一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于用于夾持固定的夾盤設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種具有不同的方向?qū)?yīng)不同性質(zhì)的良好半導(dǎo)體材料。高純度的單晶硅可以用于二極管級、整流器件級、電路級以及太陽能電池級單晶產(chǎn)品的生產(chǎn)和深加工制造，其后續(xù)產(chǎn)品集成電路和半導(dǎo)體分離器件已廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域，在軍事電子設(shè)備中也占有重要地位。從單晶硅爐中拉制而出的單晶硅經(jīng)過初加工，呈現(xiàn)為基本規(guī)則的圓柱形，該加工階段的單晶硅仍需要切割機(jī)等設(shè)備進(jìn)行進(jìn)一步的的精加工，由于沒有能夠?qū)?yīng)加工設(shè)備固定座的夾盤，所以傳統(tǒng)的圓柱形的單晶硅依靠化學(xué)粘膠粘緊固定在加工設(shè)備的固定座上，不僅固定不穩(wěn)固，而且化學(xué)粘膠異味重，污染大。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本實用新型旨在提出一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，夾盤的底部能夠穩(wěn)固定位在加工設(shè)備的固定座上，夾盤的上部能夠夾緊圓柱形的單晶硅，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，省去使用化學(xué)粘膠的污染。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:
[0005]—種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，包括夾盤本體、移動滑塊、卡爪和固定基座，圓盤形的所述夾盤本體的上部圓面的徑向方向上均勻開有四條夾口槽，所述夾盤本體在所述夾口槽的中部交匯處開有圓形的夾口，所述夾口槽的對側(cè)內(nèi)壁上各設(shè)有一個外凸的滑軌，所述移動滑塊上設(shè)有對應(yīng)卡合所述滑軌的滑槽，所述卡爪固定在所述移動滑塊上，所述夾口槽的最底端設(shè)有沿所述夾盤本體徑向走向的絲杠，所述移動滑塊的底端設(shè)有對應(yīng)齒合所述絲杠的外螺紋，所述固定基座包括連接塊、定位塊和定位桿，所述連接塊的上端面固定連接在所述夾盤本體的下部圓面上，所述連接塊的下端面固定連接有所述定位塊，所述定位塊的底部開有對應(yīng)單晶硅加工設(shè)備固定座的定位卡口，所述定位塊上設(shè)有貫穿所述定位卡口的所述定位桿。
[0006]進(jìn)一步的，所述絲杠的頂部帶有六角螺帽。
[0007]進(jìn)一步的，所述定位卡口為長方形。
[0008]進(jìn)一步的，所述定位桿的前部連接有用于拔出和推進(jìn)的旋帽。
[0009]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型所述的用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤具有以下優(yōu)勢:
[0010](1)本實用新型的移動滑塊的滑槽對應(yīng)卡合在夾口槽內(nèi)側(cè)壁上開有的滑軌上，移動滑塊能夠沿著夾盤本體徑向方向上開有的夾口槽滑進(jìn)滑出，通過擰動夾口槽底端的絲杠轉(zhuǎn)動，能夠帶動通過外螺紋與絲杠齒合的移動滑塊實現(xiàn)滑進(jìn)滑出，本實用新型的四個移動滑塊能夠向中部的夾口匯聚，固定于移動滑塊上的卡爪能夠從四個徑向方向夾緊圓柱形單晶娃，本實用新型底部的定位塊開有的定位卡口能夠卡合在加工設(shè)備的固定座上，定位桿能夠穿過固定座上設(shè)有的定位孔，進(jìn)一步穩(wěn)固定定位，省去了使用化學(xué)粘膠進(jìn)行固定單晶硅的傳統(tǒng)方法，減少了污染，也省去了加工后清理單晶硅表面的化學(xué)粘膠的麻煩。
[0011](2)本實用新型的絲杠的頂部帶有六角螺帽，方便通過六角螺帽擰動絲杠，帶動移動滑塊滑進(jìn)滑出，實現(xiàn)卡爪夾緊或是松開單晶硅；定位桿的前部連接有旋帽，方便拔出或推進(jìn)定位桿。
【附圖說明】
[0012]構(gòu)成本實用新型的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進(jìn)一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0013]圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實用新型實施例上部結(jié)構(gòu)的俯視角度示意圖。
[0015]附圖標(biāo)記說明:
[0016]1-夾盤本體，2-移動滑塊，3-卡爪，4-固定基座，11-夾口槽，12-夾口，13-絲杠，131-六角螺帽，21-滑槽，22-外螺紋，41-連接塊，42-定位塊，421-定位卡口，43-定位桿，431-旋帽。
