技術(shù)總結(jié)
氟化釔噴涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10?60μm的平均粒度和1.2?2.5g/cm3的堆積密度。所述氟化釔噴涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3組成。通過大氣等離子體噴涂所述噴涂材料獲得氧氟化釔的噴涂的涂層。

技術(shù)研發(fā)人員：高井康;浜谷典明
受保護的技術(shù)使用者：信越化學工業(yè)株式會社
文檔號碼：201610918492
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.21
技術(shù)公布日：2017.05.03