專利名稱：：碳化鎢粉末及其制造方法、以及使用該碳化鎢粉末的超硬材料和工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及碳化鎢粉末及其制造方法，以及使用該碳化鉤粉末的超硬材料和工具。
背景技術(shù)：
：在要求高硬度的切削工具中使用超硬材料。作為超硬材料，使用將碳化鎢(wc)粉末之類的硬質(zhì)粉末加壓成形后將其在還原氣氛中燒成而得的燒結(jié)體。已知wc粉末的燒結(jié)體中，燒結(jié)后的結(jié)晶粒徑越小，則切削工具用超硬材料所要求的硬度等特性越高。因此，要求作為切削工具用超硬材料的原料粉末使用的wc粉末能進(jìn)一步地微?；?。作為微粒狀的wc粉末的制造方法，目前提出了多種方法，可得到工業(yè)級(jí)的具有約0.30.6um左右的平均粒徑的WC粉末。專利文獻(xiàn)1記載了將三氧化鉤(W03)粉末和碳粉末的化合物顆粒化后，在氮?dú)庵幸?0971497"C的溫度對(duì)其加熱，接著在氫氣中以12971697°C的溫度加熱，將所得的塊狀的碳化物粉碎及篩分，從而制得平均粒徑為0.5um以下的WC粉末的方法。然而，在此使用沖擊粉碎機(jī)將塊狀的碳化物粉碎而制得WC粉末，因此存在易混入雜質(zhì)的問題。沖擊粉碎機(jī)中通常使用氧化鋁(Al203)制的介質(zhì)。通用的氧化鋁介質(zhì)中含有7質(zhì)量X左右的氧化硅(Si02)。因此，如果使用氧化鋁介質(zhì)進(jìn)行粉碎，則Al和Si會(huì)作為雜質(zhì)混入WC粉末中。專利文獻(xiàn)2記載了在還原氣氛中以65080(TC的溫度和9501200°C的溫度進(jìn)行2次熱處理，從而在不實(shí)施粉碎工序的情況下制得微粉末狀的WC粉末的方法。在此，將雜質(zhì)硫(S)的量減至0.001重量X(10ppm)以下的水準(zhǔn)，將雜質(zhì)鐵(Fe)的量減至O.05重量X(500ppm)以下的水準(zhǔn)。但是，除此之外的雜質(zhì)元素的減少效果未必理想。因此，可能會(huì)因S和Fe以外的雜質(zhì)元素而導(dǎo)致將WC粉末燒結(jié)而制成的超硬材料的硬度等特性下降。專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平3-208811號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2001-072406號(hào)公報(bào)發(fā)明的揭示本發(fā)明的目的是提供通過減少作為超硬材料等的原料粉末使用的碳化鎢粉末的雜質(zhì)元素含量而提高超硬材料等的特性的碳化鎢粉末及其制造方法，以及使用該碳化鴇粉末的超硬材料和工具。本發(fā)明的碳化鎢粉末具有0.8"m以下的平均粒徑，該碳化鎢粉末的特征在于，所述碳化鉤粉末中的Si含量及Ca含量均不足10ppm。本發(fā)明的碳化鎢粉末的制造方法的特征在于，包括將三氧化鎢粉末和碳粉末濕式混合的工序；在還原氣氛中以750°C以下的溫度對(duì)所述三氧化鉤粉末和所述碳粉末的混合粉末加熱，將所述三氧化鎢粉末還原，生成鎢粉末的工序；以及在還原氣氛中以100(TC以上的溫度對(duì)含有所述鎢粉末的所述混合粉末加熱，使所述鎢粉末與所述碳粉末反應(yīng)，生成碳化鎢粉末的工序。本發(fā)明的超硬材料的特征在于，具備本發(fā)明的碳化鎢粉末的燒結(jié)體。本發(fā)明的工具的特征在于，具備本發(fā)明的超硬材料。實(shí)施發(fā)明的最佳方式下面，對(duì)實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。本發(fā)明的實(shí)施方式中的碳化鎢(WC)粉末具有0.8um以下的平均粒徑。該微粉末狀態(tài)的WC粉末有利于作為超硬材料等使用的WC燒結(jié)體的結(jié)晶粒徑的微細(xì)化，藉此可使硬度等特性提高。如果WC粉末的平均粒徑超過0.8um，則無法充分地獲得WC燒結(jié)體的結(jié)晶粒徑的微細(xì)化效果，由此導(dǎo)致硬度等特性下降。