本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造和加工領(lǐng)域，特別是涉及一種垂直型ald設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、ald(原子層沉積)是一種精密的薄膜沉積技術(shù)，它允許用戶以原子級(jí)的控制來生長材料薄膜。這種技術(shù)在半導(dǎo)體、光伏、led(發(fā)光二極管)、mems(微機(jī)電系統(tǒng))和許多其他領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。ald設(shè)備通過交替引入兩種不同的氣相前驅(qū)體到反應(yīng)室中，在基底表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，形成所需的薄膜。

2、請參考圖1和圖2，為現(xiàn)有技術(shù)中常見的兩種ald設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，圖1為空間型ald設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，需要鍍膜的電池片2放置在載盤1中，滾輪3帶動(dòng)載盤1在內(nèi)腔內(nèi)部進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，內(nèi)腔正上方有tma(trimethylaluminum三甲基鋁)吹掃頭，h2o(水)反應(yīng)源氣體對整個(gè)載盤進(jìn)行吹掃，n2(氮?dú)?作為隔絕氣，避免tma和h2o直接接觸發(fā)生cvd(化學(xué)氣相沉積)反應(yīng)。電池片經(jīng)過tma和h2o的輪流吹掃，逐漸在電池片表面形成al2o3(氧化鋁)薄膜。圖2為時(shí)間型ald設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，電池片直接放置在內(nèi)腔內(nèi)部，沉積過程中電池片不進(jìn)行任何運(yùn)動(dòng)，內(nèi)腔內(nèi)依次輪流通入tma、n2和h2o，具體為：先通入tma，待tma氣體充滿內(nèi)腔后，通入n2，清除內(nèi)腔內(nèi)tma，再通入h2o氣體，h2o會(huì)與電池片表面吸附的tma進(jìn)行反應(yīng)，形成al2o3薄膜，后續(xù)需再次通入n2清除內(nèi)腔內(nèi)h2o氣體，以此循環(huán)，直到反應(yīng)形成的al2o3薄膜達(dá)到需求。

3、然而，時(shí)間型ald設(shè)備的產(chǎn)能較低，空間型ald設(shè)備則不能精確控制前驅(qū)體源的時(shí)間。二者的占地面積均較大，若需要提高產(chǎn)能，更是需要提高ald設(shè)備的占地面積，從而帶來更高的設(shè)備生產(chǎn)成本以及更大的空間占有。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于，提供一種占地面積小，產(chǎn)能較高的垂直型ald設(shè)備。

2、本實(shí)用新型提供一種垂直型ald設(shè)備，包括：內(nèi)腔、多個(gè)裝載裝置和多個(gè)工藝裝置；

3、物料分別設(shè)置于所述多個(gè)裝載裝置上，所述多個(gè)裝載裝置間隔設(shè)置于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中，所述裝載裝置用于帶動(dòng)所述物料繞水平方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng)；

4、所述多個(gè)工藝裝置間隔設(shè)置于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中，用于對所述物料進(jìn)行工藝操作。

5、進(jìn)一步的，還包括：多個(gè)連接通道和多個(gè)傳送裝置；

6、兩兩所述內(nèi)腔之間設(shè)有所述連接通道，所述傳送裝置設(shè)置于所述連接通道內(nèi)；

7、所述裝載裝置的一端能夠與所述傳送裝置一端相接觸，所述物料通過所述傳送裝置自其中一個(gè)內(nèi)腔轉(zhuǎn)移至另一個(gè)內(nèi)腔中。

8、進(jìn)一步的，還包括設(shè)置在所述內(nèi)腔外的外腔；所述外腔與所述內(nèi)腔之間具有間隙。

9、進(jìn)一步的，任一所述內(nèi)腔的壓力大于所述間隙的壓力。

10、進(jìn)一步的，還包括氣體噴嘴，所述氣體噴嘴設(shè)置于所述外腔的內(nèi)壁，位于兩兩所述內(nèi)腔之間；所述氣體噴嘴朝兩兩所述內(nèi)腔中噴射惰性氣體。

