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一種真空鍍膜的修正擋板結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12430822閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種真空鍍膜的修正擋板結(jié)構(gòu),包括真空鍍膜室(4)、旋轉(zhuǎn)基片臺(5)和蒸發(fā)源(6),其特征是:在真空鍍膜室(4)內(nèi)設(shè)有蒸發(fā)源(6),在蒸發(fā)源(6)的上部設(shè)有旋轉(zhuǎn)基片臺(5),在真空鍍膜室(4)的外部設(shè)有旋轉(zhuǎn)組件(3),在旋轉(zhuǎn)組件(3)的中心處設(shè)有穿過真空鍍膜室(4)的轉(zhuǎn)軸(2),在轉(zhuǎn)軸(2)上設(shè)有修正擋板(1)。

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