實施例涉及一種沉積掩模及其制造方法。

背景技術(shù)：

1、顯示裝置已被應(yīng)用于各種裝置。例如，顯示裝置已被應(yīng)用于諸如智能電話或臺式pc的小型裝置以及諸如電視、監(jiān)視器或公共顯示器(pd，public?displays)的大型裝置。特別地，近來，對500ppi(每英寸像素：pixel?per?inch)以上的超高清(uhd：ultra?highdefinition)的需求增加，并且高清顯示裝置已被應(yīng)用于小型裝置和大型裝置。因此，對于實現(xiàn)低電力和高清晰度的技術(shù)越來越關(guān)注。

2、通常使用的顯示裝置可以根據(jù)驅(qū)動方法大致分為液晶顯示器(lcd)和有機發(fā)光二極管(oled)。

3、lcd是指使用液晶驅(qū)動的顯示裝置，并且具有在液晶下方設(shè)置包括冷陰極熒光燈(ccfl：cold?cathode?fluorescent?lamp)或發(fā)光二極管(led：light?emitting?diode)的光源的結(jié)構(gòu)。lcd是通過使用設(shè)置在光源上的液晶來控制從光源發(fā)出的光的量進行驅(qū)動的顯示裝置。

4、另外，oled是指在沒有單獨的光源的情況下使用有機材料驅(qū)動的顯示裝置，并且oled可以使用有機材料作為光源以低電力驅(qū)動。另外，oled作為能夠表現(xiàn)出無限的對比度、具有l(wèi)cd響應(yīng)速度的1000倍的快速響應(yīng)速度、具有優(yōu)異的視角、并且能夠代替lcd的顯示裝置引起了關(guān)注。

5、特別地，在oled中，發(fā)光層中包括的有機材料可以通過稱為精細(xì)金屬掩模(fmm：fine?metal?mask)的沉積掩模而沉積在基板上，并且沉積的有機材料可以以與沉積掩模中形成的圖案相對應(yīng)的圖案形成而用作像素。沉積掩模通常由包含鐵(fe)和鎳(ni)的殷鋼金屬板制成。此時，通孔形成在金屬板的一個表面和另一表面中并穿透金屬板的一個表面和另一表面，并且通孔可以形成在與像素圖案相對應(yīng)的位置處。因此，諸如紅色、綠色和藍色的有機材料可以通過金屬板的通孔而沉積在基板上，并且像素圖案可以形成在基板上。

6、沉積掩?？梢园ǔ练e區(qū)域的可用部分和除可用部分之外的不可用部分。另外，可用部分可以包括設(shè)置在中心的可用區(qū)域和圍繞可用區(qū)域的外部區(qū)域。不可用部分是可用部分的外部區(qū)域的外圍區(qū)域。

7、此時，在沉積掩模的不可用部分中不形成通孔，僅在可用區(qū)域和外部區(qū)域中形成通孔。

8、另一方面，通過蝕刻溶液來形成沉積掩模的通孔。此時，在使用蝕刻溶液的蝕刻工藝中，發(fā)生自由基集中在與未形成通孔的不可用部分相鄰設(shè)置的外部區(qū)域中的現(xiàn)象。

9、另外，由于自由基集中的現(xiàn)象，使得在外部區(qū)域中形成的通孔的尺寸大于目標(biāo)尺寸。隨著在外部區(qū)域中形成的通孔的尺寸變得大于目標(biāo)尺寸，在外部區(qū)域上形成的島部的尺寸減小，并且連接通孔與通孔的肋的中心部分的厚度減小。

10、因此，當(dāng)在沉積掩模中形成的通孔以相同的尺寸被圖案化時，由于在外部區(qū)域中的過度蝕刻導(dǎo)致通孔的直徑不均勻，從而降低了圖案沉積效率并導(dǎo)致沉積失敗。

11、另外，隨著在外部區(qū)域中的島部的尺寸減小，肋的中心部分的厚度減小，從而削弱了沉積掩模的整體強度。因此，在oled面板的制造過程中，當(dāng)沉積掩模被拉伸并且被焊接到掩?？蚣軙r，可用部分的可用區(qū)域和外部區(qū)域分離。

