本發(fā)明涉及硅片加工，尤其涉及一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、目前，硅片工藝必不可少的使用花籃、石墨舟等載具進行不同工藝工序切換。一般要求將硅片從花籃轉(zhuǎn)到石墨舟以及石墨舟轉(zhuǎn)到花籃兩種自動化需求。隨著硅片工業(yè)化生產(chǎn)，對自動化取放產(chǎn)能要求越來越高。

2、現(xiàn)有技術(shù)，申請?zhí)枮椋篶n2020213798129一種硅片取放機構(gòu)，其采用夾取的方式進行轉(zhuǎn)移，在將片藍內(nèi)的硅片一片片進行翻轉(zhuǎn)，并放置到另一組片藍中，進行下部工作，此效率低下，耗時長。

3、因此需要設(shè)計出一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)解決以上問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是，提供一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，以克服目前現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

3、一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其包括設(shè)備殼體，其特征在于：還包括設(shè)置在所述設(shè)備殼體平臺上的轉(zhuǎn)動單元、置于所述設(shè)備殼體內(nèi)且置于所述轉(zhuǎn)動單元中間的頂升機構(gòu)、以及設(shè)置在所述頂升機構(gòu)上方用來夾持硅片的夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)包括驅(qū)動滑軌、通過滑塊滑動安裝在驅(qū)動滑軌上的驅(qū)動塊、配合所述驅(qū)動塊螺紋連接的夾持絲桿模組、驅(qū)動所述夾持絲桿模組驅(qū)動的驅(qū)動電機、通過軸可轉(zhuǎn)動分別設(shè)置在所述驅(qū)動塊兩端的連桿、一端通過軸可轉(zhuǎn)動安裝在設(shè)備殼體后表面且另一端與所述連桿相接通的驅(qū)動桿、以及與所述驅(qū)動桿相互連接且受所述驅(qū)動桿驅(qū)動翻轉(zhuǎn)的夾持塊。

4、優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動單元包括安裝在所述設(shè)備殼體底面的電機安裝座、安裝在所述電機安裝座上的轉(zhuǎn)動電機、受所述轉(zhuǎn)動電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動的主傳動輥、對應(yīng)所述主傳動輥設(shè)置且通過傳輸帶相互纏繞設(shè)置的從動傳動輥、通過連軸與所述從動傳動輥相連接的轉(zhuǎn)軸、配合所述轉(zhuǎn)動安裝的轉(zhuǎn)動板。

5、優(yōu)選的，在所述轉(zhuǎn)動板上設(shè)置若干組限位塊，且在所述限位塊的側(cè)邊還設(shè)置有感應(yīng)器。

6、優(yōu)選的，在所述轉(zhuǎn)動板上開設(shè)有用于配合頂升機構(gòu)使用的避讓槽。

7、優(yōu)選的，所述頂升機構(gòu)包括設(shè)置在所述設(shè)備殼體內(nèi)的頂升安裝塊、設(shè)置在所述頂升安裝塊側(cè)邊的滑軌、設(shè)置在所述頂升安裝塊上且對應(yīng)所述滑軌設(shè)置的絲桿模組、螺紋安裝在絲桿模組上且側(cè)邊通過滑塊滑動安裝在滑軌上的滑動塊、驅(qū)動所述絲桿模組轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元、以及安裝在所述滑動塊上的頂升塊。

8、優(yōu)選的，所述頂升塊由兩塊豎直板塊組成，且左右對稱設(shè)置，所述豎直板塊的頂部呈傾斜角設(shè)置。

9、優(yōu)選的，在所述夾持塊外還設(shè)置有夾持安裝座、所述夾持塊的另一端通過轉(zhuǎn)軸與所述夾持安裝座進行安裝，在所述夾持塊的內(nèi)壁設(shè)置有夾持治具，所述夾持治具上開設(shè)有配合硅片安裝的夾持槽

10、本發(fā)明的有益效果是：本技術(shù)方案通過頂升機構(gòu)將內(nèi)部的硅片頂出，與片籃分離，再通過轉(zhuǎn)動片籃，翻轉(zhuǎn)180°，再將硅片放入翻轉(zhuǎn)后的片籃中，從而實現(xiàn)對硅片的翻轉(zhuǎn)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一次性翻轉(zhuǎn)全部硅片，從而提高效率，大大節(jié)約了加工時間。

