本技術(shù)涉及化工用料回收，尤其涉及一種氫氟酸回收裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，相關(guān)的光伏、液晶等產(chǎn)業(yè)中經(jīng)常會(huì)使用硅及硅化合物原料，該類原料在清洗、刻蝕等工藝中經(jīng)常會(huì)使用到氫氟酸，由此產(chǎn)生大量的氫氟酸廢液。氫氟酸廢液的主要組成有氫氟酸、氟硅酸以及水等，其ph值較低，腐蝕性、氧化性強(qiáng)、易揮發(fā)，直接排放會(huì)對環(huán)境造成嚴(yán)重污染，因此氫氟酸在使用完后需要及時(shí)進(jìn)行回收，避免造成污染。

2、傳統(tǒng)的氫氟酸的回收通常采用塑料桶進(jìn)行儲(chǔ)存，避免與氫氟酸發(fā)生反應(yīng)，然而氫氟酸在進(jìn)行儲(chǔ)存時(shí)容易揮發(fā)產(chǎn)生有害氣體，而普通的塑料桶密閉性較差，并且在排出和導(dǎo)入時(shí)容易發(fā)生氣體泄漏，導(dǎo)致有害氣體外泄，影響工作人員的健康。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、(一)要解決的技術(shù)問題

2、為了解決現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，本實(shí)用新型提供一種氫氟酸回收裝置，能夠更好的對氫氟酸進(jìn)行回收，并且避免氫氟酸揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體泄漏，保證工作人員的健康。

3、(二)技術(shù)方案

4、為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的主要技術(shù)方案包括：

5、一種氫氟酸回收裝置，包括罐體、引導(dǎo)組件、初步處理組件和二次處理組件，所述罐體的上部設(shè)置有所述引導(dǎo)組件，所述初步處理組件與所述引導(dǎo)組件相連接，所述二次處理組件與所述初步處理組件相連接；

6、所述罐體的頂部設(shè)置有進(jìn)料口，所述進(jìn)料口上安裝有進(jìn)料組件，所述罐體的底部設(shè)置有排料口，所述排料口上安裝有排料組件；

7、所述初步處理組件包括第一處理管道和噴淋組件，所述第一處理管道的一端與所述引導(dǎo)組件相連接，所述第一處理管道的另一端與所述二次處理組件相連接，所述噴淋組件與所述第一處理管道的上部相連接；

8、所述二次處理組件包括第二處理管道和多級(jí)處理組件，所述第二處理管道與所述第一處理管道的另一端相連接，所述第二處理管道設(shè)置有所述多級(jí)處理組件。

9、進(jìn)一步的，所述引導(dǎo)組件包括引導(dǎo)管和引導(dǎo)風(fēng)機(jī)，所述引導(dǎo)管的一端與所述罐體的上部相連接，所述引導(dǎo)管的另一端安裝有所述引導(dǎo)風(fēng)機(jī)，所述引導(dǎo)風(fēng)機(jī)與所述第一處理管道的一端相連接。

10、進(jìn)一步的，所述噴淋組件包括水箱、水泵、引水管、噴淋管和霧化噴嘴，所述水箱安裝于所述罐體的頂部，所述水箱內(nèi)部設(shè)置有所述水泵，所述噴淋管設(shè)置于所述第一處理管道的內(nèi)部，所述水泵通過所述引水管與所述噴淋管的上部相連接，所述噴淋管的下部設(shè)置有若干個(gè)所述霧化噴嘴。

11、進(jìn)一步的，還包括儲(chǔ)水罐，所述儲(chǔ)水罐與所述第一處理管道的下部相連接。

12、進(jìn)一步的，所述多級(jí)處理組件包括砂土過濾板、石灰過濾板和蘇打灰過濾板，所述砂土過濾板、所述石灰過濾板和所述蘇打灰過濾板均依次排列安裝于所述第二處理管道內(nèi)部。

13、進(jìn)一步的，所述進(jìn)料組件包括進(jìn)料管和閥體，所述進(jìn)料管與所述進(jìn)料口固定連接，所述進(jìn)料管內(nèi)部設(shè)置有所述閥體。

