本申請涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工領(lǐng)域，具體涉及一種加熱載具以及加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體或者光伏材料加工領(lǐng)域，通常采用化學(xué)氣相沉積(chemical?vapordeposition，cvd)技術(shù)或者擴(kuò)散工藝對片狀材料(如硅片)進(jìn)行加工。在對片狀材料加工時，需要先將片狀材料放置于載具中，然后將載具送入反應(yīng)爐中進(jìn)行高溫加工。

2、相關(guān)技術(shù)中，反應(yīng)爐通常使用加熱絲進(jìn)行加熱，具體地，傳統(tǒng)的反應(yīng)爐從外向里通常包括：外殼、保溫層、電熱絲和真空腔，承載有片狀材料的載具放置于真空腔中，在加熱時，電熱絲通電后產(chǎn)生熱量，熱量透過真空腔傳遞給反應(yīng)爐內(nèi)的載具和片狀材料，使得片狀材料達(dá)到反應(yīng)需要的溫度；其中，由于透明石英材質(zhì)透光性強，熱量傳遞速度更快，真空腔通常采用石英材質(zhì)。但是，由于電熱絲與片狀材料之間距離較遠(yuǎn)，會出現(xiàn)加熱速度慢、熱滯后性大的問題；并且，長期使用后石英真空腔會被鍍上膜，導(dǎo)致石英真空腔的透光性降低，從而會降低加熱效率和加熱速度；另外，石英真空腔在高溫下易炸管碎裂，殘渣留在電熱絲上難以清理，會造成反應(yīng)爐的報廢。因此，如何提升反應(yīng)爐的加熱效率，并避免真空腔炸裂成為亟待解決的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問題，提出了本申請。本申請實施例提供了一種加熱載具以及加工設(shè)備。

2、第一方面，本申請一實施例提供了一種加熱載具，包括：至少兩片舟片，沿第一方向間隔排列，舟片被配置為承載片狀材料；連接件，被配置為連接至少兩片舟片；至少一個加熱組件，加熱組件設(shè)置于第一個舟片的遠(yuǎn)離最后一個舟片的一側(cè)，和/或，加熱組件設(shè)置于最后一個舟片的遠(yuǎn)離第一個舟片的一側(cè)，以使第一個舟片和/或最后一個舟片形成加熱舟片，加熱組件被配置為通過加熱舟片向片狀材料傳遞熱量。

3、在一些實施例中，加熱組件包括加熱絲；其中，沿加熱舟片的延伸方向，加熱舟片具有第一端和第二端，加熱絲由加熱舟片的第一端延伸至加熱舟片的第二端。

4、在一些實施例中，加熱載具還包括：多個限位件，分別設(shè)置于加熱舟片的第一端和的第二端，被配置為將加熱絲固定于加熱舟片。

5、在一些實施例中，加熱舟片具有交叉設(shè)置的第一對稱面和第二對稱面，多個限位件相對于第一對稱面對稱設(shè)置，和/或，多個限位件相對于第二對稱面對稱設(shè)置。

6、在一些實施例中，加熱絲包括：多個直線段，沿第二方向間隔設(shè)置，第二方向與舟片的延伸方向和第一方向垂直；多個彎曲段，相鄰的兩個直線段通過一個彎曲段連接。

7、在一些實施例中，加熱舟片的設(shè)置加熱絲的表面包括中心區(qū)域和環(huán)繞中心區(qū)域的邊緣區(qū)域；其中，加熱絲設(shè)置于中心區(qū)域和邊緣區(qū)域。

8、在一些實施例中，加熱載具還包括：測溫裝置，測溫裝置的檢測端設(shè)置于中心區(qū)域。

9、在一些實施例中，加熱載具還包括：射頻電極組件，與舟片電連接，被配置為向舟片供電；屏蔽件，設(shè)置于加熱組件與加熱舟片之間，被配置為隔離加熱組件與射頻電極組件。

10、在一些實施例中，加熱載具還包括：至少一個固定板，設(shè)置于每個加熱組件背離加熱舟片的一側(cè)，連接件進(jìn)一步被配置為連接固定板與加熱舟片。

11、第二方面，本申請一實施例提供了一種加工設(shè)備，包括：反應(yīng)爐，具有反應(yīng)腔，被配置為對片狀材料進(jìn)行加工；上述第一方面任一的加熱載具，能夠放置于反應(yīng)腔內(nèi)，被配置為承載片狀材料并對片狀材料進(jìn)行加熱。

12、本申請實施例提出的加熱載具以及加工設(shè)備，第一，由于加熱組件設(shè)置于至少兩片舟片的一側(cè)或兩側(cè)，加熱組件與片狀材料的距離較近，提升了加熱效率和加熱的均勻性；第二，加熱組件產(chǎn)生的熱量會先傳遞至舟片再傳遞至片狀材料，無需經(jīng)過真空腔，因此，即使真空腔長期使用后被鍍膜也不會影響加熱速度；第三，由于不需要在真空腔外設(shè)置熱場進(jìn)行加熱，節(jié)省了設(shè)備成本，并且，真空腔可以不使用熱量傳遞速度更快的透明石英材質(zhì)，可以使用金屬或者碳化硅材質(zhì)的真空腔，由于金屬材質(zhì)韌性更強，碳化硅材質(zhì)強度更高，使用金屬或者碳化硅材質(zhì)的真空腔，可以提升真空腔的使用壽命。

技術(shù)特征：

1.一種加熱載具，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱載具，其特征在于，所述加熱組件包括加熱絲；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱載具，其特征在于，還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱載具，其特征在于，所述加熱舟片具有交叉設(shè)置的第一對稱面和第二對稱面，多個所述限位件相對于所述第一對稱面對稱設(shè)置，和/或，多個所述限位件相對于所述第二對稱面對稱設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱載具，其特征在于，所述加熱絲包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱載具，其特征在于，所述加熱舟片的設(shè)置所述加熱絲的表面包括中心區(qū)域和環(huán)繞所述中心區(qū)域的邊緣區(qū)域；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱載具，其特征在于，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的加熱載具，其特征在于，還包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一項所述的加熱載具，其特征在于，還包括：

10.一種加工設(shè)備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N加熱載具以及加工設(shè)備，涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工領(lǐng)域，解決了傳統(tǒng)的反應(yīng)爐加熱效率低的技術(shù)問題。該加熱載具包括：至少兩片舟片，沿第一方向間隔排列，舟片被配置為承載片狀材料；連接件，被配置為連接至少兩片舟片；至少一個加熱組件，加熱組件設(shè)置于第一個舟片的遠(yuǎn)離最后一個舟片的一側(cè)，和/或，加熱組件設(shè)置于最后一個舟片的遠(yuǎn)離第一個舟片的一側(cè)，以使第一個舟片和/或最后一個舟片形成加熱舟片，加熱組件被配置為通過加熱舟片向片狀材料傳遞熱量。由于加熱組件設(shè)置于至少兩片舟片的一側(cè)或兩側(cè)，加熱組件與片狀材料的距離較近，提升了加熱效率和加熱的均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：楊芳,朱太榮,黃小琳,趙國建,張武
受保護(hù)的技術(shù)使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240808
技術(shù)公布日：2025/5/19