一種單晶爐排氣管的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種單晶爐排氣管，屬于單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，包括管體，所述管體采用碳/碳復(fù)合材料制備。本實用新型能夠減少內(nèi)壁揮發(fā)物附著，強度高，不易損壞，不對成晶產(chǎn)生負面影響，使用壽命長。
【專利說明】
一種單晶爐排氣管
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中的單晶爐排氣口處安裝的排氣管均采用石墨材質(zhì)，然而在實際的生產(chǎn)實踐中，石墨材質(zhì)的排氣口易碎、強度低，且反復(fù)急熱、急冷使用時容易開裂，導(dǎo)致使用壽命比較短。爐內(nèi)化料和等經(jīng)狀態(tài)下時刻在產(chǎn)生硅蒸氣和氧化物，極易沾附到排氣口內(nèi)壁上造成堵塞，而且在取下排氣口進行清理時很難清理干凈，用力過大就會將石墨材質(zhì)的排氣口損壞，因此，很大程度降低了排氣口的使用壽命。在實際的生產(chǎn)中，石墨材質(zhì)的排氣口的使用壽命一般在一個月之內(nèi)，非常短。另外，石墨材質(zhì)的排氣口經(jīng)常出現(xiàn)由于廢氣孔碎片卡到管道內(nèi)影響抽空造成成晶困難的問題。
[0003]因此，如何提供一種減少內(nèi)壁揮發(fā)物附著，高強度，不易損壞，不影響成晶，提高使用壽命的單晶爐排氣管，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型要解決的技術(shù)問題，是提供一種單晶爐排氣管，其能夠減少內(nèi)壁揮發(fā)物附著，強度高，不易損壞，不對成晶產(chǎn)生負面影響，使用壽命長。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0006]—種單晶爐排氣管，包括管體，所述管體采用碳/碳復(fù)合材料制備。
[0007]作為優(yōu)選，在所述管體的內(nèi)表面上噴涂有氮化硅。
[0008]作為優(yōu)選，還包括上蓋，所述管體呈L形，L形的管體的豎直管位于爐體內(nèi)，水平管穿過爐體的側(cè)壁，所述上蓋位于豎直管的上端，所述上蓋下方的豎直管的側(cè)壁上設(shè)有進氣
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[0009]作為優(yōu)選，所述豎直管和水平管均為圓形管。
[0010]作為優(yōu)選，所述進氣口的數(shù)量為3，沿豎直管的周向均勻分布。
[0011]作為優(yōu)選，所述上蓋為圓形。
[0012]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:現(xiàn)有技術(shù)的單晶爐排氣口處安裝的排氣管均采用石墨材質(zhì)，然而在實際的生產(chǎn)實踐中，石墨材質(zhì)的排氣口易碎、強度低，且反復(fù)急熱、急冷使用時容易開裂，導(dǎo)致使用壽命比較短。爐內(nèi)化料和等經(jīng)狀態(tài)下時刻在產(chǎn)生硅蒸氣和氧化物，極易沾附到排氣口內(nèi)壁上造成堵塞，而且在取下排氣口進行清理時很難清理干凈，用力過大就會將石墨材質(zhì)的排氣口損壞，因此，很大程度降低了排氣口的使用壽命；在實際的生產(chǎn)中，石墨材質(zhì)的排氣口的使用壽命一般在一個月之內(nèi)，非常短；另外，石墨材質(zhì)的排氣口經(jīng)常出現(xiàn)由于廢氣孔碎片卡到管道內(nèi)影響抽空造成成晶困難的問題。本實用新型的管體采用碳碳(C/C)復(fù)合材料制備，C/C復(fù)合材料具有強度高、整體性強、不易損壞、夕卜壁不易吸硅等特點。更換新型C/C復(fù)合材料的排氣管后不會再出現(xiàn)由于清爐工具將排氣管損壞的問題，有效避免將損壞的排氣管抽到管道內(nèi)造成成晶困難、爐內(nèi)反氣等現(xiàn)象，減少內(nèi)壁揮發(fā)物附著，使用壽命也大大增加，僅需一次性投入，節(jié)約成本。
【附圖說明】

[0013]圖1為本實用新型一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]各圖號名稱為:I一管體，1-1 一豎直管，1-2—水平管，2—上蓋，3—進氣口，4一氮化娃。
【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖及一個實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。
[0016]本實用新型包括管體I，所述管體I采用碳/碳(C/C)復(fù)合材料制備。