WC粉末的平均粒徑更好為0.5um以下。平均粒徑的下限值無特別限制，但從制造的難易程度等方面來看，較好的是0.01um以上。如果WC粉末的平均粒徑小于0.01iim，則不僅無法獲得更佳的效果，而且制造性和操作性下降。wc粉末的平均粒徑表示的是基于FSSS法(費(fèi)氏篩分(FisherSubSievingSieve)法)測(cè)定的值。為提高用WC粉末制成的WC燒結(jié)體的硬度等特性，除了對(duì)WC粉末進(jìn)行微粉末化之外，重要的是減少WC粉末中的雜質(zhì)元素含量。特別是使用硅(Si)和鈣(Ca)的含量較多的WC粉末的情況下，Si和Ca例如以氧化物的形態(tài)凝集并存在于WC燒結(jié)體中。它們成為裂紋(crack)的起點(diǎn)，因此WC燒結(jié)體的硬度等特性下降。為抑制WC燒結(jié)體中的Si和Ca的偏析，本實(shí)施方式的WC粉末的Si含量和Ca含量均不足10ppm(質(zhì)量比)。如果WC粉末的Si含量為10ppm以上，則在WC燒結(jié)體中，Si易偏析，容易以該Si的偏析為起點(diǎn)產(chǎn)生裂紋。同樣地，如果WC粉末的Ca含量為10ppm以上，則在WC燒結(jié)體中，Ca容易以氧化物等的形態(tài)偏析，容易以該Ca氧化物的偏析為起點(diǎn)產(chǎn)生裂紋。WC粉末的Si含量更好為5ppm以下。WC粉末的Ca含量更好為5ppm以下。Si含量和Ca含量均不足lOppm的WC粉末可如后所述通過用具有不銹鋼制的容器和介質(zhì)的混合機(jī)將作為WC粉末的原料的三氧化鎢(W03)粉末和碳粉末進(jìn)行濕式混合而得到。可以認(rèn)為，在以往的WC粉末的制作方法中，Si和Ca會(huì)從將W03粉末和碳粉末混合時(shí)的混合容器和介質(zhì)混入。因此，通過在使用不銹鋼容器和不銹鋼介質(zhì)的同時(shí)，使用在混合時(shí)作為分散介質(zhì)的有機(jī)溶劑等來進(jìn)行濕式混合，可減少Si和Ca的混入量。可以認(rèn)為采用濕式混合時(shí)，WC粉末中的鐵(Fe)含量增加。但是，F(xiàn)e不會(huì)像Si和Ca那樣對(duì)WC燒結(jié)體的硬度等造成不良影響。因此，只要Fe含量在lOppm以上lOOOppm以下的范圍內(nèi)，WC粉末就可以含有Fe。如果WC粉末的Fe含量超過lOOOppm，則用作超硬材料時(shí)機(jī)械特性(抗折力等)下降。如果Fe含量過少，則燒結(jié)時(shí)WC的結(jié)晶粒子容易發(fā)生顆粒成長(zhǎng)，因此WC粉末的Fe含量較好為lOppm以上。Fe含量更好為lOOppm以上。較好的是WC粉末的Si含量不足10卯m，Ca含量不足10卯m，F(xiàn)e含量為lOppm以上lOOOppm以下。對(duì)于除此以外的雜質(zhì)元素(W和C以外的元素，例如A1、Mg、Ni等)，如果其含量過多，則可能會(huì)成為使WC燒結(jié)體的硬度等下降的主要原因。因此，WC粉末中的雜質(zhì)元素的總含量(包括Si、Ca、Fe的含量)較好為5000ppm以下。雜質(zhì)元素的總含量更好為3000ppm以下。另外，本實(shí)施方式的WC粉末中，未構(gòu)成WC的游離碳(freecarbon)的含量較好為1000ppm以下。如果WC粉末中的游離碳含量超過1000ppm，則用其制成的WC燒結(jié)體的作為超硬材料的特性，具體地說是將超硬材料用作切削工具時(shí)的切削性等下降。WC粉末中的游離碳含量更好為500ppm以下。另外，游離碳含量不包括在上述雜質(zhì)元素的總含量中。本實(shí)施方式的碳化鎢(WC)粉末例如通過如下所述的方法制成。首先，準(zhǔn)備三氧化鎢(W03)粉末作為鎢的原料。W03粉末較好的是通過在大氣中以600800。C范圍的溫度對(duì)仲鴿酸銨(APT)進(jìn)行燒成而制成。通過使用上述W03粉末，能以良好的再現(xiàn)性得到微細(xì)的WC粉末。接著，將三氧化鎢(W03)粉末和碳(C)粉末按規(guī)定的比率混合。