技術(shù)總結(jié)
一種真空鍍膜的修正擋板結(jié)構(gòu)，涉及一種修正擋板結(jié)構(gòu)，包括真空鍍膜室（4）、旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)（5）和蒸發(fā)源（6），在真空鍍膜室（4）內(nèi)設(shè)有蒸發(fā)源（6），在蒸發(fā)源（6）的上部設(shè)有旋轉(zhuǎn)基片臺(tái)（5），在真空鍍膜室（4）的外部設(shè)有旋轉(zhuǎn)組件（3），在旋轉(zhuǎn)組件（3）的中心處設(shè)有穿過真空鍍膜室（4）的轉(zhuǎn)軸（2），在轉(zhuǎn)軸（2）上設(shè)有修正擋板（1）；本實(shí)用新型通過設(shè)置旋轉(zhuǎn)組件驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上的修正擋板旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)了真空鍍膜更均勻的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽奧爾材料科技有限公司
文檔號(hào)碼：201620784026
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.25
技術(shù)公布日：2016.12.14