本發(fā)明涉及防著板去膜，尤其涉及一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置及其方法。

背景技術(shù)：

1、由光的作用產(chǎn)生的電叫光電，以光電學(xué)為基礎(chǔ)，綜合利用光學(xué)、精密機(jī)械、電子學(xué)和計(jì)算機(jī)技術(shù)解決各種工程應(yīng)用課題的技術(shù)學(xué)科。光電行業(yè)在近代發(fā)展得到飛速發(fā)展，涉及面也逐漸擴(kuò)散，在光通訊、激光、光電顯示、光學(xué)、太陽(yáng)能電伏、電子工程、物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域發(fā)展比較明顯，逐漸融入更廣闊的空間。

2、在真空濺鍍等鍍膜工藝中，靶材原子在電場(chǎng)作用下被濺射出來(lái)，除了沉積到目標(biāo)基板上形成所需薄膜外，還會(huì)有一部分濺射原子飛散到濺鍍?cè)O(shè)備的內(nèi)壁上，防著板作為設(shè)備內(nèi)壁的一部分，其表面就會(huì)附著上這些濺射出的銅原子，逐漸形成銅膜，為了增加光電設(shè)備的使用壽命，需要對(duì)附著板表面的銅膜去除，化學(xué)方法去除存在消耗鋁材質(zhì)的母材、銅單質(zhì)浪費(fèi)等問(wèn)題，目前在去膜的過(guò)程中需要對(duì)防著板的表面進(jìn)行電鎬振動(dòng)的物理方法予以剝離，耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)的同時(shí)，也存在費(fèi)時(shí)費(fèi)力、膜層去除不干凈以及防著板變形等問(wèn)題，為此提出一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置及其方法，用于解決目前在去膜的過(guò)程中需要對(duì)防著板的表面進(jìn)行電鎬振動(dòng)的物理方法予以剝離，耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)的同時(shí)，也存在費(fèi)時(shí)費(fèi)力、膜層去除不干凈以及防著板變形等問(wèn)題的問(wèn)題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：

3、一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，包括防著板本體，所述防著板本體上設(shè)置有附著面和后背面，所述后背面的一側(cè)開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)吹氣孔，所述調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)移動(dòng)槽，多個(gè)移動(dòng)槽分別與多個(gè)吹氣孔相連通，所述移動(dòng)槽內(nèi)設(shè)置有氣孔阻擋組件，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)滑動(dòng)安裝有導(dǎo)向塊，所述導(dǎo)向塊上安裝有吹氣對(duì)接組件，所述附著面的一側(cè)設(shè)置有去除掀起組件，用于將吹起的銅膜掀起。

4、優(yōu)選的，所述氣孔阻擋組件包括活動(dòng)安裝在移動(dòng)槽內(nèi)的兩個(gè)密封擋塊，兩個(gè)密封擋塊的一側(cè)均開(kāi)設(shè)有弧形槽口，所述密封擋塊的側(cè)部與移動(dòng)槽的內(nèi)壁之間固定安裝有擠壓彈簧。

5、優(yōu)選的，所述移動(dòng)槽的一側(cè)內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有限位槽，密封擋塊的一側(cè)固定安裝有限位塊，限位塊滑動(dòng)安裝在限位槽內(nèi)。

6、優(yōu)選的，所述吹氣對(duì)接組件包括開(kāi)設(shè)在導(dǎo)向塊底部的底部槽，底部槽的內(nèi)壁上固定安裝有充氣連接座，充氣連接座的兩側(cè)均設(shè)置有傾斜擠壓面，兩側(cè)的傾斜擠壓面與弧形槽口相連接，充氣連接座的底部與調(diào)節(jié)槽的底側(cè)內(nèi)壁相接觸。

7、優(yōu)選的，所述充氣連接座的頂部連接有充氣管，充氣管的頂部連接有外部連接管。

8、優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上固定安裝有導(dǎo)向柱，導(dǎo)向塊滑動(dòng)套接在導(dǎo)向柱上，導(dǎo)向塊的兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有l(wèi)型移動(dòng)孔，l型移動(dòng)孔上活動(dòng)安裝有l(wèi)型移動(dòng)定位桿，調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有一個(gè)放置定位槽和多個(gè)充氣定位槽，多個(gè)充氣定位槽分別位于吹氣孔的一側(cè)位置，l型移動(dòng)定位桿與放置定位槽和充氣定位槽相適配，l型移動(dòng)定位桿與l型移動(dòng)孔的內(nèi)壁之間固定安裝有復(fù)位彈簧。

