、一第一傳感元件12、一可壓縮層13以及一第二傳感元件14。

顯示面板11可為液晶顯示面板(lcd)、有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板(oled)或發(fā)光二極管顯示面板(led)，并不限定。

顯示面板11具有一顯示面aa，并包含一第一基板111及一第二基板112，且第一基板111與第二基板112相對(duì)而設(shè)。其中，第一基板111具有鄰近顯示面aa的一第一表面s1及與第一表面s1相對(duì)的一第二表面s2(第二表面s2遠(yuǎn)離顯示面aa)。于此，第一表面s1為第一基板111的上表面，而第二表面s2為第一基板111的下表面，且第二基板112面向第一表面s1而與第一基板111相對(duì)而設(shè)。

第一傳感元件12設(shè)置于第一基板111的第二表面s2。于此，可在第一基板111的下表面形成第一傳感元件12后再與第二基板112進(jìn)行對(duì)組，或者先將第一基板111與第二基板112對(duì)組后，再于第一基板111的下表面形成第一傳感元件12，并不限制。于此，在第一基板111的下表面形成第一傳感元件12，并不限制第一傳感元件12是直接或間接形成于該下表面，第一傳感元件12與該下表面之間可具有其他膜層。在本實(shí)施例中，以光刻工藝將第一傳感元件12形成于第一基板111的下表面。

第二傳感元件14設(shè)置于可壓縮層13上而與第一傳感元件12相對(duì)而設(shè)，且第二傳感元件14與第一傳感元件12分別位于第一基板111的同一側(cè)，并使得可壓縮層13夾置于第一傳感元件12與第二傳感元件14之間。在未按壓時(shí)，由于第一傳感元件12與第二傳感元件14之間夾置有可壓縮層13，故第一傳感元件12、可壓縮層13與第二傳感元件14可形成一電容而具有一電容值。于此，壓力傳感裝置1的一控制 電路(圖未顯示)需先提供一電壓至第一傳感元件12或第二傳感元件14，使第一傳感元件12或第二傳感元件14具有一電位(可為接地電位或?yàn)榉墙拥仉娢?，進(jìn)而使第一傳感元件12與第二傳感元件14之間產(chǎn)生一初始電容值。

其中，第一傳感元件12與第二傳感元件14之間具有的電容值可為自電容(selfcapacitance)值或互電容(mutualcapacitance)值。在一實(shí)施態(tài)樣中，第一傳感元件12與第二傳感元件14的其中之一可為圖案化導(dǎo)電層，而第一傳感元件12與第二傳感元件14的其中另一可為整面的導(dǎo)電層(非圖案化導(dǎo)電層)，使得第一傳感元件12與第二傳感元件14之間的電容值為自電容值。在另一實(shí)施態(tài)樣中，第一傳感元件12與第二傳感元件14可分別為圖案化導(dǎo)電層，且兩者于俯視(垂直顯示面aa的z軸)方向上為交錯(cuò)設(shè)置，使得第一傳感元件12與第二傳感元件14的電容值為互電容值。本實(shí)施例的第一傳感元件12為圖案化導(dǎo)電層，而第二傳感元件14為整面的導(dǎo)電層(非圖案化導(dǎo)電層)，使得第一傳感元件12與第二傳感元件14之間的電容值為自電容值。

在本實(shí)施例中，當(dāng)顯示面板11為液晶顯示面板時(shí)，一顯示介質(zhì)層(圖未顯示)可夾置于第一基板111與第二基板112之間。于此，壓力傳感裝置1更包括一薄膜晶體管(tft)陣列115，薄膜晶體管陣列115包含多個(gè)薄膜晶體管元件(圖未顯示)，該些薄膜晶體管元件分別為開關(guān)元件，并形成于第一基板111的第一表面s1上，并位于第一基板111與第二基板112之間，使得第一基板111與薄膜晶體管陣列115組成薄膜晶體管(tft)基板，而第二基板112加上彩色濾光陣列(圖未顯示)可組成一彩色濾光基板，且顯示介質(zhì)層為液晶層。另外，一背光模塊(圖未顯示)可與顯示面板11相對(duì)而設(shè)，使得第一傳感元件12、可壓縮層13與第二傳感元件14可夾置于第一基板111與背光模塊之間(以下以另一實(shí)施例來詳細(xì)說明)。于此實(shí)施例中，第一傳感元件12與第二傳感元件14分別為透明導(dǎo)電材料，例如為銦錫氧化物(indium-tinoxide,ito)、銦鋅氧化物(indium-zincoxide,izo)、鋁鋅氧化物(aluminum-zincoxide,azo)、鎘錫氧化物(cto)、氧化錫(sno2)、鎵鋅氧化物(gzo)、銦鋅錫氧化物(izto)或鋅氧化物(zincoxide,zno)，并不限定。于此，薄膜晶體管元件形成于第一基板111的第一表面s1上，并不限制薄膜晶體管元件是直接或間接形成于第一基板111的第一表面s1上，薄膜晶體管元件與第一表面s1之間可具有其他膜層。在本實(shí)施例中，以光刻工藝將薄膜晶體管元件形成于第一表面s1。