12、因此，需要一種用于解決上述問題的新型的沉積掩模以及其制造方法。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、技術(shù)問題

2、旨在解決技術(shù)問題的本公開的一個目的在于，能夠防止在沉積掩模的外部區(qū)域中發(fā)生過度蝕刻的沉積掩模及其制造方法。

3、實施例的另一個目的是提供一種能夠防止在未進行蝕刻的不可用部分與進行蝕刻的可用部分之間發(fā)生過度蝕刻的沉積掩模、及其制造方法。

4、實施例的又一個目的是提供一種能夠提高連接沉積掩模中的外部區(qū)域的通孔和可用區(qū)域的通孔的肋的強度的沉積掩模、及其制造方法。

5、實施例的再一個目的是提供一種在包括可用區(qū)域和外部區(qū)域的可用部分中不包括未蝕刻區(qū)域的沉積掩模、及其制造方法。

6、通過本公開解決的技術(shù)問題不限于以上技術(shù)問題，并且根據(jù)以下描述，本文中未描述的其他技術(shù)問題對于本領(lǐng)域技術(shù)人員將變得顯而易見。

7、技術(shù)方案

8、根據(jù)實施例，提供一種由用于有機發(fā)光二極管(oled)像素沉積的金屬材料形成的沉積掩模，該沉積掩模包括多個用于沉積的可用部分和除可用部分之外的不可用部分，其中，可用部分包括在縱向方向上彼此間隔開并且設(shè)置在可用部分的中心處的多個可用區(qū)域、以及分別圍繞多個可用區(qū)域的外部區(qū)域，其中，可用區(qū)域包括在一個表面中形成的多個第一小孔、在與一個表面相對的另一表面中形成的多個第一大孔、與第一小孔和第一大孔連通的多個第一通孔、以及在第一通孔之間形成的第一島部，其中，外部區(qū)域包括在一個表面中形成的多個第二小孔、在與一個表面相對的另一表面上形成的多個第二大孔、與第二小孔和第二大孔連通的多個第二通孔、以及在第二通孔之間形成的第二島部，其中，第二通孔被設(shè)置為圍繞可用區(qū)域并且具有比第一通孔小的尺寸。

9、另外，第二通孔的中心之間的間距可以大于第一通孔的中心之間的間距。

10、另外，可用區(qū)域中的第一通孔的第一開口率可以大于外部區(qū)域中的第二通孔的第二開口率。

11、另外，第一島部的面積可以小于第二島部的面積。

12、另外，可用區(qū)域可以包括通過使第一通孔的第一大孔彼此接觸而形成的第一肋，外部區(qū)域可以包括通過使第二通孔的第二大孔彼此接觸而形成的第二肋，并且第二肋的中心部分的厚度可以小于非沉積部分的厚度并且可以大于第一肋的中心部分的厚度。

13、沉積掩?？梢赃M一步包括通過使第一通孔的第一大孔與第二通孔的第二大孔在可用區(qū)域與外部區(qū)域之間的邊界處接觸而形成的第三肋，并且第三肋的中心部分的厚度可以小于非沉積區(qū)域的厚度。

14、第三肋的中心部分的厚度可以大于第一肋的中心部分的厚度并且可以小于第二肋的中心部分的厚度。

15、沉積掩模可以進一步包括在可用區(qū)域與外部區(qū)域之間的邊界中位于第一通孔與第二通孔之間的第三島部，并且第三島部的上表面的面積可以大于第一島部的上表面的面積并且可以小于第二島部的上表面的面積。

16、另外，第三島部可以包括位于可用區(qū)域中的第一子第三島部和位于外部區(qū)域中的第二子第三島部，并且第一子第三島部的上表面的面積可以小于第二子第三島部的上表面的面積。

17、另外，外部區(qū)域可以包括與可用區(qū)域相鄰設(shè)置并且圍繞可用區(qū)域的第一外部區(qū)域、以及與不可用區(qū)域相鄰設(shè)置并且圍繞第一外部區(qū)域的第二外部區(qū)域，第二通孔可以位于第一外部區(qū)域中，第二外部區(qū)域可以包括在一個表面中形成的多個第三小孔、在與一個表面相對的另一表面中形成的多個第三大孔、與多個第三小孔和第三大孔連通的多個第三通孔、以及在第三通孔之間形成的第四島部，并且第二通孔可以具有比第一通孔更小的尺寸和比第三通孔更大的尺寸。

