本公開涉及基板處理裝置和基板收納容器保管方法。

背景技術(shù)：

1、在專利文獻(xiàn)1公開了一種基板的處理系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)為：使送入該基板的處理系統(tǒng)的多個(gè)盒待機(jī)的盒待機(jī)模塊與相對(duì)于基板的處理系統(tǒng)送入送出的送入送出模塊相鄰地設(shè)置。

2、專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-10287號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、本公開的技術(shù)在于，在使收納了基板的基板處理容器暫時(shí)待機(jī)的保管部保管比以往更多的基板收納容器。

3、用于解決問題的方案

4、本公開的第一技術(shù)方案是一種基板處理裝置，其用于處理基板，該基板處理裝置具有：基板收納容器載置部，其在所述基板處理裝置載置基板收納容器，該基板收納容器收納要處理的基板；以及保管區(qū)域，其配置為靠近所述基板收納容器載置部，用于保管所述基板收納容器，所述保管區(qū)域使在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部具有上下多層，位于最上部的保管部能夠在其與頂部行駛車之間交接所述基板收納容器，該頂部行駛車在所述基板處理裝置的上方移動(dòng)，處于所述位于最上部的保管部的下側(cè)的其他保管部以與載置并保管在位于最上部的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器。

5、本公開的第二技術(shù)方案根據(jù)第一技術(shù)方案所述的基板處理裝置，其中，該基板處理裝置具有送入送出部，該送入送出部在所述基板收納容器載置部上的基板收納容器和所述基板處理裝置的處理部側(cè)之間送入送出所述基板，所述保管區(qū)域設(shè)于所述送入送出部的上側(cè)。

6、本公開的第三技術(shù)方案根據(jù)第一或第二技術(shù)方案所述的基板處理裝置，其中，所述位于最上部的保管部具備基板支承部，該基板支承部能夠在交接位置和保管所述基板收納容器的保管位置之間移動(dòng)，該交接位置是在所述基板收納容器載置部的上方在該保管部與所述頂部行駛車之間交接所述基板收納容器時(shí)該基板支承部所處的位置。

7、本公開的第四技術(shù)方案根據(jù)第二或第三技術(shù)方案所述的基板處理裝置，其中，在所述送入送出部?jī)?nèi)具有輸送臂，該輸送臂在所述基板收納容器載置部上的基板收納容器和所述基板處理裝置的處理部側(cè)之間送入送出所述基板，

8、所述送入送出部相對(duì)于所述保管區(qū)域被氣密地劃分出。

9、本公開的第五技術(shù)方案根據(jù)第一～第四技術(shù)方案中任一項(xiàng)所述的基板處理裝置，其中，該基板處理裝置具有移載裝置，該移載裝置能夠在位于最上部的保管部、處于所述位于最上部的保管部的下側(cè)的其他保管部、以及所述基板收納容器載置部之間移載所述基板收納容器，

10、所述移載裝置具備在保持所述基板收納容器的狀態(tài)下在水平方向上改變朝向的機(jī)構(gòu)。

11、本公開的第六技術(shù)方案根據(jù)第五技術(shù)方案所述的基板處理裝置，其中，所述移載裝置能夠三維移動(dòng)且具有使保持著的基板收納容器以保持的位置為中心至少在水平方向上旋轉(zhuǎn)90度的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

12、本公開的第七技術(shù)方案根據(jù)第五或第六技術(shù)方案所述的基板處理裝置，其中，在隔著所述基板收納容器載置部與所述保管區(qū)域相對(duì)的位置具有保管基板收納容器的其他保管區(qū)域，所述移載裝置能夠?qū)⒈９茉谠撈渌９軈^(qū)域的基板收納容器向所述位于最上部的保管部和所述基板收納容器載置部移載。

13、本公開的第八技術(shù)方案是一種基板收納容器保管方法，其為用于收納基板的基板收納容器的保管方法，其中，

14、所述基板收納容器保管在保管區(qū)域，該保管區(qū)域配置為靠近處理基板的基板處理裝置的基板收納容器載置部，

15、在所述保管區(qū)域，將在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部設(shè)為上下多層，