在另一實(shí)施例中，若顯示面板11為有機(jī)發(fā)光二極管顯示面板時(shí)，則顯示介質(zhì)層為有機(jī)發(fā)光二極管層，第一基板111與薄膜晶體管陣列115組成薄膜晶體管基板。其中，若有機(jī)發(fā)光二極管層發(fā)出白光時(shí)，則第二基板112加上彩色濾光陣列可為一彩色濾光基板；或者，若有機(jī)發(fā)光二極管層發(fā)出例如紅色、綠色、藍(lán)色及白色光時(shí)，則第二基板112可為一保護(hù)基板(coverplate)，以保護(hù)有機(jī)發(fā)光二極管層不受外界水氣或異物的污染。于此實(shí)施例中，第一傳感元件12與第二傳感元件14可為透明導(dǎo)電材料或不透光的金屬層。

另外，可壓縮層13為絕緣材料，并可包含光學(xué)膠(例如oca或loca)、光學(xué)透明樹脂(例如ocr)、光學(xué)彈性樹脂(例如svr)、硅膠，或包含一密封元件及一氣體層(例如為空氣)，且氣體層位于密封元件所圍設(shè)的空間內(nèi)(圖未顯示)。其中，可壓縮層13的厚度可介于50微米(μm)與1000微米(μm)之間，較佳是介于100微米(μm)與500微米(μm)之間，更佳是介于150微米(μm)與250微米(μm)之間。本實(shí)施例的可壓縮層13是以光學(xué)膠為例，而其厚度例如為250微米(μm)。

因此，如圖1b所示，當(dāng)例如以手指按壓壓力傳感裝置1的顯示面aa時(shí)，可壓縮層13可因按壓而產(chǎn)生形變，故第一傳感元件12與第二傳感元件14之間的電容值將由初始電容值改變成一按壓電容值。壓力傳感裝置1的控制電路可依據(jù)按壓電容值與初始電容值的變化量(按壓力量越大，電容值的變化量越大)判斷顯示面板11被按壓的位置及按壓力道大小，而且控制電路更可依據(jù)按壓力道的大小產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的控制功能。例如當(dāng)按壓力量超過第一閥值且小于第二閥值時(shí)，其可為“選取”物件的功能；當(dāng)按壓力量超過第二閥值時(shí)，其可為“執(zhí)行”物件的功能；…，以此類推；設(shè)計(jì)者可依據(jù)實(shí)際需求而設(shè)計(jì)不同的按壓力道對(duì)應(yīng)于不同的功能。此外，判斷按壓電容值與初始電容值的變化量(可稱為壓力傳感信號(hào))的控制電路可以獨(dú)立成一集成電路(ic)，或整合于顯示面板11的驅(qū)動(dòng)ic內(nèi)，本發(fā)明并不限制。

另外，請(qǐng)分別參照?qǐng)D2a及圖2b所示，其中，圖2a為本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的壓力傳感裝置2的示意圖，而圖2b為圖2a的壓力傳感裝置2被按壓時(shí)的示意圖。

壓力傳感裝置2包括一顯示面板21、一第一傳感元件22、一可壓縮層23以及一第二傳感元件24。于此，顯示面板21是以液晶顯示面板為例，故壓力傳感裝置2更包括一背光模塊25。