【具體實施方式】
[0017]需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0018]下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細(xì)說明本實用新型。
[0019]如圖1、2所示，本實用新型提供一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，包括夾盤本體1、移動滑塊2、卡爪3和固定基座4，圓盤形的所述夾盤本體1的上部圓面的徑向方向上均勻開有四條夾口槽11，所述夾盤本體1在所述夾口槽11的中部交匯處開有圓形的夾口 12，所述夾口槽11的對側(cè)內(nèi)壁上各設(shè)有一個外凸的滑軌，所述移動滑塊2上設(shè)有對應(yīng)卡合所述滑軌的滑槽21，所述卡爪3固定在所述移動滑塊2上，所述夾口槽11的最底端設(shè)有沿所述夾盤本體1徑向走向的絲杠13，所述移動滑塊2的底端設(shè)有對應(yīng)齒合所述絲杠13的外螺紋22，所述固定基座4包括連接塊41、定位塊42和定位桿43，所述連接塊41的上端面固定連接在所述夾盤本體1的下部圓面上，所述連接塊41的下端面固定連接有所述定位塊42，所述定位塊42的底部開有對應(yīng)單晶硅加工設(shè)備固定座的定位卡口 421，所述定位塊42上設(shè)有貫穿所述定位卡口 421的所述定位桿43。
[0020]所述絲杠13的頂部帶有六角螺帽131。
[0021]所述定位卡口 421為長方形。
[0022]所述定位桿43的前部連接有用于拔出和推進(jìn)的旋帽431。
[0023]本實例的工作過程:將本實用新型的移動滑塊2的滑槽21對應(yīng)卡合在夾口槽11內(nèi)側(cè)壁上開有的滑軌上，移動滑塊2沿著夾盤本體1徑向方向上開有的夾口槽11滑進(jìn)滑出，通過擰動夾口槽11底端的絲杠13轉(zhuǎn)動，帶動通過外螺紋22與絲杠13齒合的移動滑塊2滑進(jìn)滑出，四個移動滑塊2可以向中部的夾口 12匯聚，固定于移動滑塊2上的卡爪3從四個徑向方向夾緊圓柱形單晶硅，本實用新型底部的定位塊42開有的定位卡口 421卡合在加工設(shè)備的固定座上，通過旋帽431推進(jìn)定位桿43穿過固定座上設(shè)有的定位孔，進(jìn)一步穩(wěn)固定定位。
[0024]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，其特征在于:包括夾盤本體、移動滑塊、卡爪和固定基座，圓盤形的所述夾盤本體的上部圓面的徑向方向上均勻開有四條夾口槽，所述夾盤本體在所述夾口槽的中部交匯處開有圓形的夾口，所述夾口槽的對側(cè)內(nèi)壁上各設(shè)有一個外凸的滑軌，所述移動滑塊上設(shè)有對應(yīng)卡合所述滑軌的滑槽，所述卡爪固定在所述移動滑塊上，所述夾口槽的最底端設(shè)有沿所述夾盤本體徑向走向的絲杠，所述移動滑塊的底端設(shè)有對應(yīng)齒合所述絲杠的外螺紋，所述固定基座包括連接塊、定位塊和定位桿，所述連接塊的上端面固定連接在所述夾盤本體的下部圓面上，所述連接塊的下端面固定連接有所述定位塊，所述定位塊的底部開有對應(yīng)單晶硅加工設(shè)備固定座的定位卡口，所述定位塊上設(shè)有貫穿所述定位卡口的所述定位桿。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，其特征在于:所述絲杠的頂部帶有六角螺帽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，其特征在于:所述定位卡口為長方形。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，其特征在于:所述定位桿的前部連接有用于拔出和推進(jìn)的旋帽。
【專利摘要】本實用新型提供了一種用于夾持圓柱形單晶硅的固定夾盤，包括夾盤本體、移動滑塊、卡爪和固定基座，夾盤本體的徑向方向上均勻開有四條夾口槽，夾口槽的中部交匯處開有圓形的夾口，夾口槽的對側(cè)內(nèi)壁上各設(shè)有一個滑軌，移動滑塊上設(shè)有對應(yīng)卡合滑軌的滑槽，卡爪固定在移動滑塊上，夾口槽的最底端設(shè)有絲杠，移動滑塊的底端設(shè)有對應(yīng)齒合絲杠的外螺紋，固定基座包括連接塊、定位塊和定位桿，連接塊的上端面固定連接夾盤本體，連接塊的下端面固定連接定位塊，定位塊的底部開有定位卡口，定位塊上設(shè)有貫穿定位卡口的定位桿。有益效果是夾盤的底部能夠穩(wěn)固定位在加工設(shè)備的固定座上，夾盤的上部能夠夾緊圓柱形的單晶硅，省去使用化學(xué)粘膠的污染。
【IPC分類】H01L21/68, H01L21/687
【公開號】CN204991677
【申請?zhí)枴緾N201520476892
【發(fā)明人】薛佳偉, 薛佳勇, 王海軍
【申請人】天津眾晶半導(dǎo)體材料有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年7月3日