本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀，尤其是涉及一種質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置。

背景技術(shù)：

1、質(zhì)譜儀是分離和檢測(cè)不同同位素的儀器，即根據(jù)帶電粒子在電磁場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成的一類(lèi)儀器。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀；按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。

2、質(zhì)譜儀的主要部件都是在真空環(huán)境中工作，樣品分子在離子源中被電離，再通過(guò)質(zhì)量分析器到達(dá)電子倍增管，離子再轉(zhuǎn)化成電子信號(hào)輸出，整個(gè)離子路徑都處在高真空環(huán)境下，其中質(zhì)量分析器需要接入高電壓形成一個(gè)穩(wěn)定電場(chǎng)，進(jìn)而對(duì)有效離子進(jìn)行篩選，這就需要一個(gè)真空密封高壓連接裝置將外界電壓傳輸至真空環(huán)境中，同時(shí)這種真空密封高壓連接裝置在高電壓傳輸時(shí)還需要避免放電發(fā)生，以免影響儀器信號(hào)穩(wěn)定性。

3、現(xiàn)有質(zhì)譜儀上的真空密封高壓連接裝置，其高壓連接器大多采用陶瓷金屬焊接而成，而固定裝置則采用壓塊結(jié)構(gòu)；在質(zhì)譜儀腔體內(nèi)部維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，真空高壓連接器需整個(gè)拆除以便于腔體內(nèi)部離子光學(xué)模塊取出維護(hù)，其拆除過(guò)程步驟繁瑣費(fèi)力，且拆卸連接器與射頻單元的連接時(shí)，因空間狹小、連接緊密，導(dǎo)致拆卸過(guò)程中易造成射頻單元損傷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供一種質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，該裝置用于大氣環(huán)境和高真空環(huán)境之間的高壓傳輸，在保證密封性的同時(shí)將高壓電引入質(zhì)譜儀的真空腔體中。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明可采取下述技術(shù)方案：

3、本發(fā)明所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，包括安裝于質(zhì)譜儀上的固定板，所述固定板的左右邊沿垂直向上彎折形成一對(duì)支撐立板；兩所述支撐立板之間設(shè)置有左右平移滑動(dòng)的滑座，所述滑座的中部開(kāi)設(shè)有與其滑動(dòng)方向一致的條形孔，所述條形孔中沿長(zhǎng)度方向間隔排列有兩組豎向運(yùn)動(dòng)的高壓連接器，兩所述高壓連接器的上端密封穿入所述質(zhì)譜儀的真空腔內(nèi)，其下端豎直插入所述質(zhì)譜儀的射頻單元內(nèi)；所述條形孔的兩長(zhǎng)邊孔壁上成對(duì)開(kāi)設(shè)有與所述高壓連接器一一對(duì)應(yīng)的兩對(duì)限位斜槽，每一所述高壓連接器上均設(shè)置有對(duì)應(yīng)卡裝于所述限位斜槽內(nèi)的隨行滑塊。

4、進(jìn)一步的，所述高壓連接器包括自所述條形孔中穿過(guò)并豎直插裝于所述射頻單元上的絕緣護(hù)套，所述隨行滑塊固定于所述絕緣護(hù)套的外壁上，絕緣護(hù)套上沿軸線開(kāi)設(shè)有安裝通孔，所述安裝通孔的上端插裝有密封穿入所述真空腔內(nèi)的導(dǎo)針護(hù)套，所述導(dǎo)針護(hù)套上沿軸線開(kāi)設(shè)有與安裝通孔同軸連通的導(dǎo)針安裝孔，所述導(dǎo)針安裝孔內(nèi)穿設(shè)有導(dǎo)電導(dǎo)針，所述導(dǎo)電導(dǎo)針的下端外翻形成卡擋于導(dǎo)針護(hù)套下端的限位翻邊，導(dǎo)針護(hù)套下方的安裝通孔內(nèi)密封穿設(shè)有導(dǎo)電桿，所述導(dǎo)電桿的上端向上延伸設(shè)置有插入導(dǎo)電導(dǎo)針內(nèi)的連接桿，所述連接桿外側(cè)套裝有頂撐彈簧。