16、位于最上部的保管部能夠在其與頂部行駛車之間交接所述基板收納容器，該頂部行駛車在所述基板處理裝置的上方移動(dòng)，

17、在處于所述位于最上部的保管部的下側(cè)的其他保管部，以與載置并保管在位于最上部的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器。

18、本公開的第九技術(shù)方案是一種基板處理裝置，其用于處理基板，其特征在于，該基板處理裝置具有：基板收納容器載置部，其在所述基板處理裝置載置基板收納容器，該基板收納容器收納要處理的基板；以及保管區(qū)域，其配置為靠近所述基板收納容器載置部，用于保管所述基板收納容器，所述保管區(qū)域使在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部具有上下多層，在所述保管區(qū)域中的位于上側(cè)的保管部的下方的下側(cè)的其它保管部，以與載置并保管在所述上側(cè)的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器，該基板處理裝置還具備移載裝置，該移載裝置能夠在所述上側(cè)的保管部和所述下側(cè)的其它保管部之間移載所述基板收納容器，并且該移載裝置具有在保持所述基板收納容器的狀態(tài)下在水平方向上改變朝向的機(jī)構(gòu)。

19、本公開的第十技術(shù)方案是一種基板處理裝置，其用于處理基板，其特征在于，該基板處理裝置具有：基板收納容器載置部，其在所述基板處理裝置載置基板收納容器，該基板收納容器收納要處理的基板；以及保管區(qū)域，其配置為靠近所述基板收納容器載置部，用于保管所述基板收納容器，所述保管區(qū)域使在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部具有上下多層，在所述保管區(qū)域中的位于上側(cè)的保管部的下方的下側(cè)的其它保管部，以與載置并保管在所述上側(cè)的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器，該基板處理裝置具有包括輸送臂的送入送出部，該送入送出部在所述基板收納容器載置部上的基板收納容器和所述基板處理裝置的處理部側(cè)之間輸送所述基板，所述送入送出部的高度比所述處理部的高度低，在所述送入送出部的上側(cè)設(shè)置有至少一個(gè)所述保管部。

20、本公開的第十一技術(shù)方案是一種基板收納容器保管方法，其為用于收納基板的基板收納容器的保管方法，其特征在于，所述基板收納容器保管在保管區(qū)域，該保管區(qū)域配置為靠近用于處理基板的基板處理裝置的基板收納容器載置部，在所述保管區(qū)域，將在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部設(shè)為上下多層，在所述保管區(qū)域中的位于上側(cè)的保管部的下方的下側(cè)的其它保管部，以與載置并保管在所述上側(cè)的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器，通過具有在保持所述基板收納容器的狀態(tài)下在水平方向上改變朝向的機(jī)構(gòu)的移載裝置在所述上側(cè)的保管部與所述下側(cè)的其它保管部之間移載所述基板收納容器。

21、本公開的第十二術(shù)方案是一種基板收納容器保管方法，其為用于收納基板的基板收納容器的保管方法，其特征在于，該基板收納容器保管方法包括：所述基板收納容器保管在保管區(qū)域，該保管區(qū)域配置為靠近用于處理基板的基板處理裝置的基板收納容器載置部，在所述保管區(qū)域，將在水平方向上載置并保管多個(gè)所述基板收納容器的保管部設(shè)為上下多層，在所述保管區(qū)域中的位于上側(cè)的保管部的下方的下側(cè)的其它保管部，以與載置并保管在所述上側(cè)的保管部的基板收納容器不同的朝向載置并保管基板收納容器，包括輸送臂的送入送出部的高度設(shè)定得比所述處理部的高度低，在所述送入送出部的上側(cè)設(shè)置有至少一個(gè)所述保管部，所述送入送出部在所述基板收納容器載置部上的基板收納容器和所述基板處理裝置的處理部側(cè)之間輸送所述基板。

22、發(fā)明的效果

23、根據(jù)本公開，能夠在使收納了基板的基板處理容器暫時(shí)待機(jī)的保管部保管比以往更多的基板收納容器。