顯示面板21具有一顯示面aa，并包含一第一基板211、一第二基板212及一顯 示介質(zhì)層lc。第一基板211與第二基板212相對(duì)而設(shè)，顯示介質(zhì)層lc(于此為液晶層)夾設(shè)于第一基板211與第二基板212之間。其中，第一基板211及第二基板212為透光材質(zhì)制成，并例如為一玻璃基板、一石英基板或一塑膠基板，并不限定。

第一基板211具有鄰近顯示面aa的第一表面s1及與第一表面s1相對(duì)的第二表面s2。于此，第一表面s1為第一基板211的上表面，而第二表面s2為第一基板211的下表面，且第二基板212面向第一表面s1而與第一基板211相對(duì)而設(shè)。另外，壓力傳感裝置2更包括一薄膜晶體管(tft)陣列215，薄膜晶體管陣列215包含多個(gè)薄膜晶體管元件(圖未顯示)，該些薄膜晶體管元件分別為開關(guān)元件，并設(shè)置于第一基板211的第一表面s1上，使得第一基板211與薄膜晶體管陣列215組成一薄膜晶體管基板，而第二基板212加上彩色濾光陣列(圖未顯示)可為一彩色濾光基板。不過，在其他的實(shí)施態(tài)樣中，彩色濾光基板上的黑色矩陣(blackmatrix)及濾光層也可分別設(shè)置于薄第一基板211上，使得第一基板211成為一boa(bmonarray)基板，或成為一coa(colorfilteronarray)基板，并不限制。

本實(shí)施例的顯示面板21更包含一第一偏光板213與一第二偏光板214)，第一偏光板213為下偏光板，而第二偏光板214為上偏光板。其中，第一偏光板213(下偏光板)設(shè)置于第一基板211遠(yuǎn)離第二基板212的一側(cè)，且第二偏光板214(上偏光板)設(shè)置于第二基板212遠(yuǎn)離第一基板211的一側(cè)。于此，第一偏光板213設(shè)置于第一傳感元件22上，使得第一傳感元件22夾置于第一偏光板213與第一基板211之間，而第二偏光板214則貼合于第二基板212的上側(cè)表面。

第一傳感元件22設(shè)置于第一基板211的第二表面s2上。于此，可在第一基板211的下表面形成第一傳感元件22后再與顯示介質(zhì)層lc及第二基板212進(jìn)行對(duì)組，或者先將第一基板211、顯示介質(zhì)層lc與第二基板212對(duì)組后，再于第一基板211的下表面形成第一傳感元件22，并不限定。

第二傳感元件24設(shè)置于可壓縮層23而與第一傳感元件22相對(duì)而設(shè)，且第二傳感元件24與第一傳感元件22分別位于第一基板211的同一側(cè)(下側(cè))，并使得可壓縮層23夾置于第一傳感元件22與第二傳感元件24之間。本實(shí)施例的可壓縮層23是以光學(xué)膠為例。在未按壓時(shí)，由于第一傳感元件22與第二傳感元件24之間夾置有可壓縮層23，故第一傳感元件22、可壓縮層23與第二傳感元件24可形成一電容而具有一電容值。于此，壓力傳感裝置2的一控制電路(圖未顯示)需先提供一電壓至 第一傳感元件22或第二傳感元件24，使第一傳感元件22或第二傳感元件24具有一電位(可為接地電位或具有非零電壓的電位)，進(jìn)而使第一傳感元件22與第二傳感元件24之間產(chǎn)生一初始電容值。

第一傳感元件22與第二傳感元件24之間具有的電容值可為自電容值或互電容值。在本實(shí)施例中，第一傳感元件22為圖案化導(dǎo)電層，而第二傳感元件24為整面的導(dǎo)電層(非圖案化導(dǎo)電層)，使得第一傳感元件22與第二傳感元件24之間的電容值為自電容值。在另一實(shí)施態(tài)樣中，第一傳感元件22與第二傳感元件24可分別為圖案化導(dǎo)電層，且兩者可于俯視(垂直顯示面aa的z軸)方向上為交錯(cuò)設(shè)置，使得第一傳感元件22與第二傳感元件24的電容值為互電容值。此外，本實(shí)施例的第一傳感元件22與第二傳感元件24分別為一透明導(dǎo)電膜為例。

