1.一種高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,包括襯底(200),襯底表面設(shè)置有至少一個(gè)芯片(100),其特征在于:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴墨打印頭(10)為不含液滴偏轉(zhuǎn)裝置的連續(xù)式噴墨打印頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔(110)直徑d和最小噴孔間距p滿足關(guān)系d2/p>6.0微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔(110)、所述壓力腔(120)以及所述流道(220)之間沿與芯片(100)表面垂直方向直通,無(wú)固體結(jié)構(gòu)遮擋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述芯片(100)至少包含一個(gè)噴孔材料層和一個(gè)壓力腔材料層,所述噴孔(110)貫穿所述噴孔材料層,所述壓力腔(120)貫穿所述壓力腔材料層;所述噴孔材料層厚度小于所述噴孔直徑的2倍。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔材料層包含單層或多層材料,所述噴孔材料層材料為硅、或氧化物、或金屬、或陶瓷、或su-8、或polyimide;所述壓力腔材料層包含單層或多層材料,所述壓力腔材料層材料為硅、或玻璃、或不銹鋼、或陶瓷、或高分子材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述芯片表面,噴孔(110)的內(nèi)表面、所述壓力腔(120)的內(nèi)表面、所述襯底流道(220)和進(jìn)墨口的內(nèi)表面具有耐腐蝕涂層,涂層厚度大于50nm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔沿第一方向排列的總長(zhǎng)度為x1,所述流道沿第一方向的長(zhǎng)度為x2,流道中點(diǎn)和噴孔排列段的中點(diǎn)對(duì)齊,并且滿足x2-x1>1mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔(110)與所述壓力腔(120)一一對(duì)應(yīng),所述噴孔具有與芯片表面垂直的第一對(duì)稱中心(111),噴孔對(duì)應(yīng)的所述壓力腔具有與芯片表面垂直的第二對(duì)稱中心(121),所述第一對(duì)稱中心(111)與第二對(duì)稱中心(121)重疊。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述噴孔與所述壓力腔一一對(duì)應(yīng),所述噴孔具有與芯片表面垂直的第一對(duì)稱中心(111),噴孔對(duì)應(yīng)的所述壓力腔具有與芯片表面垂直的第二對(duì)稱中心(121),位于芯片兩端的若干個(gè)噴孔的第一對(duì)稱中心(111)相比第二對(duì)稱中心(121)錯(cuò)開(kāi),其余噴孔的第一對(duì)稱中心(111)與第二對(duì)稱中心(121)重疊。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:?jiǎn)我恍酒系膰娍籽嘏c第一方向垂直的第二方向上呈n行排列,n為大于1的整數(shù),同一行的噴孔的間距為m,相鄰行的噴孔依次沿第一方向朝同一側(cè)錯(cuò)位、錯(cuò)位距離為間距p=m/n。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:相鄰行的噴孔依次沿第二方向均勻排開(kāi),行間距為h,并且滿足h<1mm。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述壓力腔與所述流道之間設(shè)置有過(guò)濾層,所述過(guò)濾層均勻設(shè)置有濾孔,所述濾孔的直徑不超過(guò)所述噴孔直徑d;所述過(guò)濾層的厚度小于所述噴孔直徑d。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述過(guò)濾層的材料為高分子材料su-8、pp、ptfe、pes、尼龍、聚酯中的一種或多種復(fù)合;或者所述過(guò)濾層的材料為金屬材料不銹鋼、鎳合金中的一種或多種復(fù)合。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高速噴涂用連續(xù)式噴墨打印頭,其特征在于:所述壓力腔與芯片表面平行方向的截面為長(zhǎng)型孔;所述壓力腔截面長(zhǎng)型孔包括一個(gè)長(zhǎng)軸方向和一個(gè)與長(zhǎng)軸方向垂直的短軸方向,所述長(zhǎng)軸方向與所述第一方向垂直;所述壓力腔截面長(zhǎng)型孔長(zhǎng)軸方向的長(zhǎng)度為l、短軸方向的長(zhǎng)度為w,滿足l>w且w/d>1.5。