5、進(jìn)一步的，所述導(dǎo)電桿螺接穿固于所述安裝通孔內(nèi)，從而便于導(dǎo)電桿輕松且穩(wěn)固的安裝于絕緣護(hù)套的安裝通孔內(nèi)。

6、進(jìn)一步的，位于所述絕緣護(hù)套上方的所述導(dǎo)針護(hù)套上套裝有第一密封圈，通過(guò)第一密封圈來(lái)保證導(dǎo)針護(hù)套穿入真空腔處的密封性。

7、進(jìn)一步的，位于所述絕緣護(hù)套下方的所述導(dǎo)電桿上套裝有第二密封圈，通過(guò)第二密封圈來(lái)保證導(dǎo)電桿下端穿出絕緣護(hù)套處的密封性。

8、進(jìn)一步的，所述滑座的左端水平向外延伸出所述支撐立板外，其端部向下翻折形成卡擋于支撐立板外側(cè)的限位擋邊，位于所述限位擋邊正上方的滑座上豎向開(kāi)設(shè)有與所述條形孔相連通的u形卡槽，所述u形卡槽內(nèi)水平卡裝有調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓的軸向與所述條形孔的長(zhǎng)度方向一致，調(diào)節(jié)螺栓內(nèi)端螺接穿過(guò)支撐立板，其上旋擰有浮動(dòng)螺母。

9、進(jìn)一步的，所述調(diào)節(jié)螺栓上開(kāi)設(shè)有適配卡裝于所述u形卡槽內(nèi)的環(huán)槽，通過(guò)環(huán)槽能夠輕松將調(diào)節(jié)螺栓水平卡裝在u形卡槽中，并且還能利用調(diào)節(jié)螺栓的左右移動(dòng)來(lái)帶動(dòng)滑座一同左右平移。

10、進(jìn)一步的，所述限位斜槽自所述滑座的底壁傾斜向上開(kāi)設(shè)，其下端為敞口端，從而在安裝時(shí)能夠保證高壓連接器上的隨行滑塊輕松卡裝于限位斜槽中。

11、進(jìn)一步的，所述滑座的兩長(zhǎng)邊側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)設(shè)置有水平滑桿，所述質(zhì)譜儀的真空腔外壁上設(shè)置有適配卡扣所述水平滑桿的t形定軌，從而能夠使滑座的平移滑動(dòng)更加穩(wěn)定。

12、本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于通過(guò)成對(duì)開(kāi)設(shè)于條形孔兩長(zhǎng)邊孔壁上的限位斜槽，配合對(duì)應(yīng)卡裝于限位斜槽內(nèi)的隨行滑塊，能夠?qū)⒒乃揭苿?dòng)轉(zhuǎn)換為高壓連接器的豎直運(yùn)動(dòng)，輕松實(shí)現(xiàn)高壓連接器的向上運(yùn)動(dòng)伸入真空腔內(nèi)，或向下運(yùn)動(dòng)從真空腔中退出，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)質(zhì)譜儀的真空腔側(cè)與射頻單元側(cè)的高壓連接或斷開(kāi)，使真空腔內(nèi)需要保養(yǎng)維修時(shí)能夠避免拆卸射頻單元，有效節(jié)省拆卸時(shí)間，大大提高真空腔內(nèi)維修保養(yǎng)的便捷性及工作效率，避免對(duì)射頻單元造成損傷。