它們的混合比率較好的是調(diào)整為使C粉末的比例在4.55.5質(zhì)量％的范圍內(nèi)。如果C粉末的混合比在該范圍外，則W或C的量過多，成為WC燒結(jié)體的強(qiáng)度劣化的主要原因。W03粉末和C粉末的混合通過將有機(jī)溶劑用作分散介質(zhì)的濕式混合來實(shí)施。W03粉末和C粉末的濕式混合較好的是使用將有機(jī)溶劑用作分散介質(zhì)的高能型混合機(jī)來實(shí)施。高能型混合機(jī)較好的是具有不銹鋼容器和不銹鋼球。通過上述濕式混合，有機(jī)溶劑等分散介質(zhì)可抑制雜質(zhì)(特別是Si和Ca)從混合容器和混合介質(zhì)混入混合粉末中。而且，通過使用采用了不銹鋼制容器和不銹鋼球的混合機(jī)，可降低混合粉末中的Si和Ca的混入量。藉此可得到減少了Si和Ca的含量的混合粉末，進(jìn)而得到WC粉末。濕式混合不僅可有效地抑制W03粉末的凝集，還對(duì)WC粉末的微粉末化起到很大作用。而且，利用高能型混合機(jī)，可使不可避免地混入的微量的Si和Ca均勻地分散。因此，WC燒結(jié)體中的以Si和Ca的偏析為起點(diǎn)的裂紋的產(chǎn)生被更有效地抑制。通過用高能型混合機(jī)將W03粉末和C粉末濕式混合，C粉末對(duì)W03粉末的混合狀態(tài)更為均一化。在之后的還原工序中制作的WC粉末的平均粒徑以良好的再現(xiàn)性微細(xì)化。將W03粉末和C粉末濕式混合時(shí)，作為用作分散介質(zhì)的有機(jī)溶劑，可例舉選自醇、丙酮和己烷的至少l種。作為濕式混合時(shí)的分散介質(zhì)，一般為甲醇、乙醇等低級(jí)醇或丙酮，但如果考慮到干燥性和環(huán)境負(fù)荷等，則理想的是使用乙醇之類的醇。通過將具有揮發(fā)性的有機(jī)溶劑用作分散介質(zhì)，可抑制對(duì)之后的工序的不良影響等。較好的是相對(duì)于W03粉末和C粉末的總量，添加10質(zhì)量％以下的范圍內(nèi)的有機(jī)溶劑。有機(jī)溶劑的添加量越多，則雜質(zhì)的混入量越低，但如果有機(jī)溶劑的添加量過多，則干燥工序需要時(shí)間，wc粉末的制造工時(shí)數(shù)增加。而且揮發(fā)的有機(jī)溶劑被排放至排水或大氣中，環(huán)境負(fù)荷增大。為防止該情況，需要新的回收裝置等，這樣會(huì)提高制造成本。因此，有機(jī)溶劑的添加量較好為10質(zhì)量％以下。接著，在氫氣氣氛等還原氣氛中以75(TC以下的溫度對(duì)W03粉末和C粉末的混合粉末加熱，將W03粉末還原，在混合粉末中生成W粉末。如果將W03粉末還原的第一還原工序的處理溫度超過750°C，則會(huì)導(dǎo)致W粉末的顆粒成長(zhǎng)，無法充分地將WC粉末的平均粒徑微細(xì)化。而且，如果處理溫度超過75(TC，則所添加的C與由W03的還原而生成的0反應(yīng)，從而被排放至反應(yīng)體系外，因此最終得到的WC中的C可能會(huì)不足。但是，如果W03粉末的還原處理溫度過低，則無法將W03粉末充分地還原。因此，第一還原工序較好的是在50(TC以上75(TC以下的范圍內(nèi)的溫度下實(shí)施。接著，在氫氣氣氛等還原氣氛中以IOO(TC以上的溫度對(duì)經(jīng)過了第一還原工序的混合粉末加熱，使第一還原工序中生成的W粉末與C粉末反應(yīng)，生成WC粉末。如果生成WC粉末的第二還原工序的處理溫度不到IOO(TC，則W粉末與C粉末無法充分地反應(yīng)，游離碳含量增加，特性下降。但是，如果處理溫度過高，則WC粒子的顆粒成長(zhǎng)和粗粒子化加劇，無法得到微細(xì)的WC粉末。第二還原工序較好的是在140(TC以下的溫度下實(shí)施。第二還原工序的處理溫度更好為IIO(TC以上140(TC以下。通過釆用兩階段的還原工序，能以良好的再現(xiàn)性得到微細(xì)化的WC粉末(平均粒徑為0.8um以下的WC粉末)。而且，對(duì)WC粉末中的雜質(zhì)元素含量造成影響的W03粉末和C粉末的混合工序中，例如通過使用了有機(jī)溶劑的高能型混合機(jī)的濕式混合，能以良好的再現(xiàn)性得到減少了雜質(zhì)元素含量的WC粉末。