本申請涉及半導(dǎo)體設(shè)備，具體涉及一種拋光墊。

背景技術(shù)：

1、在晶圓生產(chǎn)的過程中，需要使用拋光設(shè)備對晶圓進行最終拋光，以消除晶圓表面的微小劃傷，使晶圓的平坦度和產(chǎn)品狀態(tài)達到最好水平。

2、拋光設(shè)備在對晶圓進行拋光時，使晶圓和拋光墊緊密貼合并發(fā)生高速的相對運動，以通過相對運動產(chǎn)生的摩擦來實現(xiàn)對晶圓表面的拋光。拋光墊為一次性用品，其使用一段時間后會發(fā)生磨損而需要更換，目前拋光設(shè)備更換拋光墊的用時較長，嚴重影響了拋光設(shè)備的稼動率。

3、并且，目前同一拋光墊的拋光性能較為單一，使用局限性較大。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請?zhí)峁┝艘环N拋光墊，其能夠更加簡單方便的實現(xiàn)更換，顯著提升拋光設(shè)備的稼動率，并且還可以具有多樣化的拋光性能，滿足不同類型晶圓的加工需求。

2、為了達到上述目的，本申請?zhí)峁┤缦录夹g(shù)方案：

3、一種拋光墊，包括層疊設(shè)置的多個拋光層，相鄰所述拋光層之間通過連接層連接，所述連接層允許相鄰的所述拋光層分離；

4、并且，每個所述拋光層均包括本體部和連接在所述本體部上并能與所述本體部分離的多個分離部，所述分離部通過從所述本體部上分離以在所述本體部上形成溝槽，并且通過分離不同所述分離部能夠在所述本體部上形成不同的溝槽結(jié)構(gòu)。

5、可選的，上述拋光墊中，不同所述拋光層分離所述分離部后形成的溝槽結(jié)構(gòu)不同。

6、可選的，上述拋光墊中，層疊設(shè)置的多個所述拋光層包括在層疊方向上位于最上層的頂層拋光層和位于最下層的底層拋光層，所述底層拋光層用于與拋光設(shè)備連接，并且，從所述頂層拋光層到所述底層拋光層的方向上，多個所述連接層的連接強度依次增大。

7、可選的，上述拋光墊中，所述底層拋光層的下表面上設(shè)置有用于連接所述拋光設(shè)備的粘接層，所述粘接層的粘接強度大于全部所述連接層的連接強度。

8、可選的，上述拋光墊中，所述本體部和所述分離部均為無紡布。

9、可選的，上述拋光墊中，所述本體部包括基體部和凸出于所述基體部的凸起部，相鄰所述凸起部圍成所述溝槽，且所述分離部填充于相鄰所述凸起部之間。

10、可選的，上述拋光墊中，不同所述溝槽結(jié)構(gòu)的槽寬、槽深、槽間距和/或槽排列形狀不同。

11、可選的，上述拋光墊中，不同所述拋光層通過分離不同的所述分離層形成的溝槽結(jié)構(gòu)包括第一溝槽結(jié)構(gòu)、第二溝槽結(jié)構(gòu)和第三溝槽結(jié)構(gòu)，其中：

12、所述第一溝槽結(jié)構(gòu)包括形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的多個溝槽，每個所述溝槽的槽寬均為1mm，相鄰所述溝槽之間的槽間距為3mm；

13、所述第二溝槽結(jié)構(gòu)包括形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的多個溝槽，每個所述溝槽的槽寬均為2mm，相鄰所述溝槽之間的槽間距為8mm；

14、所述第三溝槽結(jié)構(gòu)包括形成網(wǎng)格結(jié)構(gòu)的多個溝槽，每個所述溝槽的槽寬均為2mm，相鄰所述溝槽之間的槽間距為18mm。

