1.一種晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，還包括安裝架(4)，所述安裝架(4)包括框體(41)、固定桿(42)和兩個支撐桿(43)，所述固定桿(42)橫跨所述框體(41)設(shè)置，兩個所述支撐桿(43)的一端分別設(shè)置于所述框體(41)的相對位置，兩個所述支撐桿(43)的另一端分別設(shè)置于所述底座(21)的兩側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，所述第一檢測機構(gòu)(3)還包括第二距離傳感器(32)，所述第二距離傳感器(32)傾斜設(shè)置于所述固定桿(42)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，還包括第二檢測機構(gòu)(5)，用于檢測所述末端執(zhí)行器(121)承載的晶圓偏移，所述第二檢測機構(gòu)(5)包括第一傳感器組(51)、第二傳感器組(52)、第三傳感器組(53)和第四傳感器組(54)，所述第一傳感器組(51)和所述第二傳感器組(52)在所述第一方向上相對設(shè)置，所述第三傳感器組(53)和所述第四傳感器組(54)在第二方向上相對設(shè)置，所述第一方向和所述第二方向正交。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動部包括(22)第一驅(qū)動件(221)、同步輪組(222)、第一同步帶(223)和連接塊(224)，所述第一驅(qū)動件(221)與所述同步輪組(222)連接，所述第一同步帶(223)套設(shè)于所述同步輪組(222)，所述連接塊(224)與所述第一同步帶(223)連接；所述底座(21)上設(shè)置有第一導軌(211)，所述連接塊(224)滑動設(shè)置于所述第一導軌(211)且與所述支撐部(11)連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，還包括第二驅(qū)動機構(gòu)(6)，所述第二驅(qū)動機構(gòu)(6)包括殼體(61)以及設(shè)置于所述殼體(61)內(nèi)的第二驅(qū)動部(62)，所述第二驅(qū)動部(62)包括第二驅(qū)動件(621)、第一同步輪(622)、第二同步輪(623)、第二同步帶(624)和連接軸(625)，所述第二驅(qū)動件(621)與所述第一同步輪(622)連接，所述第二同步帶(624)套設(shè)于所述第一同步輪(622)和所述第二同步輪(623)，所述第二同步輪(623)與所述連接軸(625)的一端連接，所述連接軸(625)的另一端與所述底座(21)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動機構(gòu)(6)還包括設(shè)置于所述殼體(61)內(nèi)且位于所述第二驅(qū)動部(62)一側(cè)的第三驅(qū)動部(63)，所述第三驅(qū)動部(63)包括第三驅(qū)動件(631)、第一絲桿(632)和安裝板(633)，所述第三驅(qū)動件(631)與所述第一絲桿(632)連接，所述第一絲桿(632)與所述安裝板(633)連接；所述殼體(61)內(nèi)壁設(shè)置有第二導軌(611)，所述安裝板(633)滑動設(shè)置于所述第二導軌(611)；所述安裝板(633)與所述連接軸(625)的一端連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，還包括第三驅(qū)動機構(gòu)(7)，所述第三驅(qū)動機構(gòu)(7)包括安裝座(71)和第四驅(qū)動部(72)，所述安裝座(71)上設(shè)置有第三導軌(711)，所述第四驅(qū)動部(72)包括第四驅(qū)動件(721)、第二絲桿(722)和滑塊(723)，所述第四驅(qū)動件(721)與所述第二絲桿(722)連接，所述第二絲桿(722)與所述滑塊(723)連接，所述滑塊(723)滑動設(shè)置于所述第三導軌(711)，且與所述殼體(61)連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，其特征在于，所述支撐部(11)包括盒體(111)，所述盒體(111)內(nèi)等距離設(shè)置有多個支撐件(1111)；所述取送機構(gòu)(1)包括多組末端執(zhí)行器組(12)，每組所述末端執(zhí)行器組(12)包括多個所述末端執(zhí)行器(121)，且每組所述末端執(zhí)行器組(12)設(shè)置于對應(yīng)的一個支撐件(1111)。
10.一種工藝設(shè)備，其特征在于，包括至少兩個晶圓收納裝置，以及設(shè)置于所述至少兩個晶圓收納裝置之間的如權(quán)利要求1至9任一項所述的晶圓轉(zhuǎn)運裝置，所述晶圓轉(zhuǎn)運裝置用于將晶圓從一個所述晶圓收納裝置搬運至另一個所述晶圓收納裝置。