9、優(yōu)選的，所述去除掀起組件包括開(kāi)設(shè)在附著面一側(cè)的放置槽，放置槽內(nèi)固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)軸上轉(zhuǎn)動(dòng)套接有抬起桿，抬起桿的一端固定安裝有手握桿。

10、優(yōu)選的，所述放置槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有安裝槽，安裝槽上安裝有第一磁塊，抬起桿的一側(cè)固定安裝有第二磁塊，第一磁塊和第二磁塊異性相吸。

11、一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置的使用方法，該方法包括：

12、步驟一：需要對(duì)防著板本體上的銅膜去除，移動(dòng)導(dǎo)向柱上移動(dòng)導(dǎo)向塊，會(huì)帶動(dòng)充氣連接座移動(dòng)，在移動(dòng)過(guò)程中，傾斜擠壓面會(huì)與氣孔阻擋組件上的密封擋塊接觸并推動(dòng)，兩個(gè)密封擋塊相互遠(yuǎn)離，充氣連接座將會(huì)與吹氣孔相連通；

13、步驟二：松開(kāi)l型移動(dòng)定位桿，在復(fù)位彈簧的推動(dòng)作用下移動(dòng)至充氣定位槽內(nèi)，外部連接管與外部的充氣設(shè)備進(jìn)行連接，通過(guò)不斷的輸送氣體，附著面上的銅膜，會(huì)在氣體的充氣膨脹作用下，被撐開(kāi)，通過(guò)多個(gè)吹氣孔的設(shè)置，能夠在多個(gè)位置進(jìn)行吹氣撐開(kāi)銅膜，從而實(shí)現(xiàn)銅膜自動(dòng)去除效果；

14、步驟三：當(dāng)吹起還沒(méi)有辦法自動(dòng)脫落后，工作人員握住去除掀起組件上的手握桿并抬起，帶動(dòng)抬起桿轉(zhuǎn)動(dòng)抬起，從而將膨脹開(kāi)的銅膜抬起，通過(guò)抬起能夠有效將銅膜與附著面分離，實(shí)現(xiàn)銅膜的有效去除。

15、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

16、1、本發(fā)明中，該銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，設(shè)置的吹氣孔，便于外部氣體的輸送，外部氣體通過(guò)外部連接管、吹氣孔的輸送，附著面上的銅膜，會(huì)受到充氣的作用下，膨脹撐開(kāi)，與附著面分離，從而實(shí)現(xiàn)銅膜的自動(dòng)分離，吹氣孔設(shè)置多個(gè)，能夠從多個(gè)位置實(shí)現(xiàn)吹風(fēng)分離銅膜。

17、2、本發(fā)明中，該銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，設(shè)置的吹氣對(duì)接組件，通過(guò)不斷移動(dòng)導(dǎo)向塊的位置，從而能夠調(diào)節(jié)充氣連接座與吹氣孔的對(duì)接，設(shè)置的l型移動(dòng)定位桿移動(dòng)至充氣定位槽內(nèi)，實(shí)現(xiàn)充氣過(guò)程中的位置固定。

18、3、本發(fā)明中，該銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，設(shè)置的去除掀起組件，去除掀起組件上的抬起桿抬起后，對(duì)吹起膨脹的銅膜抬升，能夠?qū)⒋灯饹](méi)有自動(dòng)脫離的銅膜去除掉，采用雙重方式去除銅膜，銅膜去除更加徹底。