15、可選的，上述拋光墊中，所述連接層為壓敏膠層。

16、可選的，上述拋光墊中，所述拋光層的層數(shù)為6層或大于6層。

17、本申請?zhí)峁┑膾伖鈮|，層疊設(shè)置了多個拋光層，并且相鄰拋光層之間通過連接層連接，將其安裝到拋光設(shè)備上對晶圓進行拋光，工作一段時間后，當(dāng)最頂層的拋光層因與晶圓摩擦而發(fā)生磨損或使用壽命到期后，只需通過連接層使發(fā)生磨損或使用壽命到期的最上層的拋光層與其他層分離(即撕掉最上層的拋光層)，就能夠使位于下一層的全新的拋光層外露，然后就可使此拋光層繼續(xù)對晶圓進行拋光，更換操作僅為撕去發(fā)生磨損或使用壽命到期的拋光層，相對于現(xiàn)有技術(shù)中將廢舊拋光墊從拋光設(shè)備上移除、再將新的拋光墊安裝到拋光設(shè)備上的更換方式，使得操作步驟得到了簡化、操作便捷性提高，省時省力，縮短了拋光設(shè)備的停機時間，顯著提高了拋光設(shè)備的稼動率。并且，在每個拋光層上，其用于導(dǎo)流拋光液的溝槽是通過從本體部上分離分離部成型的，由于分離部具有多個，所以通過分離不同的分離部，就可以在每個拋光層上形成不同的溝槽結(jié)構(gòu)，進而使得不同的拋光層具有不同的拋光性能，如此就可以使用不同的拋光層來分別加工不同類型的晶圓，使得拋光墊可以具有多樣化的拋光性能，可以適用于多種不同類型的晶圓。

技術(shù)特征：

1.一種拋光墊，其特征在于，包括層疊設(shè)置的多個拋光層，相鄰所述拋光層之間通過連接層連接，所述連接層允許相鄰的所述拋光層分離；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，不同所述拋光層分離所述分離部后形成的溝槽結(jié)構(gòu)不同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，層疊設(shè)置的多個所述拋光層包括在層疊方向上位于最上層的頂層拋光層和位于最下層的底層拋光層，所述底層拋光層用于與拋光設(shè)備連接，并且，從所述頂層拋光層到所述底層拋光層的方向上，多個所述連接層的連接強度依次增大。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光墊，其特征在于，所述底層拋光層的下表面上設(shè)置有用于連接所述拋光設(shè)備的粘接層，所述粘接層的粘接強度大于全部所述連接層的連接強度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，所述本體部和所述分離部均為無紡布。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光墊，其特征在于，所述本體部包括基體部和凸出于所述基體部的凸起部，相鄰所述凸起部圍成所述溝槽，且所述分離部填充于相鄰所述凸起部之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光墊，其特征在于，不同所述溝槽結(jié)構(gòu)的槽寬、槽深、槽間距和/或槽排列形狀不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光墊，其特征在于，不同所述拋光層通過分離不同的所述分離層形成的溝槽結(jié)構(gòu)包括第一溝槽結(jié)構(gòu)、第二溝槽結(jié)構(gòu)和第三溝槽結(jié)構(gòu)，其中：

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項所述的拋光墊，其特征在于，所述連接層為壓敏膠層。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的拋光墊，其特征在于，所述拋光層的層數(shù)為6層或大于6層。

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N拋光墊，包括層疊設(shè)置的多個拋光層，相鄰所述拋光層之間通過連接層連接，所述連接層允許相鄰的所述拋光層分離；并且，每個所述拋光層均包括本體部和連接在所述本體部上并能與所述本體部分離的多個分離部，所述分離部通過從所述本體部上分離以在所述本體部上形成溝槽，并且通過分離不同所述分離部能夠在所述本體部上形成不同的溝槽結(jié)構(gòu)。上述的拋光墊，其能夠更加簡單方便的實現(xiàn)更換，顯著提升拋光設(shè)備的稼動率，并且還可以具有多樣化的拋光性能，滿足不同類型晶圓的加工需求。

技術(shù)研發(fā)人員：李龍
受保護的技術(shù)使用者：西安奕斯偉材料科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15