本發(fā)明涉及液相外延生長(zhǎng)設(shè)備，具體而言，涉及一種用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具及其使用方法。

背景技術(shù)：

1、液相外延是在目標(biāo)材料的熔融物中，固體析出并在單晶襯底上結(jié)晶的技術(shù)方法。磁光隔離器是一種利用法拉第效應(yīng)實(shí)現(xiàn)光信號(hào)單向傳輸?shù)姆腔ヒ仔怨鈱W(xué)器件。作為磁光隔離器的核心器件，稀土鐵石榴石厚膜的主要制備方法為液相外延技術(shù)。目前隨著磁光隔離器的集成化、小型化需求的增加，稀土鐵石榴石材料的制備面臨更加嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，對(duì)于45°法拉第旋轉(zhuǎn)片而言，達(dá)到應(yīng)用要求其厚度往往要達(dá)到300μm以上，高質(zhì)量、大尺寸的微米級(jí)稀土鐵石榴石磁光材料成為當(dāng)前研究的重點(diǎn)。因此，當(dāng)前形勢(shì)對(duì)液相外延技術(shù)的各個(gè)工藝環(huán)節(jié)提出更為苛刻的要求。

2、目前，在液相外延生長(zhǎng)時(shí)采用的夾具均只適用于單一尺寸的襯底，更換不同尺寸的襯底時(shí)，必須更換夾具，增大使用成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明解決的問(wèn)題是如何不更換夾具即可適用不同尺寸的襯底夾持。

2、為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具及其使用方法。

3、第一方面，本發(fā)明提供了一種用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，包括基板，所述基板上開(kāi)有至少三個(gè)通孔；所述通孔的軸線(xiàn)均位于同一圓柱的側(cè)面上；每個(gè)所述通孔內(nèi)均設(shè)置有一個(gè)鉗腿；

4、所述鉗腿包括第一段腿和第二段腿，所述第一段腿可轉(zhuǎn)動(dòng)的貫穿設(shè)置在相應(yīng)的所述通孔內(nèi)，所述第一段腿的一端和所述第二段腿的一端相互連接；所述第二段腿的另一端與相應(yīng)的所述通孔軸線(xiàn)錯(cuò)開(kāi)，所有所述第二段腿的另一端一起用于夾持襯底；

5、所述基板上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)板，所述旋轉(zhuǎn)板與各個(gè)所述鉗腿分別傳動(dòng)連接，且通過(guò)繞所述圓柱的軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)板，使得所述鉗腿分別在相應(yīng)的所述通孔內(nèi)作相同的轉(zhuǎn)動(dòng)。

6、可選地，該用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具還包括與所述鉗腿數(shù)量相同的傳動(dòng)桿，每個(gè)所述傳動(dòng)桿的一端與一個(gè)所述鉗腿的第一段腿固定連接，另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)且可滑動(dòng)的設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板。

7、可選地，所述傳動(dòng)桿呈l形，包括第一桿段和第二桿段；所述第一桿段與所述基板平行，并與所述鉗腿的第一段腿固定連接。

8、可選地，所述傳動(dòng)桿具有多種尺寸規(guī)格，各種尺寸規(guī)格的所述傳動(dòng)桿的第二桿段長(zhǎng)度尺寸不同。

9、可選地，所述旋轉(zhuǎn)板上設(shè)置有與所述鉗腿數(shù)量相同的槽孔，每個(gè)所述槽孔用于與一個(gè)所述傳動(dòng)桿的另一端對(duì)應(yīng)連接；所述槽孔均為直線(xiàn)槽，且由所述旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)中心向外側(cè)延伸。

10、可選地，該用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具還包括設(shè)置在所述基板上的基軸，所述基軸的軸線(xiàn)與所述圓柱的軸線(xiàn)重合，所述基軸上可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置有所述旋轉(zhuǎn)板。

11、可選地，所述旋轉(zhuǎn)板開(kāi)有中心孔，通過(guò)所述中心孔可轉(zhuǎn)動(dòng)的套設(shè)在所述基軸上；所述旋轉(zhuǎn)板上在所述中心孔的外側(cè)設(shè)置有弧形孔；所述旋轉(zhuǎn)板上設(shè)置有手撥立柱，所述手撥立柱垂直所述旋轉(zhuǎn)板板面。

12、可選地，所述基板上設(shè)置有固定立柱，所述固定立柱垂直所述基板的板面，且從所述弧形孔中伸出；所述固定立柱用于與所述手撥立柱通過(guò)鉑金絲纏繞鎖緊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)襯底夾持的鎖緊。

13、可選地，所述第一段腿為直桿，且平行所述圓柱；所述第二段腿包括相互連接的第一段直桿和第二段直桿，所述第一段直桿連接所述第一段腿和所述第二段直桿，所述第二段直桿與所述第一段腿平行。

14、第二方面，本發(fā)明提供了一種上述用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具的使用方法，包括如下步驟：