技術(shù)特征：

1.一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，包括防著板本體(1)，其特征在于，所述防著板本體(1)上設(shè)置有附著面(2)和后背面(3)，所述后背面(3)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽(4)，調(diào)節(jié)槽(4)的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)吹氣孔(5)，所述調(diào)節(jié)槽(4)的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)移動(dòng)槽(6)，多個(gè)移動(dòng)槽(6)分別與多個(gè)吹氣孔(5)相連通，所述移動(dòng)槽(6)內(nèi)設(shè)置有氣孔阻擋組件，所述調(diào)節(jié)槽(4)內(nèi)滑動(dòng)安裝有導(dǎo)向塊(13)，所述導(dǎo)向塊(13)上安裝有吹氣對(duì)接組件，所述附著面(2)的一側(cè)設(shè)置有去除掀起組件，用于將吹起的銅膜掀起。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述氣孔阻擋組件包括活動(dòng)安裝在移動(dòng)槽(6)內(nèi)的兩個(gè)密封擋塊(7)，兩個(gè)密封擋塊(7)的一側(cè)均開(kāi)設(shè)有弧形槽口(8)，所述密封擋塊(7)的側(cè)部與移動(dòng)槽(6)的內(nèi)壁之間固定安裝有擠壓彈簧(11)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述移動(dòng)槽(6)的一側(cè)內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有限位槽(9)，密封擋塊(7)的一側(cè)固定安裝有限位塊(10)，限位塊(10)滑動(dòng)安裝在限位槽(9)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述吹氣對(duì)接組件包括開(kāi)設(shè)在導(dǎo)向塊(13)底部的底部槽(14)，底部槽(14)的內(nèi)壁上固定安裝有充氣連接座(15)，充氣連接座(15)的兩側(cè)均設(shè)置有傾斜擠壓面(16)，兩側(cè)的傾斜擠壓面(16)與弧形槽口(8)相連接，充氣連接座(15)的底部與調(diào)節(jié)槽(4)的底側(cè)內(nèi)壁相接觸。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述充氣連接座(15)的頂部連接有充氣管(17)，充氣管(17)的頂部連接有外部連接管(18)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)槽(4)的內(nèi)壁上固定安裝有導(dǎo)向柱(12)，導(dǎo)向塊(13)滑動(dòng)套接在導(dǎo)向柱(12)上，導(dǎo)向塊(13)的兩側(cè)均開(kāi)設(shè)有l(wèi)型移動(dòng)孔(19)，l型移動(dòng)孔(19)上活動(dòng)安裝有l(wèi)型移動(dòng)定位桿(20)，調(diào)節(jié)槽(4)的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有一個(gè)放置定位槽(22)和多個(gè)充氣定位槽(23)，多個(gè)充氣定位槽(23)分別位于吹氣孔(5)的一側(cè)位置，l型移動(dòng)定位桿(20)與放置定位槽(22)和充氣定位槽(23)相適配，l型移動(dòng)定位桿(20)與l型移動(dòng)孔(19)的內(nèi)壁之間固定安裝有復(fù)位彈簧(21)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述去除掀起組件包括開(kāi)設(shè)在附著面(2)一側(cè)的放置槽(24)，放置槽(24)內(nèi)固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)軸(25)，轉(zhuǎn)動(dòng)軸(25)上轉(zhuǎn)動(dòng)套接有抬起桿(26)，抬起桿(26)的一端固定安裝有手握桿(27)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，其特征在于，所述放置槽(24)的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有安裝槽(28)，安裝槽(28)上安裝有第一磁塊(29)，抬起桿(26)的一側(cè)固定安裝有第二磁塊(30)，第一磁塊(29)和第二磁塊(30)異性相吸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任意一項(xiàng)所述的一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置的使用方法，該方法包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置及其方法，包括防著板本體，所述防著板本體上設(shè)置有附著面和后背面，所述后背面的一側(cè)開(kāi)設(shè)有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)吹氣孔，所述調(diào)節(jié)槽的內(nèi)壁上開(kāi)設(shè)有多個(gè)移動(dòng)槽，多個(gè)移動(dòng)槽分別與多個(gè)吹氣孔相連通，所述移動(dòng)槽內(nèi)設(shè)置有氣孔阻擋組件，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)滑動(dòng)安裝有導(dǎo)向塊，所述導(dǎo)向塊上安裝有吹氣對(duì)接組件，本發(fā)明中，該銅膜防著板自動(dòng)去膜裝置，設(shè)置的吹氣孔，便于外部氣體的輸送，外部氣體通過(guò)外部連接管、吹氣孔的輸送，附著面上的銅膜，會(huì)受到充氣的作用下，膨脹撐開(kāi)，與附著面分離，從而實(shí)現(xiàn)銅膜的自動(dòng)分離，吹氣孔設(shè)置多個(gè)，能夠從多個(gè)位置實(shí)現(xiàn)吹風(fēng)分離銅。

技術(shù)研發(fā)人員：張炎,陳英豪,蘭飛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州普瑞賽光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15