1.一種研磨墊，其特征在于，包括：
研磨層，其中所述研磨層包括中心區(qū)域、邊緣區(qū)域以及位于所述中心區(qū)域以及所述邊緣區(qū)域之間的主要研磨區(qū)域；
至少一環(huán)狀溝槽，位于所述研磨層的所述主要研磨區(qū)域中；
邊緣溝槽，位于所述研磨層的所述邊緣區(qū)域中，且所述邊緣溝槽包括格狀溝槽；以及
至少一徑向延伸溝槽，位于所述研磨層的所述主要研磨區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述至少一環(huán)狀溝槽相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述研磨層具有旋轉(zhuǎn)中心，所述旋轉(zhuǎn)中心位于所述研磨層的中心位置，且所述至少一環(huán)狀溝槽以所述旋轉(zhuǎn)中心為中心呈現(xiàn)同心排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述邊緣溝槽的所述格狀溝槽的形狀為正方格、長方格、菱形格、梯形格、三角形格、多角形格、或其組合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述徑向延伸溝槽延伸至所述邊緣區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述邊緣溝槽相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨墊，其特征在于，所述徑向延伸溝槽為所述邊緣溝槽的所述格狀溝槽一部分的延伸。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，還包括中心溝槽，位于所述研磨層的所述中心區(qū)域中，且所述中心溝槽包括格狀溝槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨墊，其特征在于，所述中心溝槽的所述格狀溝槽的形狀為正方格、長方格、菱形格、梯形格、三角形格、多角形格、或其組合。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨墊，其特征在于，所述徑向延伸溝槽延伸至所述中心區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述中心溝槽相連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨墊，其特征在于，所述徑向延伸溝槽為所述中心溝槽的所述格狀溝槽一部分的延伸。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，在所述研磨層半徑方向上，所述中心區(qū)域具有第一寬度，所述主要研磨區(qū)域具有第二寬度，所述 邊緣區(qū)域具有第三寬度。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的研磨墊，其特征在于，
所述第一寬度為所述研磨層半徑的5％～25％，
所述第二寬度為所述研磨層半徑的50％～90％，且
所述第三寬度為所述研磨層半徑的5％～25％。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于，所述邊緣溝槽中不與所述徑向延伸溝槽連接的每一溝槽具有：
第一端點(diǎn)，位于所述主要研磨區(qū)域的外側(cè)處，其中所述第一端點(diǎn)具有一端面；以及
第二端點(diǎn)，位于所述邊緣區(qū)域的外側(cè)處，且不具有端面。
13.一種研磨系統(tǒng)，其特征在于，包括：
研磨墊，包括：
研磨層，其中所述研磨層包括中心區(qū)域、邊緣區(qū)域以及位于所述中心區(qū)域以及所述邊緣區(qū)域之間的主要研磨區(qū)域；
至少一環(huán)狀溝槽，位于所述研磨層的所述主要研磨區(qū)域中；
邊緣溝槽，位于所述研磨層的所述邊緣區(qū)域中，且所述邊緣溝槽包括一格狀溝槽；以及
至少一徑向延伸溝槽，位于所述研磨層的所述主要研磨區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述至少一環(huán)狀溝槽相連接；以及
研磨物件，位于所述研磨墊上，其中所述研磨物件具有中央?yún)^(qū)域以及包圍所述中央?yún)^(qū)域的周邊區(qū)域，
其中，在進(jìn)行研磨程序中，所述研磨物件的所述中央?yún)^(qū)域與所述研磨層的所述至少一環(huán)狀溝槽以及所述徑向延伸溝槽接觸，且所述研磨物件的所述周邊區(qū)域與所述研磨層的所述至少一環(huán)狀溝槽、所述邊緣溝槽以及所述徑向延伸溝槽接觸。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述研磨層具有旋轉(zhuǎn)中心位于所述研磨層的中心位置，且所述至少一環(huán)狀溝槽以所述旋轉(zhuǎn)中心為中心呈現(xiàn)同心排列。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述邊緣溝槽的所述格狀溝槽的形狀為正方格、長方格、菱形格、梯形格、三角形格、多角形 格、或其組合。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述徑向延伸溝槽延伸至所述邊緣區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述邊緣溝槽相連接。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述徑向延伸溝槽為所述邊緣溝槽的所述格狀溝槽一部分的延伸。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，還包括中心溝槽，位于所述研磨層的所述中心區(qū)域中，且所述中心溝槽包括格狀溝槽。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述中心溝槽的所述格狀溝槽的形狀為正方格、長方格、菱形格、梯形格、三角形格、多角形格、或其組合。
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述徑向延伸溝槽延伸至所述中心區(qū)域，且所述徑向延伸溝槽與所述中心溝槽相連接。
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，所述徑向延伸溝槽為所述中心溝槽的所述格狀溝槽一部分的延伸。
22.根據(jù)權(quán)利要求13所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，在所述研磨層半徑方向上，所述中心區(qū)域具有第一寬度，所述主要研磨區(qū)域具有第二寬度，所述邊緣區(qū)域具有第三寬度。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的研磨系統(tǒng)，其特征在于，
所述第一寬度為所述研磨層半徑的5％～25％，
所述第二寬度為所述研磨層半徑的50％～90％，且
所述第三寬度為所述研磨層半徑的5％～25％。