艮P，能以良好的再現(xiàn)性得到Si含量不足10ppm、Ca含量不足10卯m的WC粉末。本實(shí)施方式的WC粉末適合作為超硬材料的原料。對(duì)WC粉末進(jìn)行例如液相燒結(jié)而得的WC燒結(jié)體適用于被用作切削工具用材料的超硬材料。WC粉末的燒結(jié)工序通過向WC粉末中添加Co、V、Hf、Ti、Ta、Ni、Cr等金屬或者這些金屬的合金或化合物(碳化物等)作為液相燒結(jié)用的助劑并混合后，在例如1200190(TC的溫度下加熱而實(shí)施。燒結(jié)工序可采用常壓燒結(jié)、氣氛加壓燒結(jié)、熱壓、HIP等。由WC燒結(jié)體構(gòu)成的超硬材料可有效地用作切削工具等需要高硬度的工具的構(gòu)成材料。本發(fā)明的實(shí)施方式中的工具具備上述超硬材料。作為工具的具體示例，可例舉切削工具。接著，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例及其評(píng)價(jià)結(jié)果進(jìn)行說明。(實(shí)施例1)首先，在大氣中以800。C的溫度對(duì)平均粒徑為120"m的APT粉末加熱2小時(shí)，制成W03粉末。以4.96質(zhì)量X的比例向該W03粉末中添加C粉末并進(jìn)行濕式混合。使用不銹鋼容器和不銹鋼球、使用乙醇作為分散介質(zhì)來實(shí)施濕式混合工序。使用ATTRITOR(商品名，三井礦山株式會(huì)社制)作為高能型混合機(jī)。相對(duì)于W03粉末和C粉末的總量，添加10質(zhì)量％的乙醇，與相當(dāng)于30%質(zhì)量比的SUS球一起進(jìn)行2小時(shí)的濕式混合。接著，在氫氣氣氛中以75(TC的溫度對(duì)W03粉末和C粉末的混合粉末進(jìn)行4小時(shí)的加熱處理，將W03粉末還原。在氫氣氣氛中以130(TC的溫度對(duì)含有將W03粉末還原而生成的W粉末和C粉末的混合粉末進(jìn)行2小時(shí)的加熱處理，使W粉末與C粉末反應(yīng)，制成WC粉末。WC粉末的平均粒徑為0.6ym0用ICP發(fā)光分析法分析所得WC粉末中的雜質(zhì)元素含量。結(jié)果，Si含量為2ppm，Ca含量為3ppm，F(xiàn)e含量為20ppm，包括它們?cè)趦?nèi)的雜質(zhì)元素的總含量為200ppm。而且，WC粉末中的游離碳含量為700ppm。將該WC粉末供于后述的特性評(píng)價(jià)。(實(shí)施例24)除將相對(duì)于W03粉末和C粉末的總量的乙醇的添加量設(shè)為5質(zhì)量％(實(shí)施例2)、1質(zhì)量％(實(shí)施例3)、30質(zhì)量％(實(shí)施例4)以外，在與實(shí)施例1相同的條件下實(shí)施W03粉末和C粉末的濕式混合工序。使用所得各混合粉末在與實(shí)施例l相同的條件下實(shí)施第一及第二還原工序，制成WC粉末。這些WC粉末的平均粒徑和雜質(zhì)元素含量示于表1。另外，雜質(zhì)元素的總含量均為5000ppm以下，游離碳含量均為1000ppm以下。將這些WC粉末供于后述的特性評(píng)價(jià)。(實(shí)施例5)除使用丙酮作為濕式混合時(shí)的分散介質(zhì)以外，在與實(shí)施例l相同的條件下實(shí)施W03粉末和C粉末的濕式混合工序。使用所得混合粉末在與實(shí)施例l相同的條件下實(shí)施第一及第二還原工序，制成WC粉末。該WC粉末的平均粒徑和雜質(zhì)元素含量示于表1。另外，雜質(zhì)元素的總含量為5000ppm以下，游離碳含量為1000ppm以下。將該WC粉末供于后述的特性評(píng)價(jià)。(實(shí)施例6)除使用純度較低的為99.9X的APT粉末作為W03粉末的原料粉末以外，在與實(shí)施例2相同的條件下實(shí)施W03粉末和C粉末的濕式混合工序。使用所得混合粉末在與實(shí)施例2相同的條件下實(shí)施第一及第二還原工序，制成WC粉末。