技術(shù)特征：

1.一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其包括設(shè)備殼體，其特征在于：還包括設(shè)置在所述設(shè)備殼體平臺上的轉(zhuǎn)動單元、置于所述設(shè)備殼體內(nèi)且置于所述轉(zhuǎn)動單元中間的頂升機構(gòu)、以及設(shè)置在所述頂升機構(gòu)上方用來夾持硅片的夾持機構(gòu)，所述夾持機構(gòu)包括驅(qū)動滑軌、通過滑塊滑動安裝在驅(qū)動滑軌上的驅(qū)動塊、配合所述驅(qū)動塊螺紋連接的夾持絲桿模組、驅(qū)動所述夾持絲桿模組驅(qū)動的驅(qū)動電機、通過軸可轉(zhuǎn)動分別設(shè)置在所述驅(qū)動塊兩端的連桿、一端通過軸可轉(zhuǎn)動安裝在設(shè)備殼體后表面且另一端與所述連桿相接通的驅(qū)動桿、以及與所述驅(qū)動桿相互連接且受所述驅(qū)動桿驅(qū)動翻轉(zhuǎn)的夾持塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動單元包括安裝在所述設(shè)備殼體底面的電機安裝座、安裝在所述電機安裝座上的轉(zhuǎn)動電機、受所述轉(zhuǎn)動電機驅(qū)動轉(zhuǎn)動的主傳動輥、對應(yīng)所述主傳動輥設(shè)置且通過傳輸帶相互纏繞設(shè)置的從動傳動輥、通過連軸與所述從動傳動輥相連接的轉(zhuǎn)軸、配合所述轉(zhuǎn)動安裝的轉(zhuǎn)動板。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：在所述轉(zhuǎn)動板上設(shè)置若干組限位塊，且在所述限位塊的側(cè)邊還設(shè)置有感應(yīng)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：在所述轉(zhuǎn)動板上開設(shè)有用于配合頂升機構(gòu)使用的避讓槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述頂升機構(gòu)包括設(shè)置在所述設(shè)備殼體內(nèi)的頂升安裝塊、設(shè)置在所述頂升安裝塊側(cè)邊的滑軌、設(shè)置在所述頂升安裝塊上且對應(yīng)所述滑軌設(shè)置的絲桿模組、螺紋安裝在絲桿模組上且側(cè)邊通過滑塊滑動安裝在滑軌上的滑動塊、驅(qū)動所述絲桿模組轉(zhuǎn)動的驅(qū)動單元、以及安裝在所述滑動塊上的頂升塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述頂升塊由兩塊豎直板塊組成，且左右對稱設(shè)置，所述豎直板塊的頂部呈傾斜角設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：在所述夾持塊外還設(shè)置有夾持安裝座、所述夾持塊的另一端通過轉(zhuǎn)軸與所述夾持安裝座進行安裝，在所述夾持塊的內(nèi)壁設(shè)置有夾持治具，所述夾持治具上開設(shè)有配合硅片安裝的夾持槽。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于硅片翻面的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)。其包括設(shè)備殼體、設(shè)置在所述設(shè)備殼體平臺上的轉(zhuǎn)動單元、置于所述設(shè)備殼體內(nèi)且置于所述轉(zhuǎn)動單元中間的頂升機構(gòu)、以及設(shè)置在所述頂升機構(gòu)上方用來夾持硅片的夾持機構(gòu)。本發(fā)明的有益之處：本技術(shù)方案通過頂升機構(gòu)將內(nèi)部的硅片頂出，與片籃分離，再通過轉(zhuǎn)動片籃，翻轉(zhuǎn)180°，再將硅片放入翻轉(zhuǎn)后的片籃中，從而實現(xiàn)對硅片的翻轉(zhuǎn)，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一次性翻轉(zhuǎn)全部硅片，從而提高效率，大大節(jié)約了加工時間。

技術(shù)研發(fā)人員：王致壬,鐘秋振,邵宇洋
受保護的技術(shù)使用者：友上智能科技（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15