14、進(jìn)一步的，所述排料組件包括排料管和密封塞，所述排料管的一端與所述排料口固定連接，所述排料管的另一端設(shè)置有所述密封塞。

15、進(jìn)一步的，還包括支撐架，所述罐體下部固定連接有所述支撐架。

16、進(jìn)一步的，還包括plc控制器，所述plc控制器分別與所述引導(dǎo)組件和所述初步處理組件電連接。

17、(三)有益效果

18、本實(shí)用新型的有益效果是：在氫氟酸使用過程中當(dāng)需要對氫氟酸廢液進(jìn)行回收時(shí)，可將氫氟酸廢液通過進(jìn)料口導(dǎo)入罐體內(nèi)部，同時(shí)運(yùn)行引導(dǎo)組件，使引導(dǎo)組件將氫氟酸廢液揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體引導(dǎo)入第一處理管道內(nèi)部，同時(shí)運(yùn)行噴淋組件，使噴淋組件對有害氣體進(jìn)行噴淋處理，隨后殘余的有害氣體進(jìn)入第二處理管道內(nèi)部，并通過多級(jí)處理組件對殘余的有害氣體進(jìn)行多重處理，并將處理后的氣體排出，由此能夠更好的對氫氟酸進(jìn)行回收，并且避免氫氟酸揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體泄漏，保證工作人員的健康。

技術(shù)特征：

1.一種氫氟酸回收裝置，其特征在于：包括罐體、引導(dǎo)組件、初步處理組件和二次處理組件，所述罐體的上部設(shè)置有所述引導(dǎo)組件，所述初步處理組件與所述引導(dǎo)組件相連接，所述二次處理組件與所述初步處理組件相連接；

2.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：所述引導(dǎo)組件包括引導(dǎo)管和引導(dǎo)風(fēng)機(jī)，所述引導(dǎo)管的一端與所述罐體的上部相連接，所述引導(dǎo)管的另一端安裝有所述引導(dǎo)風(fēng)機(jī)，所述引導(dǎo)風(fēng)機(jī)與所述第一處理管道的一端相連接。

3.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：所述噴淋組件包括水箱、水泵、引水管、噴淋管和霧化噴嘴，所述水箱安裝于所述罐體的頂部，所述水箱內(nèi)部設(shè)置有所述水泵，所述噴淋管設(shè)置于所述第一處理管道的內(nèi)部，所述水泵通過所述引水管與所述噴淋管的上部相連接，所述噴淋管的下部設(shè)置有若干個(gè)所述霧化噴嘴。

4.如權(quán)利要求3所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：還包括儲(chǔ)水罐，所述儲(chǔ)水罐與所述第一處理管道的下部相連接。

5.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：所述多級(jí)處理組件包括砂土過濾板、石灰過濾板和蘇打灰過濾板，所述砂土過濾板、所述石灰過濾板和所述蘇打灰過濾板均依次排列安裝于所述第二處理管道內(nèi)部。

6.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：所述進(jìn)料組件包括進(jìn)料管和閥體，所述進(jìn)料管與所述進(jìn)料口固定連接，所述進(jìn)料管內(nèi)部設(shè)置有所述閥體。

7.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：所述排料組件包括排料管和密封塞，所述排料管的一端與所述排料口固定連接，所述排料管的另一端設(shè)置有所述密封塞。

8.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：還包括支撐架，所述罐體下部固定連接有所述支撐架。

9.如權(quán)利要求1所述的氫氟酸回收裝置，其特征在于：還包括plc控制器，所述plc控制器分別與所述引導(dǎo)組件和所述初步處理組件電連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種氫氟酸回收裝置，包括罐體、引導(dǎo)組件、初步處理組件和二次處理組件，罐體的上部設(shè)置有引導(dǎo)組件，初步處理組件與引導(dǎo)組件相連接，二次處理組件與初步處理組件相連接；在氫氟酸使用過程中當(dāng)需要對氫氟酸廢液進(jìn)行回收時(shí)，可將氫氟酸廢液通過進(jìn)料口導(dǎo)入罐體內(nèi)部，同時(shí)運(yùn)行引導(dǎo)組件，使引導(dǎo)組件將氫氟酸廢液揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體引導(dǎo)入第一處理管道內(nèi)部，同時(shí)運(yùn)行噴淋組件，使噴淋組件對有害氣體進(jìn)行噴淋處理，隨后殘余的有害氣體進(jìn)入第二處理管道內(nèi)部，并通過多級(jí)處理組件對殘余的有害氣體進(jìn)行多重處理，并將處理后的氣體排出，由此能夠更好的對氫氟酸進(jìn)行回收，并且避免氫氟酸揮發(fā)產(chǎn)生的有害氣體泄漏，保證工作人員的健康。

技術(shù)研發(fā)人員：駱家拴,章霞,沈安邦,孫康
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三立福新材料（福建）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240619
技術(shù)公布日：2025/5/19