該WC粉末的平均粒徑和雜質(zhì)元素含量示于表1。另外，雜質(zhì)元素的總含量為5000卯m以下，游離碳含量為1000ppm以下。將該WC粉末供于后述的特性評(píng)價(jià)。(比較例1)以4.92質(zhì)量％的比例向與實(shí)施例1同樣地制成的W03粉末中添加與實(shí)施例1相同的C粉末并混合。通過干式混合來實(shí)施W03粉末和C粉末的混合工序。具體地說，使用ATTRITOR(商品名，三井礦山株式會(huì)社制)作為混合機(jī)，與相當(dāng)于30X質(zhì)量比的SUS球一起進(jìn)行2小時(shí)的干式混合。使用所得混合粉末在與實(shí)施例l相同的條件下實(shí)施第一及第二還原工序，制成WC粉末。該WC粉末的平均粒徑和雜質(zhì)元素含量示于表1。將該WC粉末供于后述的特性評(píng)價(jià)。接著，向?qū)嵤├?5及比較例1的各WC粉末中添加Co等作為液相燒10結(jié)用的助劑，用球磨機(jī)混合3小時(shí)。接著，用模具將各粉末成形后，在真空中以140(TC的條件進(jìn)行燒結(jié)，藉此制成各WC燒結(jié)體。如下所述評(píng)價(jià)這些WC燒結(jié)體的特性。g卩，利用維氏(Vickers)硬度計(jì)進(jìn)行硬度的測(cè)定，用切下的試驗(yàn)片進(jìn)行抗折力的測(cè)定。評(píng)價(jià)結(jié)果示于表l。<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>由表1可知，用實(shí)施例15的各WC粉末制成的WC燒結(jié)體均具有高強(qiáng)度，且抗折力良好。用這些WC燒結(jié)體制成切削工具(半導(dǎo)體基板用切削工具)，結(jié)果均顯示出高精度、高壽命的良好結(jié)果。但是，實(shí)施例4在濕式混合時(shí)的乙醇的添加量較多，因此不僅粉末干燥需要時(shí)間，而且有一部分發(fā)生了成團(tuán)現(xiàn)象。實(shí)施例5不存在工序方面的問題，但由于使用了環(huán)境負(fù)荷較大的丙酮，因此在量產(chǎn)時(shí)的排氣、排水的處理應(yīng)對(duì)方面留有問題。將W03粉末和C粉末干式混合的比較例1中，WC粉末的Si含量和Ca含量較多，因此燒結(jié)體的抗折力下降。另外，本發(fā)明可用于各種形態(tài)的碳化鎢粉末以及使用該碳化鎢粉末的超硬材料和工具，其形態(tài)和構(gòu)造等無任何限定。在實(shí)施階段中，可在不脫離本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)對(duì)構(gòu)成要素進(jìn)行變形并將其具體化。還可進(jìn)行將上述實(shí)施方式所示的多種構(gòu)成要素進(jìn)行適當(dāng)組合、或從實(shí)施方式所示的全部構(gòu)成要素中去除一些構(gòu)成要素等各種變形。本發(fā)明的實(shí)施方式可在本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)展或改變，該擴(kuò)展或改變后的實(shí)施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。產(chǎn)業(yè)上利用的可能性本發(fā)明的碳化鎢粉末減少了Si含量和Ca含量，因此可提高用其制成的燒結(jié)體的特性。因此，本發(fā)明的碳化鎢粉末作為超硬材料和使用該超硬材料的工具的原料有用。權(quán)利要求1.一種碳化鎢粉末，該碳化鎢粉末具有0.8μm以下的平均粒徑，其特征在于，所述碳化鎢粉末中的Si含量及Ca含量均不足10ppm。2.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鎢粉末的平均粒徑為0.5um以下。3.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鴿粉末的平均粒徑為O.Olym以上。