背光模塊25面向可壓縮層23而與顯示面板21的第一基板211相對(duì)設(shè)置，且可壓縮層23設(shè)置于第一傳感元件22與背光模塊25之間。其中，背光模塊25可發(fā)出光線入射至顯示面板21，使顯示面板21可顯示影像。本實(shí)施例的背光模塊25包含一導(dǎo)光板251、一反射板252、多個(gè)光學(xué)膜片(以253表示)及一背板254。背板254用以承載導(dǎo)光板251、反射板252及該些光學(xué)膜片253，并提供碰撞、電磁波或電擊等保護(hù)。背板254的材質(zhì)可以選用塑膠、金屬或合金等，并不加以限制。反射板252與該些光學(xué)膜片253分別設(shè)置于導(dǎo)光板251的相對(duì)兩側(cè)。另外，本實(shí)施例是以三片光學(xué)膜片253為例，例如但不限于為集光片或擴(kuò)散片。由于背光模塊25為已知技術(shù)，熟知液晶顯示裝置的技術(shù)人員，當(dāng)可了解其與顯示面板21的相對(duì)設(shè)置關(guān)系及各元件的功能，本發(fā)明不再贅述。

此外，第二傳感元件24可貼合于背光膜組25的光學(xué)膜片253上，或設(shè)置于背光模塊25的該些光學(xué)膜片253之間。本實(shí)施例的第二傳感元件24是以貼合于最接近可壓縮膜23的光學(xué)膜片253上為例。在不同的實(shí)施例中，亦可將第二傳感元件24形成于一透光基板上，再將透光基板貼合于光學(xué)膜片253上，本發(fā)明亦不限制。

因此，如圖2b所示，當(dāng)例如以手指按壓壓力傳感裝置2的顯示面aa時(shí)，可壓縮層23可因按壓而產(chǎn)生形變，故第一傳感元件22與第二傳感元件24之間的電容值將由初始電容值改變成一按壓電容值。壓力傳感裝置2的控制電路可依據(jù)按壓電容值與初始電容值的變化量(按壓力量越大，電容值的變化量越大)判斷顯示面板21被按壓的位置及按壓力道大小，而且控制電路更可依據(jù)按壓力道的大小產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的控制 功能。例如當(dāng)按壓力量超過第一閥值且小于第二閥值時(shí)，其可為“選取”物件的功能；當(dāng)按壓力量超過第二閥值時(shí)，其可為“執(zhí)行”物件的功能；…，以此類推；設(shè)計(jì)者可依據(jù)實(shí)際需求而設(shè)計(jì)不同的按壓力道對(duì)應(yīng)于不同的功能。此外，判斷按壓電容值與初始電容值的變化量(可稱為壓力傳感信號(hào))的控制電路可以獨(dú)立成一集成電路(ic)，或整合于顯示面板21的驅(qū)動(dòng)ic內(nèi)，本發(fā)明并不限制。

特別一提的是，在不同的實(shí)施態(tài)樣中，若反射板252包含可導(dǎo)電的金屬膜，或背板254為可導(dǎo)電的金屬或合金時(shí)，則可將會(huì)導(dǎo)電的反射板252或背板254當(dāng)成第二傳感元件24來使用，不需另外設(shè)置第二傳感元件24。

請(qǐng)分別參照?qǐng)D3a至圖3d所示，其分別為本發(fā)明不同實(shí)施態(tài)樣的壓力傳感裝置2a～2d的示意圖。

如圖3a所示，與圖2a的壓力傳感裝置2主要的不同在于，壓力傳感裝置2a的可壓縮層23包含一氣體層231(例如為空氣)及一密封元件232，密封元件232環(huán)設(shè)于偏光板213與背光模塊25的外圍，且氣體層231位于密封元件232、顯示面板21與第二傳感元件24所圍設(shè)的空間內(nèi)。于此，密封元件232例如但不限于與密封液晶層的材料相同，并例如為框膠(sealant)、玻璃膠(frit)或其他有機(jī)或無機(jī)高分子材料。