[0017]原因是，C/C復(fù)合材料是新材料領(lǐng)域中重點研究和開發(fā)的一種新型超高溫材料，它具有以下顯著特點:(I)密度小(〈2.0 g/cm )，僅為鎳基高溫合金的1/4，陶瓷材料的1/2，這一點對許多結(jié)構(gòu)或裝備要求輕型化至關(guān)重要；(2)高溫力學性能極佳，溫度升高至2200°C，其強度不僅不降低，甚至比在室溫時還高，這是其他結(jié)構(gòu)材料所無法比擬的；(3)抗燒蝕性能良好，燒蝕均勻，可以用于3000°C以上高溫短時間燒蝕的環(huán)境中，如火箭發(fā)動機噴管、喉襯等；(4)摩擦、磨損性能優(yōu)異，其摩擦系數(shù)小，性能穩(wěn)定，是各種耐磨和摩擦部件的最佳候選材料;(5)具有其他復(fù)合材料的特征，如高強度、高模量、高疲勞度和蠕變性能等。
[0018]使用C/C復(fù)合材料的排氣管有以下優(yōu)點:(I)降低了由于排氣管壞堵管道影響成晶現(xiàn)象;(2)提高排氣管的使用壽命;(3)減少排氣管內(nèi)壁揮發(fā)物的附著現(xiàn)象。
[0019]進一步的，在所述管體I的內(nèi)表面上噴涂有氮化硅4。
[0020]氮化硅的強度很高，尤其是熱壓氮化硅，是世界上最堅硬的物質(zhì)之一，它極耐高溫，強度一直可以維持到1200°C的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到1900°C才會分解，并有驚人的耐化學腐蝕性能，能耐幾乎所有的無機酸和30%以下的燒堿溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕;同時又是一種高性能電絕緣材料。
[0021]進一步的，本排氣管還包括上蓋2，所述管體I呈L形，L形的管體I的豎直管1-1位于爐體內(nèi)，水平管1-2穿過爐體的側(cè)壁，所述上蓋2位于豎直管1-1的上端，所述上蓋2下方的豎直管1-1的側(cè)壁上設(shè)有進氣口 3。
[0022]采用整體為L形的異型管做排氣管，排氣管的豎直管(集氣端)1_1開口在爐體內(nèi)豎直向上設(shè)置，可以減少排氣管堵塞的幾率，阻止漏硅時高溫熔硅直接流入不銹鋼管道，有效保護不銹鋼爐底。在對豎直管1-1的內(nèi)部進行清理時，可以直接將上蓋2拿下進行清理，清理方便、簡單、快捷。
[0023]進一步的，所述豎直管1-1和水平管1-2均為圓形管;所述上蓋2為圓形;所述進氣口 3的數(shù)量為3，沿豎直管1-1的周向均勻分布。
[0024]本文中應(yīng)用了具體個例對本實用新型的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本實用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以對本實用新型進行若干改進和修飾，這些改進和修飾也落入本實用新型權(quán)利要求的保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種單晶爐排氣管，其特征在于:包括管體(I)，所述管體(I)采用碳/碳復(fù)合材料制備。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管，其特征在于:在所述管體(I)的內(nèi)表面上噴涂有氮化硅(4)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管，其特征在于:還包括上蓋(2)，所述管體(I)呈L形，L形的管體(I)的豎直管(1-1)位于爐體內(nèi)，水平管(1-2)穿過爐體的側(cè)壁，所述上蓋(2)位于豎直管(1-1)的上端，所述上蓋(2)下方的豎直管(1-1)的側(cè)壁上設(shè)有進氣口(3)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶爐排氣管，其特征在于:所述豎直管(1-1)和水平管(1-2)均為圓形管。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶爐排氣管，其特征在于:所述進氣口(3)的數(shù)量為3，沿豎直管(1-1)的周向均勻分布。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶爐排氣管，其特征在于:所述上蓋(2)為圓形。
【文檔編號】C30B35/00GK205711048SQ201620462627
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年5月20日
【發(fā)明人】王會敏, 何京輝, 曹祥瑞, 顏超, 周子江, 趙貝, 陳二星
【申請人】邢臺晶龍電子材料有限公司