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壓力傳感裝置及其制造方法與流程

文檔序號:11544784閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種壓力傳感裝置包括一第一基板、一薄膜晶體管元件、一第一傳感元件、一第二傳感元件以及一可壓縮層。薄膜晶體管元件形成于第一基板的一第一表面。第一傳感元件形成于第一基板的一第二表面,且第二表面與第一表面為彼此相對的表面。第二傳感元件與第一傳感元件相對而設(shè),且第二傳感元件與第一傳感元件分別位于第一基板的同一側(cè)??蓧嚎s層設(shè)置于第一傳感元件與第二傳感元件之間。藉此,本發(fā)明可使得壓力傳感裝置可依據(jù)電容變化量判斷被按壓的位置及按壓力道,同時可依據(jù)按壓力道的大小來產(chǎn)生不同的控制功能。同時,本發(fā)明亦揭露一種壓力傳感裝置的制造方法。

技術(shù)研發(fā)人員:林舜茂;陳柏仰;姚怡安
受保護的技術(shù)使用者:群創(chuàng)光電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.02.05
技術(shù)公布日:2017.08.15
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