本實用新型涉及單晶棒加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種單晶爐副室氬氣填充噴頭。

背景技術(shù)：

單晶生長爐在生產(chǎn)拉制單晶硅棒的過程中，由于有真空泵的連接，爐內(nèi)一直處于負壓狀態(tài)，而且內(nèi)部需要持續(xù)填充氬氣，填充氬氣的位置在單晶爐副室的頂部，現(xiàn)有的氬氣填充裝置，只有一個出氣口，是沿單晶爐提拉頭的方向，豎直向下充氣，填充效果不佳，而且不均勻。

所以，如何提供一種單晶爐副室氬氣填充噴頭，解決現(xiàn)有技術(shù)中氬氣填充不均勻的缺陷，是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實用新型提供了一種單晶爐副室氬氣填充噴頭，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，具體方案如下：

一種單晶爐副室氬氣填充噴頭，包括噴頭主體，所述噴頭主體中部具有與單晶爐提拉頭配合的通孔，所述噴頭主體的上部設(shè)有進氣管接頭、所述噴頭主體的內(nèi)部設(shè)有氣道，所述噴頭主體的下部設(shè)有若干個出氣孔，所述進氣管接頭與所述氣道連通，所述出氣孔也與所述氣道連通。

具體的，所述噴頭主體、所述進氣管接頭、所述出氣孔為一體成型的不銹鋼材質(zhì)，所述氣道為環(huán)形。

具體的，所述出氣孔有8個，均勻分布在所述噴頭主體的下部。

具體的，所述進氣管接頭有兩個，對稱分布在所述噴頭主體的上部。

具體的，所述進氣管接頭有四個，對稱分布在所述噴頭主體的上部。

具體的，所述噴頭主體的厚度為20mm，所述出氣孔凸出所述噴頭主體外的長度為2mm。

具體的，出氣孔為喇叭口形狀，所述出氣孔的大口朝向單晶爐副室。

本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有的優(yōu)點是：可以更加均勻的填充氬氣，讓爐內(nèi)氣體的循環(huán)更加順暢，提高拉制單晶硅棒的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型提供的第一實施例仰視圖。

圖2為圖1中沿A-A方向剖切主視圖。

圖3為本實用新型提供的第二實施例仰視圖。

圖4為圖3中沿A-A方向剖切主視圖。

圖5為本實用新型提供的第三實施例仰視圖。

圖6為本實用新型工作狀態(tài)示意圖。

圖中： 10、噴頭主體 11、進氣管接頭 12、出氣孔 13、孔 20、氣道 30、提拉頭。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

相關(guān)術(shù)語解釋

提拉頭：單晶爐最上端的部件，內(nèi)部有驅(qū)動電機，卷絲輪等，連接鋼絲繩用。

本實用新型請求保護一種單晶爐副室氬氣填充噴頭，圖6為本實用新型使用狀態(tài)圖，本實用新型包括噴頭主體10，所述噴頭主體10中部具有與單晶爐提拉頭30配合的通孔13，所述噴頭主體10的上部設(shè)有進氣管接頭11、所述噴頭主體10的內(nèi)部設(shè)有氣道20，所述噴頭主體10的下部設(shè)有若干個出氣孔12，所述進氣管接頭11與所述氣道20連通，所述出氣孔12也與所述氣道20連通。

具體的，所述噴頭主體10、所述進氣管接頭11、所述出氣孔12為一體成型的不銹鋼材質(zhì)，所述氣道20為環(huán)形。

具體實施例1：參照圖1-2所示，所述出氣孔有8個，均勻分布在所述噴頭主體10的下部，所述進氣管接頭11為一個，氬氣通過進氣管接頭11引入氣道20，再由20分配至8個出氣孔中，均勻送至單晶爐副室內(nèi)。

具體實施例2：參照2-3所示，所述進氣管接頭11有兩個，對稱分布在所述噴頭主體10的上部，有利于氣道12中的氬氣向出氣孔供氣平穩(wěn)，優(yōu)化工藝過程。

具體實施例3：參照圖5所示，所述進氣管接頭11有四個，對稱分布在所述噴頭主體10的上部，可以使送氣過程更加平穩(wěn)。

具體的，所述噴頭主體10的厚度為20mm，所述出氣孔12凸出所述噴頭主體10外的長度為2mm。

具體的，出氣孔12為喇叭口形狀，所述出氣孔12的大口朝向單晶爐副室。

上面結(jié)合附圖對本實用新型的實施例進行了描述，但是本實用新型并不局限于上述的具體實施方式，上述的具體實施方式僅僅是示意性的，而不是限制性的，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本實用新型的啟示下，在不脫離本實用新型宗旨和權(quán)利要求所保護的范圍情況下，還可做出很多形式，這些均屬于本實用新型的保護之內(nèi)。