18、另外，第二外部區(qū)域可以包括位于第二外部區(qū)域的最外側(cè)并且包括在另一表面中形成的多個第四大孔的多個半蝕刻部分。

19、另外，通孔不位于不可用部分中。

20、根據(jù)實施例，提供一種用于有機發(fā)光二極管(oled)像素沉積的沉積掩模的制造方法，該方法包括：制備金屬板，所述金屬板包括用于形成沉積圖案的可用部分、以及除可用部分以外的不可用部分，所述可用部分包括多個可用區(qū)域和圍繞可用區(qū)域的外部區(qū)域；在金屬板的一個表面上設(shè)置第一光刻膠層并將第一光刻膠層圖案化；將圖案化的第一光刻膠層的第一開口部分半蝕刻以在金屬板的沉積區(qū)域的一個表面上形成第一凹槽；在與金屬板的一個表面相對的另一表面上設(shè)置第二光刻膠層并將第二光刻膠層圖案化，以具有可用區(qū)域中的具有第一寬度的第二開口部分以及外部區(qū)域中的具有小于第一寬度的第二寬度的第三開口部分；將圖案化的第二光刻膠層的第二開口部分和第三開口部分半蝕刻以形成第二凹槽和第三凹槽，并形成連通第一凹槽和第二凹槽的第一通孔以及連通第一凹槽和第三凹槽的第二通孔；以及去除第一光刻膠層和第二光刻膠層以形成包括設(shè)置在可用部分的可用區(qū)域中的第一通孔和設(shè)置在可用部分的外部區(qū)域中的第二通孔的沉積掩模，其中，第二通孔的尺寸小于第一通孔的尺寸，并且被布置成圍繞第一通孔所位于的可用區(qū)域。

21、另外，通孔不位于沉積掩模的不可用區(qū)域中。

22、另外，沉積掩模的形成包括在可用區(qū)域與外部區(qū)域之間的邊界中形成與第一通孔的第二凹槽和第二通孔的第三凹槽接觸的肋，并且該肋具有小于非沉積區(qū)域的厚度。

23、有益效果

24、根據(jù)實施例，可以在沉積掩模中形成具有均勻孔徑的掩模圖案。

25、根據(jù)實施例，可以解決這樣的現(xiàn)象：當(dāng)外部區(qū)域的通孔的尺寸與位于沉積掩模的可用部分的中心處的可用區(qū)域的通孔的尺寸相比減小時，在oled面板的制造過程中在沉積之前拉伸和焊接的期間，可用部分與不可用部分分離并且從沉積掩模脫落。

26、根據(jù)實施例，通孔不位于未參與沉積的不可用部分中。因此，可以確保能夠增加不可用部分中的沉積掩模的剛性的體積。

27、根據(jù)實施例，可用部分的外部區(qū)域設(shè)置成不僅圍繞位于可用部分的中心處的可用區(qū)域的左側(cè)和右側(cè)，而且還圍繞可用區(qū)域的上側(cè)和下側(cè)。因此，外部區(qū)域的通孔位于包括可用區(qū)域的左側(cè)、右側(cè)、上側(cè)和下側(cè)的外圍中。另外，根據(jù)實施例，外部區(qū)域的通孔和可用區(qū)域的通孔可以通過一個肋連接。此時，肋的中心部分的厚度小于作為原材料的金屬板的厚度。即，在包括可用區(qū)域和外部區(qū)域的可用部分中不存在未蝕刻區(qū)域。因此，在實施例中，可以解決自由基集中在沉積掩模中的蝕刻區(qū)域與未蝕刻區(qū)域之間的問題。因此，根據(jù)實施例的沉積掩?？梢跃哂懈_和均勻的通孔、以及具有400ppi以上的清晰度、優(yōu)選地500ppi以上的高清晰度、更優(yōu)選地800ppi以上的超高清晰度的oled像素圖案。