15、將用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具放置在工作臺(tái)上，保持圓柱的軸線(xiàn)水平；

16、將待夾持的襯底放置在三個(gè)鉗腿的夾持端中間；

17、轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)板，使三個(gè)鉗腿收攏夾持襯底。

18、本發(fā)明的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具有益效果是：通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)板，同步的驅(qū)動(dòng)三個(gè)鉗腿分別在相應(yīng)的通孔內(nèi)作相同轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)同步的調(diào)整各個(gè)第二段腿的另一端位置，以?shī)A持新尺寸的襯底，從而使該夾具能夠適用于多種尺寸的襯底夾持；這樣，無(wú)需更換夾具即可適應(yīng)不同尺寸的襯底，降低了使用成本。

技術(shù)特征：

1.一種用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，包括基板(1)，所述基板(1)上開(kāi)有至少三個(gè)通孔(11)；所述通孔(11)的軸線(xiàn)均位于同一圓柱(10)的側(cè)面上；每個(gè)所述通孔(11)內(nèi)均設(shè)置有一個(gè)鉗腿(2)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，還包括與所述鉗腿(2)數(shù)量相同的傳動(dòng)桿(5)，每個(gè)所述傳動(dòng)桿(5)的一端與一個(gè)所述鉗腿(2)的第一段腿(21)固定連接，另一端可轉(zhuǎn)動(dòng)且可滑動(dòng)的設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板(3)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述傳動(dòng)桿(5)呈l形，包括第一桿段(51)和第二桿段(52)；所述第一桿段(51)與所述基板(1)平行，并與所述鉗腿(2)的第一段腿(21)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述傳動(dòng)桿(5)具有多種尺寸規(guī)格，各種尺寸規(guī)格的所述傳動(dòng)桿(5)的第二桿段(52)長(zhǎng)度尺寸不同。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)板(3)上設(shè)置有與所述鉗腿(2)數(shù)量相同的槽孔(31)，每個(gè)所述槽孔(31)用于與一個(gè)所述傳動(dòng)桿(5)的另一端對(duì)應(yīng)連接；所述槽孔(31)均為直線(xiàn)槽，且由所述旋轉(zhuǎn)板(3)的旋轉(zhuǎn)中心向外側(cè)延伸。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，還包括設(shè)置在所述基板(1)上的基軸(4)，所述基軸(4)的軸線(xiàn)與所述圓柱(10)的軸線(xiàn)重合，所述基軸(4)上可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置有所述旋轉(zhuǎn)板(3)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)板(3)開(kāi)有中心孔(32)，通過(guò)所述中心孔(32)可轉(zhuǎn)動(dòng)的套設(shè)在所述基軸(4)上；所述旋轉(zhuǎn)板(3)上在所述中心孔(32)的外側(cè)設(shè)置有弧形孔(33)；所述旋轉(zhuǎn)板(3)上設(shè)置有手撥立柱(34)，所述手撥立柱(34)垂直所述旋轉(zhuǎn)板(3)板面。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述基板(1)上設(shè)置有固定立柱(12)，所述固定立柱(12)垂直所述基板(1)的板面，且從所述弧形孔(33)中伸出；所述固定立柱(12)用于與所述手撥立柱(34)通過(guò)鉑金絲纏繞鎖緊，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)襯底夾持的鎖緊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，其特征在于，所述第一段腿(21)為直桿，且平行所述圓柱(10)；所述第二段腿(22)包括相互連接的第一段直桿(221)和第二段直桿(222)，所述第一段直桿(221)連接所述第一段腿(21)和所述第二段直桿(222)，所述第二段直桿(222)與所述第一段腿(21)平行。

10.一種如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具的使用方法，其特征在于，包括如下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具及其使用方法，涉及液相外延生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，該用于液相外延的可調(diào)節(jié)襯底夾具，能夠適用不同尺寸的襯底夾持，包括基板，基板上開(kāi)有至少三個(gè)通孔；通孔的軸線(xiàn)均位于同一圓柱的側(cè)面上；每個(gè)通孔內(nèi)均設(shè)置有一個(gè)鉗腿；鉗腿包括第一段腿和第二段腿，第一段腿可轉(zhuǎn)動(dòng)的貫穿設(shè)置在相應(yīng)的通孔內(nèi)，第一段腿的一端和第二段腿的一端相互連接；第二段腿的另一端與相應(yīng)的通孔軸線(xiàn)錯(cuò)開(kāi)，所有第二段腿的另一端一起用于夾持襯底；基板上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)板，旋轉(zhuǎn)板與各個(gè)鉗腿分別傳動(dòng)連接，且通過(guò)繞圓柱的軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)板，使得鉗腿分別在相應(yīng)的通孔內(nèi)作相同的轉(zhuǎn)動(dòng)。

技術(shù)研發(fā)人員：宋波,張晗旭,朱森寅,韓杰才,王先杰,湛勁
受保護(hù)的技術(shù)使用者：哈爾濱工業(yè)大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15