另外，如圖3b所示，與圖2a的壓力傳感裝置2主要的不同在于，壓力傳感裝置2b更包括一觸控電極層26。其中，觸控電極層26的材料可為透明導(dǎo)電材料，例如為銦錫氧化物(ito)、銦鋅氧化物(izo)、鋁鋅氧化物(azo)、鎘錫氧化物(cto)、氧化錫(sno2)、鎵鋅氧化物(gzo)、銦鋅錫氧化物(izto)或鋅氧化物(zno)，并設(shè)置于第二基板212與偏光板214之間，使得壓力傳感裝置2b為一內(nèi)嵌式觸控裝置(于此為oncell)。不過，在不同的實(shí)施態(tài)樣中，觸控電極層26可設(shè)置于偏光板214與第二基板212之間，并不限制。

另外，如圖3c所示，與圖2a的壓力傳感裝置2主要的不同在于，壓力傳感裝置2c更包括一觸控電極層26。其中，觸控電極層26的材料可為透明導(dǎo)電材料，例如為銦錫氧化物(ito)、銦鋅氧化物(izo)、鋁鋅氧化物(azo)、鎘錫氧化物(cto)、氧化錫(sno2)、鎵鋅氧化物(gzo)、銦鋅錫氧化物(izto)或鋅氧化物(zno)，并設(shè)置于第一基板211與第二基板212之間。于此，觸控電極層26是以設(shè)置于第一基板211的第二表面s2之上，并位于薄膜晶體管陣列215上為例，使得壓力傳感裝 置2c為一內(nèi)嵌式觸控裝置(于此為incell)。于此，觸控電極層26可電性連接薄膜晶體管陣列215，亦可不電性連接薄膜晶體管陣列215，其會(huì)根據(jù)不同的觸控結(jié)構(gòu)而有所變化。

另外，如圖3d所示，與圖3b的壓力傳感裝置2b主要的不同在于，壓力傳感裝置2d更包括一保護(hù)基板27，保護(hù)基板27與第二基板212相對(duì)而設(shè)，且觸控電極層26設(shè)置于保護(hù)基板27面向顯示面板21的第二基板212的表面上，使得壓力傳感裝置2b為一外掛單片式玻璃(oneglasssolution,ogs)觸控裝置。在不同的實(shí)施例中，亦可于壓力傳感裝置2、2a、2b、2c之上設(shè)置保護(hù)基板27，以保護(hù)壓力傳感裝置2、2a、2b、2c免于水氣或異物的入侵。

此外，壓力傳感裝置2a～2d的其他技術(shù)特征可參照壓力傳感裝置2的相同元件，于此不再贅述。

因此，在壓力傳感裝置2a～2d中，除了原本利用可壓縮層13產(chǎn)生形變來檢測(cè)z軸方向的壓力傳感信號(hào)之外，更可搭配觸控電極層26的設(shè)置來實(shí)現(xiàn)3d的觸控功能，從而增加產(chǎn)品于觸控功能的運(yùn)用性。

請(qǐng)參照?qǐng)D4并配合圖2a、圖3b至圖3d所示，以說明本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種壓力傳感裝置的制造方法。其中，圖4為本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種壓力傳感裝置的制造方法的流程步驟圖。另外，壓力傳感裝置2、2b～2d的技術(shù)特征及其變化態(tài)樣已于上述中詳述，不再贅述。

如圖4所示，壓力傳感裝置的制造方法可包括步驟s01至步驟s06。

首先，如圖2a所示，步驟s01為：提供一第一基板211。接著，步驟s02為：形成一薄膜晶體管元件于第一基板211的一第一表面s1上。于此，形成薄膜晶體管陣列215于第一基板211的第一表面s1上，其中，薄膜晶體管陣列215包含多個(gè)薄膜晶體管元件。接著，進(jìn)行步驟s03：提供一第二基板212，并與第一基板211相對(duì)而設(shè)，且薄膜晶體管元件位于第一基板211與第二基板212之間。另外，更使顯示介質(zhì)層lc夾置于第一基板211與第二基板212之間。接著，進(jìn)行步驟s04：形成一第一傳感元件22于第一基板211的第二表面s2，且第二表面s2與第一表面s1為彼此相對(duì)的表面。

在一實(shí)施例中，在提供第二基板212而與第一基板211相對(duì)而設(shè)的步驟s04之前，形成該第一傳感元件22于第一基板211的第二表面s2。在另一實(shí)施例中，在形成第 一傳感元件22于第二表面s2上的步驟s04之后，形成該第一傳感元件22于第一基板211的第二表面s2。換言之，可于第一基板211與第二基板212進(jìn)行對(duì)組之前或進(jìn)行對(duì)組之后形成第一傳感元件22于第一基板211的第二表面s2上，本發(fā)明并不限定。