4.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鎢粉末中的Fe含量在10ppm以上1000卯m以下的范圍內(nèi)。5.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鉤粉末中的雜質(zhì)元素的總含量為5000ppm以下。6.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鎢粉末中的游離碳含量為1000卯m以下。7.如權(quán)利要求l所述的碳化鉤粉末，其特征在于，所述碳化鉤粉末中的所述Si含量為5ppm以下。8.如權(quán)利要求l所述的碳化鎢粉末，其特征在于，所述碳化鎢粉末中的所述Ca含量為5ppm以下。9.一種碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，包括將三氧化鉤粉末和碳粉末濕式混合的工序；在還原氣氛中以750°C以下的溫度對(duì)所述三氧化鎢粉末和所述碳粉末的混合粉末加熱，將所述三氧化鎢粉末還原，生成鎢粉末的工序；以及在還原氣氛中以IOO(TC以上的溫度對(duì)含有所述鉤粉末的所述混合粉末加熱，使所述鎢粉末與所述碳粉末反應(yīng)，生成碳化鉤粉末的工序。10.如權(quán)利要求9所述的碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，使用將有機(jī)溶劑用作分散介質(zhì)的高能型混合機(jī)將所述三氧化鎢粉末和所述碳粉末進(jìn)行混合。11.如權(quán)利要求io所述的碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，作為所述有機(jī)溶劑，使用選自醇、丙酮及己垸的至少l種。12.如權(quán)利要求IO所述的碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，相對(duì)于所述三氧化鎢粉末和所述碳粉末的總量，添加10質(zhì)量％以下的范圍內(nèi)的所述有機(jī)溶劑。13.如權(quán)利要求9所述的碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，包括在氧化氣氛中對(duì)仲鎢酸銨進(jìn)行熱處理，生成所述三氧化鎢粉末的工序。14.如權(quán)利要求9所述的碳化鎢粉末的制造方法，其特征在于，生成平均粒徑為0.8um以下、Si含量不足10ppm、Ca含量不足10卯m的所述碳化鎢粉末。15.如權(quán)利要求9所述的碳化鉤粉末的制造方法，其特征在于，以500。C以上75(TC以下的范圍內(nèi)的溫度對(duì)所述三氧化鴿粉末和所述碳粉末的混合粉末加熱。16.如權(quán)利要求9所述的碳化鉤粉末的制造方法，其特征在于，以1100。C以上1400。C以下的范圍內(nèi)的溫度對(duì)含有所述鎢粉末的所述混合粉末加扭o"、、o17.—種超硬材料，其特征在于，具備權(quán)利要求1所述的碳化鎢粉末的燒結(jié)體。18.—種工具，其特征在于，具備權(quán)利要求17所述的超硬材料。19.如權(quán)利要求18所述的工具，其特征在于，所述工具是切削工具。全文摘要本發(fā)明提供一種碳化鎢粉末，該碳化鎢粉末具有0.8μm以下的平均粒徑，且Si含量及Ca含量均不足10ppm。使用有機(jī)溶劑等作為分散介質(zhì)將WO₃粉末和C粉末濕式混合后，在還原氣氛中以750℃以下的溫度加熱，將WO₃還原，接著在還原氣氛中以1000℃以上的溫度加熱，使W粉末和C粉末反應(yīng)，從而得到碳化鎢粉末。文檔編號(hào)C01B31/34GK101506096SQ20078003139公開日2009年8月12日申請(qǐng)日期2007年9月5日優(yōu)先權(quán)日2006年9月15日發(fā)明者山口悟申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝;東芝高新材料公司