11、進(jìn)一步的，所述傳送裝置為傳送履帶，所述傳送履帶設(shè)置于所述連接通道內(nèi)。

12、進(jìn)一步的，還包括多個(gè)載盤，所述載盤位于裝載裝置上，用于承載所述物料。

13、進(jìn)一步的，所述裝載裝置通過鉸鏈可移動(dòng)地設(shè)置于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

14、進(jìn)一步的，所述多個(gè)工藝裝置沿軸向方向等距排布于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

15、進(jìn)一步的，所述多個(gè)傳送裝置沿軸向方向等距排布于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

16、相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型至少具有以下有益效果：

17、本實(shí)用新型通過在內(nèi)腔的側(cè)壁中設(shè)置多個(gè)可沿軸向方向上順時(shí)針或者逆時(shí)針移動(dòng)(也即繞水平方向旋轉(zhuǎn)移動(dòng))的裝載裝置，充分利用了上方的空間，減小了ald設(shè)備的橫向占地面積。且橫向設(shè)置的多個(gè)裝載裝置上均能放置多個(gè)電池片，多個(gè)工藝裝置依次對上下移動(dòng)的多個(gè)電池片進(jìn)行吹掃，實(shí)現(xiàn)批量電池片的ald工藝操作，提高了電池片的產(chǎn)能。

技術(shù)特征：

1.一種垂直型ald設(shè)備，其特征在于，包括：內(nèi)腔、多個(gè)裝載裝置和多個(gè)工藝裝置；

2.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，還包括設(shè)置在所述內(nèi)腔外的外腔；所述外腔與所述內(nèi)腔之間具有間隙。

3.如權(quán)利要求2所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，任一所述內(nèi)腔的壓力大于所述間隙的壓力。

4.如權(quán)利要求3所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，還包括氣體噴嘴，所述氣體噴嘴設(shè)置于所述外腔的內(nèi)壁，位于兩兩所述內(nèi)腔之間；所述氣體噴嘴朝兩兩所述內(nèi)腔中噴射惰性氣體。

5.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，所述傳送裝置為傳送履帶，所述傳送履帶設(shè)置于所述連接通道內(nèi)。

6.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，還包括多個(gè)載盤，所述載盤位于裝載裝置上，用于承載所述物料。

7.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，所述裝載裝置通過鉸鏈可移動(dòng)地設(shè)置于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

8.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，多個(gè)所述工藝裝置沿軸向方向等距排布于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

9.如權(quán)利要求1所述的垂直型ald設(shè)備，其特征在于，多個(gè)所述裝載裝置沿軸向方向等距排布于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種垂直型ALD設(shè)備，包括：內(nèi)腔、多個(gè)裝載裝置和多個(gè)工藝裝置；物料設(shè)置于所述裝載裝置上，所述多個(gè)裝載裝置間隔設(shè)置于所述內(nèi)腔的側(cè)壁中，所述裝載裝置用于帶動(dòng)所述物料沿軸向方向移動(dòng)。通過在內(nèi)腔的側(cè)壁中設(shè)置多個(gè)可上下移動(dòng)的裝載裝置，帶動(dòng)放置在裝載裝置上的多個(gè)電池片進(jìn)行上下移動(dòng)，充分利用了上方的空間，減小了ALD設(shè)備的橫向占地面積。且橫向設(shè)置的多個(gè)裝載裝置上均能放置多個(gè)電池片，多個(gè)工藝裝置依次對上下移動(dòng)的多個(gè)電池片進(jìn)行吹掃，實(shí)現(xiàn)批量電池片的ALD工藝操作，提高了電池片的產(chǎn)能。

技術(shù)研發(fā)人員：徐銳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天合光能股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240611
技術(shù)公布日：2025/5/19