本發(fā)明涉及多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法、多帶電粒子射束描繪裝置、多帶電粒子射束描繪方法以及程序(或非暫時地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì))，例如涉及多射束描繪中產(chǎn)生的抗蝕劑熱化的修正方法。

背景技術(shù)：

1、承載半導(dǎo)體器件的微細(xì)化發(fā)展的光刻技術(shù)是半導(dǎo)體制造工藝中生成唯一圖案的極其重要的工藝。近年來，隨著lsi的高集成化，半導(dǎo)體器件所要求的電路線寬逐年微細(xì)化。這里，電子線(電子射束)描繪技術(shù)具有本質(zhì)上優(yōu)異的分辨率，進行使用電子射束在晶片等上進行描繪的處理。

2、例如，有使用多射束的描繪裝置。與用1根電子射束描繪的情況相比，通過使用多射束，一次能夠照射很多射束，因此能夠大幅提高吞吐量。在該多射束方式的描繪裝置中，例如，使從電子槍放出的電子射束通過具有多個孔的掩模而形成多射束，分別被進行消隱控制、未被遮蔽的各射束在光學(xué)系統(tǒng)中被縮小，由偏轉(zhuǎn)器偏轉(zhuǎn)并照射到試樣上的所希望的位置。

3、在此，在使用電子射束的描繪中，存在如下問題：如果想將照射能的量用更高密度的電子射束在短時間內(nèi)照射，則產(chǎn)生基板溫度過熱而抗蝕劑靈敏度變化、線寬精度惡化的被稱為抗蝕劑熱化的現(xiàn)象(例如，參照專利文獻1)。例如，在單射束描繪中，采用了累積一根射束對過去的每個發(fā)射的溫度上升的影響來決定當(dāng)前的發(fā)射的劑量修正量的方法。但是，在多射束描繪中，由于使用了多個射束，所以在累積過去的每個發(fā)射和每個射束的溫度上升的影響的方法中，計算量變得龐大。另外，在多射束描繪中，由于多個射束同時被發(fā)射，所以需要考慮來自位于同時被照射的大范圍區(qū)域的其他多個射束的溫度上升的影響。

4、現(xiàn)有技術(shù)文獻

5、專利文獻

6、專利文獻1：日本特表2003-503837號公報

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的技術(shù)問題

2、本發(fā)明的一個方式提供了一種在多射束描繪中不累積每個發(fā)射和每個射束的溫度上升的影響而能夠修正抗蝕劑熱化的裝置和方法。

3、用于解決技術(shù)問題的手段

4、本發(fā)明一個方式的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法，其特征在于，

5、針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進方向及與描繪行進方向線性獨立的方向上分割而成的多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個，計算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值，

6、通過由供試樣載置的載物臺的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的射束陣列區(qū)域的描繪行進方向的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計算并輸出射束照射引起的熱對多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個賦予的上升溫度的代表值作為多個網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度。

7、本發(fā)明一個方式的多帶電粒子射束描繪方法，

8、使用利用由上述的有效溫度計算方法求出的有效溫度計算出的修正量對試樣描繪圖案，

9、利用多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個中的有效溫度，計算出對多帶電粒子射束中的對作為多個網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進行照射的多個射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進行修正的修正量，

10、使用修正量對試樣描繪圖案。

11、本發(fā)明一種方式的非暫時記錄使計算機執(zhí)行的程序的可讀取的記錄介質(zhì)，非暫時記錄使計算機執(zhí)行以下功能的程序：

12、針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進方向及與描繪行進方向線性獨立的方向上分割而成的多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個，計算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值的功能；以及

13、通過由供試樣載置的載物臺的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的描繪行進方向的射束陣列區(qū)域的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計算射束照射引起的熱對多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個賦予的上升溫度的代表值作為多個網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度的功能。

14、本發(fā)明的其他方式的非暫時記錄使計算機執(zhí)行的程序的可讀取的記錄介質(zhì)，非暫時記錄使計算機執(zhí)行以下功能的程序：

15、上述各功能；

16、利用多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個中的有效溫度，計算出對多帶電粒子射束中的對作為多個網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進行照射的多個射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進行修正的修正量的功能；以及

17、使用修正量對試樣描繪圖案的功能。

18、本發(fā)明一個方式的多帶電粒子射束描繪裝置，其特征在于，具備：

19、劑量代表值計算電路，針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進方向及與描繪行進方向線性獨立的方向上分割而成的多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個，計算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值；

20、有效溫度計算電路，通過由供試樣載置的載物臺的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的射束陣列區(qū)域的描繪行進方向的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計算射束照射引起的熱對多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個賦予的上升溫度的代表值作為多個網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度；

21、修正量計算電路，利用多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個中的有效溫度，計算出對多帶電粒子射束中的對作為多個網(wǎng)格區(qū)域之一的關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域進行照射的多個射束的劑量或在關(guān)注網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)描繪的圖形的圖案數(shù)據(jù)進行修正的修正量；以及

22、描繪機構(gòu)，使用所計算出的修正量，對試樣描繪圖案。

23、發(fā)明的效果

24、根據(jù)本發(fā)明的一個方式，在多射束描繪中，不累積每一個發(fā)射和每一個射束的溫度上升的影響，能夠修正抗蝕劑熱化。

技術(shù)特征：

1.一種多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法，其特征在于，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法，其特征在于，

4.一種多帶電粒子射束描繪方法，使用利用由權(quán)利要求1所述的有效溫度計算方法求出的所述有效溫度計算出的修正量對所述試樣描繪圖案，其特征在于，

5.一種記錄介質(zhì)，是非暫時地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì)，該程序用于使計算機執(zhí)行以下功能：

6.一種記錄介質(zhì)，是非暫時地記錄程序的可讀取的記錄介質(zhì)，該程序用于使計算機執(zhí)行以下功能：

7.一種多帶電粒子射束描繪裝置，其特征在于，具備：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供在多帶電粒子射束描繪中不進行將每個發(fā)射和每個射束的溫度上升的影響累積的龐大的計算而能夠修正抗蝕劑熱化的方法。多帶電粒子射束描繪區(qū)域的有效溫度計算方法，針對將由多帶電粒子射束照射的試樣的描繪區(qū)域在描繪行進方向及與描繪行進方向線性獨立的方向上分割而成的多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個，計算對該網(wǎng)格區(qū)域內(nèi)進行照射的射束的劑量的代表值作為劑量代表值(S108)；通過由供試樣載置的載物臺的速度、多帶電粒子射束的試樣的面上的射束陣列區(qū)域的描繪行進方向的尺寸所決定的內(nèi)核與劑量代表值的卷積處理，分別計算射束照射引起的熱對多個網(wǎng)格區(qū)域的每一個賦予的上升溫度的代表值作為多個網(wǎng)格區(qū)域各自的有效溫度(S112)。

技術(shù)研發(fā)人員：野村春之,森紳悟
受保護的技術(shù)使用者：紐富來科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/22