技術(shù)特征：

1.一種質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：包括安裝于質(zhì)譜儀上的固定板，所述固定板的左右邊沿垂直向上彎折形成一對(duì)支撐立板；兩所述支撐立板之間設(shè)置有左右平移滑動(dòng)的滑座，所述滑座的中部開(kāi)設(shè)有與其滑動(dòng)方向一致的條形孔，所述條形孔中沿長(zhǎng)度方向間隔排列有兩組豎向運(yùn)動(dòng)的高壓連接器，兩所述高壓連接器的上端密封穿入所述質(zhì)譜儀的真空腔內(nèi)，其下端豎直插入所述質(zhì)譜儀的射頻單元內(nèi)；所述條形孔的兩長(zhǎng)邊孔壁上成對(duì)開(kāi)設(shè)有與所述高壓連接器一一對(duì)應(yīng)的兩對(duì)限位斜槽，每一所述高壓連接器上均設(shè)置有對(duì)應(yīng)卡裝于所述限位斜槽內(nèi)的隨行滑塊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述高壓連接器包括自所述條形孔中穿過(guò)并豎直插裝于所述射頻單元上的絕緣護(hù)套，所述隨行滑塊固定于所述絕緣護(hù)套的外壁上，絕緣護(hù)套上沿軸線開(kāi)設(shè)有安裝通孔，所述安裝通孔的上端插裝有密封穿入所述真空腔內(nèi)的導(dǎo)針護(hù)套，所述導(dǎo)針護(hù)套上沿軸線開(kāi)設(shè)有與安裝通孔同軸連通的導(dǎo)針安裝孔，所述導(dǎo)針安裝孔內(nèi)穿設(shè)有導(dǎo)電導(dǎo)針，所述導(dǎo)電導(dǎo)針的下端外翻形成卡擋于導(dǎo)針護(hù)套下端的限位翻邊，導(dǎo)針護(hù)套下方的安裝通孔內(nèi)密封穿設(shè)有導(dǎo)電桿，所述導(dǎo)電桿的上端向上延伸設(shè)置有插入導(dǎo)電導(dǎo)針內(nèi)的連接桿，所述連接桿外側(cè)套裝有頂撐彈簧。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述導(dǎo)電桿螺接穿固于所述安裝通孔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：位于所述絕緣護(hù)套上方的所述導(dǎo)針護(hù)套上套裝有第一密封圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：位于所述絕緣護(hù)套下方的所述導(dǎo)電桿上套裝有第二密封圈。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述滑座的左端水平向外延伸出所述支撐立板外，其端部向下翻折形成卡擋于支撐立板外側(cè)的限位擋邊，位于所述限位擋邊正上方的滑座上豎向開(kāi)設(shè)有與所述條形孔相連通的u形卡槽，所述u形卡槽內(nèi)水平卡裝有調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓的軸向與所述條形孔的長(zhǎng)度方向一致，調(diào)節(jié)螺栓內(nèi)端螺接穿過(guò)支撐立板，其上旋擰有浮動(dòng)螺母。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)螺栓上開(kāi)設(shè)有適配卡裝于所述u形卡槽內(nèi)的環(huán)槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述限位斜槽自所述滑座的底壁傾斜向上開(kāi)設(shè)，其下端為敞口端。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，其特征在于：所述滑座的兩長(zhǎng)邊側(cè)壁上對(duì)稱(chēng)設(shè)置有水平滑桿，所述質(zhì)譜儀的真空腔外壁上設(shè)置有適配卡扣所述水平滑桿的t形定軌。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種質(zhì)譜儀真空腔高壓引入裝置，包括安裝于質(zhì)譜儀上的固定板，固定板的左右邊沿垂直向上彎折形成一對(duì)支撐立板；兩支撐立板之間設(shè)置有左右平移滑動(dòng)的滑座，滑座的中部開(kāi)設(shè)有與其滑動(dòng)方向一致的條形孔，條形孔中沿長(zhǎng)度方向間隔排列有兩組豎向運(yùn)動(dòng)的高壓連接器，兩高壓連接器的上端密封穿入質(zhì)譜儀的真空腔內(nèi)，其下端豎直插入質(zhì)譜儀的射頻單元內(nèi)；條形孔的兩長(zhǎng)邊孔壁上成對(duì)開(kāi)設(shè)有與高壓連接器一一對(duì)應(yīng)的兩對(duì)限位斜槽，每一高壓連接器上均設(shè)置有對(duì)應(yīng)卡裝于限位斜槽內(nèi)的隨行滑塊。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于能夠?qū)⒒乃揭苿?dòng)轉(zhuǎn)換為高壓連接器的豎直運(yùn)動(dòng)，有效節(jié)省拆卸時(shí)間，大大提高真空腔內(nèi)維修保養(yǎng)的便捷性及工作效率，避免對(duì)射頻單元造成損傷。

技術(shù)研發(fā)人員：蔡克亞,張坤,趙亞坤,劉力源,張健,宋龍輝,李孛,吳學(xué)煒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安圖實(shí)驗(yàn)儀器（鄭州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15