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一種單晶爐內置加料器卸料裝置的制作方法

文檔序號:11088300閱讀:1523來源:國知局
一種單晶爐內置加料器卸料裝置的制造方法

本實用新型涉及單晶棒加工技術領域,尤其是一種單晶爐內置加料器卸料裝置。



背景技術:

單晶生長爐是生產(chǎn)單晶硅棒的設備,其生產(chǎn)過程為將裝滿多晶硅料的石英坩堝放入單晶爐內在負壓狀態(tài)下加熱融化為液體硅料,再通過籽晶拉制成單晶硅。當石英坩堝內的液體硅料全部被拉制成單晶硅棒,待冷卻后打開單晶爐取出單晶硅棒成品。單晶爐在拉制單晶的過程中,一直處于高溫負壓狀態(tài)且石英坩堝冷卻后不能再加熱使用。固體硅料在融化成液體狀態(tài)后,所占石英坩堝的容積會減少很多,這樣就有空間加入更多的多晶硅料?,F(xiàn)有技術中沒有自動加入硅料的裝置,晶棒尺寸較小,一定程度上造成了坩堝浪費、能源浪費。

所以,如何提供一種單晶爐內置加料器卸料裝置,解決現(xiàn)有技術中無法自動加料的缺陷,是目前本領域技術人員亟待解決的技術問題。



技術實現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實用新型提供了一種單晶爐內置加料器卸料裝置,解決現(xiàn)有技術中存在的缺陷,具體方案如下:

一種單晶爐內置加料器卸料裝置,包括加料器本體、頂蓋、所述頂蓋設于所述加料器本體的頂部,所述頂蓋的上部還設有懸掛裝置,所述加料器本體的底部設有卸料口,所述加料器本體的中部設有支撐環(huán),所述懸掛裝置包括連接板,所述連接板中心的設有掛鉤,所述連接板的兩側設有懸掛桿,所述懸掛桿活動穿過所述頂蓋以及所述支撐環(huán),控制所述卸料口的開啟。

具體的,所述卸料口包括第一擋板和第二擋板,所述第一擋板的一端通過第一鉸接銷與加料器本體鉸接,所述第一擋板的另一端通過相對設置的第一組懸掛桿與所述連接板固定連接,所述第二擋板的一端通過第二鉸接銷與所述加料器本體鉸接,所述第二擋板的另一端通過相對設置的第二組懸掛桿與所述連接板固定連接。

具體的,所述懸掛桿為鋼絲繩。

具體的,所述加料器本體的上半部分還設有所述懸掛桿的鎖緊裝置。

具體的,所述加料器本體的四周還設有保護桿。

具體的,所述保護桿的數(shù)量有4條,均勻分布在所述加料器本體的四周。

具體的,所述保護桿的下部靠近所述卸料口的位置上還安裝有放置硅料濺射的裝置。

具體的,適用于CZ單晶生長爐。

本實用新型具有的優(yōu)點是:1、利用內置加料器和所裝硅料本身的重量,來控制加料器卸料開口的打開和關閉狀態(tài),具有很好的安全性和可控制性。2、結構簡單,容易制作。3、有效降低單晶棒加工廠家的生產(chǎn)成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例,對于本領域普通技術人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型提供的單晶爐內置加料器卸料裝置立體結構示意圖。

圖2為卸料口閉合狀態(tài)結構示意圖。

圖3為卸料口打開狀態(tài)結構示意圖。

圖中: 10、加料器本體 11、支撐環(huán) 12、頂蓋 20、連接板 21、掛鉤 22、懸掛桿 221、第一組懸掛桿 222、第二組懸掛桿 23、鎖緊裝置 30、卸料口 301、第一擋板 302、第二擋板 303、第一鉸接銷 304、第二鉸接銷 40、保護桿。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。

參照圖1-3所示,圖1為本實用新型提供的單晶爐內置加料器卸料裝置立體結構示意圖,圖2為卸料口閉合狀態(tài)結構示意圖,圖3為卸料口打開狀態(tài)結構示意圖。

本實用新型請求保護一種單晶爐內置加料器卸料裝置,包括加料器本體10、頂蓋12、所述頂蓋12設于所述加料器本體10的頂部,所述頂蓋12的上部還設有懸掛裝置,所述加料器本體10的底部設有卸料口30,所述加料器本體10的中部設有支撐環(huán)11,所述懸掛裝置包括連接板20,所述連接板20中心的設有掛鉤21,掛鉤與驅動電機(未圖示)連接,所述連接板20的兩側設有懸掛桿22,所述懸掛桿22活動穿過所述頂蓋12以及所述支撐環(huán)11,控制所述卸料口30的開啟。

工作原理如下:

在裝有硅料的內置加料器被提入單晶爐副室后,在驅動電機的作用下,內置加料器緩緩下降到石英坩堝(未圖示)上部,下降到一定高度后,因為支撐環(huán)11的尺寸大于單晶爐內閥室(未圖示)內圓的尺寸,整個內置加料器的重量會由支撐環(huán)11支撐,此時與驅動電機連接的懸掛桿22將不再受力,這時,卸料口30處會因為硅料的重量和本身的自重,處于打開狀態(tài),硅料將全部漏如入石英坩堝內。當內置加料器中的硅料卸完之后,加料器會再次被驅動電機提起,懸掛桿22重新受力拉緊,控制卸料開口關閉。

具體的,所述卸料裝口30包括第一擋板301和第二擋板302,所述第一擋板301的一端通過第一鉸接銷303與加料器本體10鉸接,所述第一擋板301的另一端通過相對設置的第一組懸掛桿221與所述連接板20固定連接,所述第二擋板302的一端通過第二鉸接銷304與所述加料器本體10鉸接,所述第二擋板302的另一端通過相對設置的第二組懸掛桿222與所述連接板20固定連接。

優(yōu)選的,所述懸掛桿22為鋼絲繩。

進一步的,所述加料器本體10的上半部分還設有所述懸掛桿22的鎖緊裝置30??梢愿鶕?jù)需要及時的固定懸掛桿,僅在需要卸料才拔下鎖緊裝置,可以避免硅料的意外灑落,保證操作安全。

更進一步的,所述加料器本體10的四周還設有保護桿40,保護桿的設置可以保護加單晶爐副室內壁不被劃傷,起到順滑的作用。

具體的,所述保護桿40的數(shù)量有4條,均勻分布在所述加料器本體10的四周。

具體的,所述保護桿40的下部靠近所述卸料口30的位置上還安裝有放置硅料濺射的裝置(未圖示)。

具體的,裝置適用于CZ型號單晶生長爐。

上面結合附圖對本實用新型的實施例進行了描述,但是本實用新型并不局限于上述的具體實施方式,上述的具體實施方式僅僅是示意性的,而不是限制性的,本領域的普通技術人員在本實用新型的啟示下,在不脫離本實用新型宗旨和權利要求所保護的范圍情況下,還可做出很多形式,這些均屬于本實用新型的保護之內。

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