之后，進(jìn)行：提供第二傳感元件24，并使第一傳感元件22與第二傳感元件24位于第一基板211的同一側(cè)(步驟s05)、及提供可壓縮層23，并使可壓縮層23夾置于第一傳感元件22與第二傳感元件24之間(步驟s06)。不過，于使可壓縮層23夾置于第一傳感元件22與第二傳感元件24之間的步驟s06之前，如圖2a所示，制造方法更可包括：提供第一偏光板213及第二偏光板214、使第一傳感元件22夾置于第一偏光板213與第一基板211之間、及使第二偏光板214設(shè)置于第二基板212遠(yuǎn)離第一基板211的一側(cè)。

接著，制造方法更可包括以下步驟：提供一背光模塊25，其中背光模塊25包含一導(dǎo)光板251、一反射板252、至少一光學(xué)膜片253及一背板254，光學(xué)膜片253與反射板252分別設(shè)置于導(dǎo)光板251的兩側(cè)，背板254承載反射板252、導(dǎo)光板251及光學(xué)膜片、及使背光模塊25與顯示面板21的第一基板211相對(duì)而設(shè)，并使可壓縮層23夾置于第一傳感元件22與背光模塊25之間。本實(shí)施例的第二傳感元件24為透明導(dǎo)電膜，并設(shè)置于導(dǎo)光板251上，且第二傳感元件24與導(dǎo)光板251之間具有至少一個(gè)光學(xué)膜片253。在不同的實(shí)施例中，第二傳感元件24為透明導(dǎo)電膜，并可直接設(shè)置于導(dǎo)光板251上，而第二傳感元件24上可具有至少一個(gè)光學(xué)膜片253。在不同的實(shí)施例中，可不設(shè)置第二傳感元件24，而將會(huì)導(dǎo)電的反射板252或背板254當(dāng)成第二傳感元件24。

另外，在一實(shí)施例中，如圖3b所示，制造方法更可包括一步驟：使觸控電極層26夾置于第二基板212與第二偏光板214之間。另外，在另一實(shí)施例中，如圖3c所示，制造方法更可包括一步驟：使觸控電極層26夾置于第一基板211與第二基板212之間，且觸控電極層26位于薄膜晶體管元件上。此外，在又一實(shí)施例中，如圖3d所示，制造方法更可包括以下步驟：提供觸控電極層26及保護(hù)基板27(保護(hù)玻璃)、將觸控電極層26設(shè)置于保護(hù)基板27面向第二基板212的表面、及使具有觸控電極層26的保護(hù)基板27與第二基板212相對(duì)而設(shè)。

此外，壓力傳感裝置的制造方法的其他技術(shù)特征可參照上述壓力傳感裝置2、2a～ 2d的說明，本發(fā)明不再贅述。

綜上所述，于本發(fā)明的壓力傳感裝置及其制造方法中，通過將薄膜晶體管元件設(shè)置于第一基板的第一表面，并將第一傳感元件設(shè)置于第一基板的第二表面，且將第二傳感元件與第一傳感元件相對(duì)而設(shè)，而使第二傳感元件與第一傳感元件分別位于第一基板的同一側(cè)，并使可壓縮層設(shè)置于第一傳感元件與第二傳感元件之間，使得，當(dāng)按壓本發(fā)明的壓力傳感裝置時(shí)，可壓縮層將因按壓而產(chǎn)生形變，故第一傳感元件與第二傳感元件之間的電容值將產(chǎn)生變化。藉此，使得壓力傳感裝置可依據(jù)電容變化量判斷被按壓的位置及按壓力道，同時(shí)可依據(jù)按壓力道的大小來產(chǎn)生不同的控制功能。此外，本發(fā)明的壓力傳感裝置亦可搭配已知的2d觸控來實(shí)現(xiàn)3d觸控功能，從而增加產(chǎn)品于觸控功能上的運(yùn)用性。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇，而對(duì)其進(jìn)行的等效修改或變更，均應(yīng)包含于權(quán)利要求范圍中。